粉体やカール状切屑でも搬送可！パイプコンベヤ　レイアウト図進呈中

PR機械のサイズを問わず組み込み可！密閉状態での搬送となるため、工場内の粉…

『パイコン21』は、切粉・チップ/紙・プラスチック専用のパイプコンベヤです。 クーラントセパレータ、ブローチ盤、旋盤、洗浄器、フライス、プレス等 どんな機械にも大型小型を問わず組込みが可能で、既設ライン環境を邪魔せず 自由にカスタマイズ可能。 粉体からチップは勿論、ヘドロ、ゴミ類、殻類等の搬送に適しています。 【こんな方におすすめです】 ■工場内の粉塵飛散や臭いが気になる ■作業環境の清掃に時...

メーカー・取り扱い企業： 真企機工株式会社

プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ　PLAZMARK』

PRプラズマ処理効果の「見える化」を実現！プラズマインジケータ(TM) P…

『プラズマインジケータ(TM)　PLAZMARK(R)』は、プラズマで変色する色材を用いたプラズマ処理効果の確認用インジケータです。 プラズマ密度に応じて段階的に変色しますので、プラズマの状態を「色で見える化」できます。 変色は不可逆反応のため、判定記録として残せ、工程管理にも利用できます。 また、変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見ることもできます（ただし数値化には別途、色差計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pend.）。 　作動面とレンズとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とレンズとの間隙はそれぞれエゼクターのノズ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ：　1-100 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれていますが、ダミーランでも除去できないパーティクルは、装置を停止して人手によるクリーニング作業をおこないます。しかしながら、装置復旧までには多くの時間を要し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

【課題解決事例】通信デバイスメーカーA社

180μmピッチのウエハバンピングに成功！スクリーン印刷による量産ライ…

A社の開発担当者様は携帯端末向け通信デバイスの新製品量産にあたり、 スクリーン印刷によるはんだバンピングを想定し印刷機メーカー数社で 評価実験を行っていたが、満足のいく結果が得られていませんでした。 そこで、当社製印刷機「TD-4420シリーズ」に搭載の圧入型スキージユニットの 特長である充填圧力制御機能を生かし、以下の内容を提案しました。 「マスク開口内に100％はんだペースト...

メーカー・取り扱い企業： 谷電機工業株式会社

株式会社キョウワ　事業紹介

創造することに挑戦を続け常に進歩を追及し、環境対応型企業を目指します。

株式会社キョウワは、熱間鍛造ボルトの製造で操業を開始し、機械の部品製造・機械装置の製造と、お客様からのご指導を頂き時代の流れに合わせ事業転換を行い成長してきました。 変化の激しいグローバルな環境で勝ち残る為には、環境の変化に対応し成長を続けることが必要です。 お客様の満足を超える価値を提供し、私たち自身の存在価値を追及し続けるため常に謙虚で素直な姿勢を持ち、環境対応型企業として進歩を続けます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キョウワ

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。 　◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。 　◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。 　◎ミキシング、周速制御等スピン系の各種要素技術の全ては、 　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。 【測定例...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。 「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...　　　　　　　　　　　 1.排気回収機構：ＳｉＣウエハ・基板用　クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWASｉＣ型」は、保持するウエハ に対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルお...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。 ウエハ放射率にはロット内でばらつきがあるにも関わらず、一般の放射温度計では測定対象物の放射率をユーザーが適当に決めなければならないため、温度誤差が発生し、温度測定自体の信頼性が乏しいことがその理由でした。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

■薬品を全く使用せず、常温で洗浄・殺菌・脱水の同時処理が短時間で可能 ■超振動α-攪拌機の振動流動による完全洗浄・洗浄時間はタイマーにより制御 ■酸化チタン製の振動羽根の光触媒機能による短時間殺菌処理・ほとんどの最近に対応 ■殺菌・洗浄後、高速回転による遠心脱水・脱水時間はタイマー制御 ■必要に応じて洗浄・殺菌・脱水工程を反復操作可能。...超振動α-撹拌機による洗...

メーカー・取り扱い企業： 日本テクノ株式会社

接続用ピン端子をダイレクト挿入『連続ピン端子挿入システム』

接続用機構部品としてプリフォーム連続ピン端子を基板やボビンにダイレクト…

『連続ピン端子挿入システム』は、連鎖状のプリフォーム連続ピン端子を 端子挿入機で1本ずつ切り離し、プリント基板やボビンにダイレクトに挿入するシステムです。 プリフォーム連続ピン端子は、お客様の仕様に沿ってカスタムにて製作致します。 端子挿入機を使用すれば、ピン端子を集合基板上で挿入でき、挿入場所をNC制御で指定可能です。 ピンヘッダーのようにインシュレーターが無いため、スペース面で...

メーカー・取り扱い企業： アイクレックス株式会社

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　 ローダ・アンローダに最適です。 　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。 　また位置決め機構が付いておりますのでアライメント...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所