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ギ酸還元対応　卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』

PR課題解決事例を進呈中！ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…

『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した卓上型真空はんだリフロー装置です。有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも余裕で対応することができます。【特長】 ■フラックスレスはんだ（還元方式）・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...
メーカー・取り扱い企業：ユニテンプジャパン株式会社
既設機械への組込みも簡単！パイプ式コンベヤ「パイコン２１」　

PR臭気や粉塵にお困りの方へ！密閉したコンベアによる搬送により、工場内の粉…

『パイコン21』は、切粉・チップ/紙・プラスチック専用のパイプコンベヤです。クーラントセパレータ、ブローチ盤、旋盤、洗浄器、フライス、プレス等どんな機械にも大型小型を問わず組込みが可能で、既設ライン環境を邪魔せず自由にカスタマイズ可能。粉体からチップは勿論、ヘドロ、ゴミ類、殻類等の搬送に適しています。【こんな方におすすめです】 ■工場内の粉塵飛散や臭いが気になる ■作業環境の清掃に時...
メーカー・取り扱い企業：真企機工株式会社
はんだペースト印刷機【多彩な印刷形態を実現！】

圧入方式だからできる多彩な印刷形態を実現した、はんだペースト印刷機！ …

安定した高品質印刷を実現することだけを追求した印刷機です。独自開発の圧入型スキージユニットを搭載し、高密度パターンから大口径厚膜印刷まで様々な印刷ニーズに対応可能です。（主な特長） ●外気と遮蔽された構造のカートリッジ内にはんだペーストを収納しているので酸化等の劣化を抑止できます。 ●カートリッジ内のローラーシャフトの回転圧力ではんだペーストをマスク開口内に確実...

メーカー・取り扱い企業：谷電機工業株式会社
サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果に...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
恒温槽内用ホットプレート「PA2509-HI型」

恒温槽内での使用を想定した高耐熱ホットプレートです。

恒温槽内用ホットプレート「PA2509-HI型」の最大の特徴は、最大180℃までの優れた耐熱性です。すべての部品が耐熱性を持っているため、そのまま恒温槽内に入れてお使い頂けます。設置面からプレート上面までわずか40mmの薄型ボディは、設置する場所を選ばず様々なアプリケーションに適合致します。温度コントローラーは、PCCシリーズとワンタッチコネクタで接続可能です。【特徴】 ○恒...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー
VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
スピンドライヤー　SPD型

【デモ機貸し出し可能！】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内の…

SPD型は、2又は4キャリーヤーを同時乾燥するもので、上部にクリーンフィルターを設け、本体内を常にクリーンな風を通し、チャンバー内のクリーン化を計っています。クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が出来ます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵 →クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
受託サービス：デバイスの質量ガス分析

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。半導体デバイスの不良解析、...
メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
大型・簡易防水ホットプレート「PA1560-WP型」

スプレーコーター内での使用、薬液関係等、水のかかる環境での加熱工程に最…

大型・簡易防水ホットプレート「PA1560-WP型」は、配線部が簡易防水構造になっており、スプレーコーター内等の水がかかる環境下でもご使用頂くことができます。プレート面の穴の大きさ、位置、数の変更や、取り付け方法の変更等、様々なカスタマイズにお応え致します。【特徴】 ○大型、防水タイプのホットプレート ○最高温度150℃ ○プレートサイズ：620×500mm ○電源電圧：AC2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー
卓上型表面改質装置

独自の技術でプラズマを発生/高周波、マイクロ波電源等は使いません。 …

UV接着・接着・薄膜形成・印刷・貼り合わせ等を行う前に、本装置による処理を行うことにより、濡れ性、親水性が向上し、密着性・接着力のアップが期待できます。接着でお困りの際は是非本装置をご検討ください。 ...処理テーブル有効処理エリア：W175mmｘＤ185mmｘＨ約120mm プロセスガス　：空気装置サイズ　　：W850mmｘＤ476mmｘH530mm 装置重量　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー
高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。電子的にロータ回転数を制御するので、...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして、均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度の...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
【半導体製造装置関連】集積回路測高検査装置2型

計測後NG品を自動排出！自動ローディングされたJEDECトレー内ICの…

『集積回路測高検査装置2型』は、視野角10mm内、高さ0.7mm以内の高さ計測が可能な製品です。スロットマガジンに格納されているリードフレーム(最大30×50)を1枚ずつ計測ステージにローディングし、高さ計測を実施。検査結果によるNG排出を行い、空ポケットに良品ワークを自動充填します。当社は、FA装置の開発・設計から組立調整、設置、納品後のメンテナンスや改善・改造提案まで一貫したサービス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ライズワン
フロアーコーチ Ezp　清浄度ISOクラス１　興研株式会社

フード前方のガイドスクリーン長は、20mまで可能天井に重量物が無く…

■既存建屋をスーパークリーンルーム(清浄度：ISOクラス１)に転用できます。従来型の「フロアーコーチEx」「フロアーコーチEz」は共に全換気時間（スイッチONから全域が目標クリーン度を達成するまでの時間）が極めて短いため、作業休止時には電源をOFFにできることが特長でした（電源OFF時の内部のクリーン度は、大気環境に戻る）。しかし、作業は休止するものの、クリーンルーム内は24時間常に高クリーン...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社
洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。

ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で、洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がありません。微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック
磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。コントロ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社
スピンドライヤー　SFH type

【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...8種類までのレシ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウイング
凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pend.）。　作動面とレンズとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とレンズとの間隙はそれぞれエゼクターのノズ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
オープンクリーンベンチ KOACH C 900-F　興研

■局所クリーン化の決定版■クリーンベンチのように周りを囲う必要なし■囲…

オープンクリーンベンチ「KOACH C 900-F」（FERENA搭載）　　　　清浄度：ISOクラス1／全換気時間：105秒局所クリーン化の決定版です。テーブル上の作業エリアをクリーン化したい場合に適しており、並び作業、対面作業も可能です。従来のクリーンベンチのように周りを囲う必要がないので作業性に優れています。・手間やコストのかかる工事などは一切不要・...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社
テーブルコーチ KOACH T 500-F　興研株式会社

卓上設置のコンパクトなサイズです。研究・検査機関に多くの導入実績があり…

【局所クリーン化　清浄度ISOクラス1 テーブルコーチ KOACH T 500-F】テーブル上を清浄化。手軽に持ち運んで卓上に設置できるコンパクトなサイズです。研究・検査機関に多くの導入実績があります。全換気時間：110秒（設定風速0.4m/sec時）吹出開口面寸法： W494mm × H306mm 清浄空間： 700mm以内（開口面間距離〉【オープンク...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社
真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。【仕様】 ◇マスレンジ：　1-100 ...

メーカー・取り扱い企業：日本エム・ケー・エス株式会社
イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

　半導体製造装置内、処理ステージとなるピンチャックや静電チャック上にパーティクルが存在する場合、プロセスエラーや装置停止の原因となります。一般的にはダミーウェハーを使用したインラインクリーニング（ダミーラン）によるパーティクルの除去がおこなわれていますが、ダミーランでも除去できないパーティクルは、装置を停止して人手によるクリーニング作業をおこないます。しかしながら、装置復旧までには多くの時間を要し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブテクノロジー
【課題解決事例】通信デバイスメーカーA社

180μmピッチのウエハバンピングに成功！スクリーン印刷による量産ライ…

A社の開発担当者様は携帯端末向け通信デバイスの新製品量産にあたり、スクリーン印刷によるはんだバンピングを想定し印刷機メーカー数社で評価実験を行っていたが、満足のいく結果が得られていませんでした。そこで、当社製印刷機「TD-4420シリーズ」に搭載の圧入型スキージユニットの特長である充填圧力制御機能を生かし、以下の内容を提案しました。「マスク開口内に100％はんだペースト...

メーカー・取り扱い企業：谷電機工業株式会社
株式会社キョウワ　事業紹介

創造することに挑戦を続け常に進歩を追及し、環境対応型企業を目指します。

株式会社キョウワは、熱間鍛造ボルトの製造で操業を開始し、機械の部品製造・機械装置の製造と、お客様からのご指導を頂き時代の流れに合わせ事業転換を行い成長してきました。変化の激しいグローバルな環境で勝ち残る為には、環境の変化に対応し成長を続けることが必要です。お客様の満足を超える価値を提供し、私たち自身の存在価値を追及し続けるため常に謙虚で素直な姿勢を持ち、環境対応型企業として進歩を続けます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キョウワ
スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

■最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。　◎弊社内では、「OLD」システムの位置付けです。　◎《新型》UDSスピンプロセッサーや《新型》Spin Dipプロセッサーを参照下さい。　◎ミキシング、周速制御等スピン系の各種要素技術の全ては、　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング
受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領したサンプルのガス分析（リーク量測定）を行うサービスを提供しております。分析装置に“低ガス放出”の0.2％BeCu合金製の真空構造材を採用しており、デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。【測定例...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...　　　　　　　　　　　 1.排気回収機構：ＳｉＣウエハ・基板用　クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWASｉＣ型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルお...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
真空対応位置決めテーブル＜VT＞

真空対応位置決めテーブル＜VT＞

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。...真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。【特長】　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製）　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製）　◇真空グリースの銘柄指定可、ノ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
リアルタイム放射率補正型半導体プロセス温度モニター

半導体プロセス中の対象ウエハの放射率をリアルタイムに測定し補正を行うた…

半導体プロセス中のウエハ温度のモニタリングは非常に重要なプロセス・パラメータですが、今まで適切な測定方法が確立できていないために、温度以外のパラメータでプロセス状況を推測してきました。ウエハ放射率にはロット内でばらつきがあるにも関わらず、一般の放射温度計では測定対象物の放射率をユーザーが適当に決めなければならないため、温度誤差が発生し、温度測定自体の信頼性が乏しいことがその理由でした。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイ・アール・システム
連続コーチ KOACH R 1050-F　清浄度ISOクラス1

横に並べることで、いくらでもクリーン空間を横に広げられます。

フィルタを通して清浄化したコヒーレントな気流を対向させた時、今まで誰も想像できなかった清浄空間が生まれました。周りを囲うことも仕切ることもないオープンクリーンゾーンの誕生です。【驚きの気流技術】オープンクリーンシステム「KOACH」のプッシュフードからは、清浄化されたコヒーレントな気流が吹き出します。しかし、コヒーレントな気流であっても、周りが囲われていなければ吹き出し面から離...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社
オープンクリーンシステムKOACH　清浄度ISOクラス１　興研

興研株式会社代理店としてオープンクリーンシステムKOACHをご提案致し…

フィルタを通して清浄化したコヒーレントな気流を対向させた時、今まで誰も想像できなかった清浄空間が生まれました。周りを囲うことも仕切ることもないオープンクリーンゾーンの誕生です。【驚きの気流技術】オープンクリーンシステム「KOACH」のプッシュフードからは、清浄化されたコヒーレントな気流が吹き出します。しかし、コヒーレントな気流であっても、周りが囲われていなければ吹き出し面から離...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...
メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社
ユニット型洗浄・殺菌・脱水機「ニューウオッシャマン」

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機「ニューウオッシャマン」

■薬品を全く使用せず、常温で洗浄・殺菌・脱水の同時処理が短時間で可能 ■超振動α-攪拌機の振動流動による完全洗浄・洗浄時間はタイマーにより制御 ■酸化チタン製の振動羽根の光触媒機能による短時間殺菌処理・ほとんどの最近に対応 ■殺菌・洗浄後、高速回転による遠心脱水・脱水時間はタイマー制御 ■必要に応じて洗浄・殺菌・脱水工程を反復操作可能。...超振動α-撹拌機による洗...

メーカー・取り扱い企業：日本テクノ株式会社
接続用ピン端子をダイレクト挿入『連続ピン端子挿入システム』

接続用機構部品としてプリフォーム連続ピン端子を基板やボビンにダイレクト…

『連続ピン端子挿入システム』は、連鎖状のプリフォーム連続ピン端子を端子挿入機で1本ずつ切り離し、プリント基板やボビンにダイレクトに挿入するシステムです。プリフォーム連続ピン端子は、お客様の仕様に沿ってカスタムにて製作致します。端子挿入機を使用すれば、ピン端子を集合基板上で挿入でき、挿入場所をNC制御で指定可能です。ピンヘッダーのようにインシュレーターが無いため、スペース面で...

メーカー・取り扱い企業：アイクレックス株式会社
純水昇圧装置

工場内純水供給圧を増強させ、圧力不足を解消！さらに、純水供給圧力変動を…

純水供給安定化を検討の際、ぜひお問い合わせ下さい。・Levitronix社ベアリングレスポンプ（磁気浮上型遠心ポンプ）・脈動が少なく、安定的な供給性能を備えます。・非接触式のインペラにより低発塵を実現。・メンテナンスフリー且つ高い耐久性を誇ります。・お客様のご要望に合わせて、カスタマイズが可能です。 ...LEVIBOOST 75（75 l/min）１．ポンプシス...
メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ
コンタミネーション対策,局所クリーン化,テーブルコーチ興研製

■実験環境のコンタミネーション対策が、簡単かつ安定的に実施できます。

【実験環境のコンタミネーション対策(クロスコンタミネーション対策、キャリーオーバーコンタミネーション対策)】興研株式会社製テーブルコーチ KOACH T 500-F(清浄度ISOクラス1) ■清浄度ISOクラス1のテーブルコーチを設置し局所クリーン化すると、コンタミネーション対策(クロスコンタミネーション※1対策、キャリーオーバーコンタミネーション※2対策)を確実に実施でき、信頼性の高...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社
飛来物防止板(興研テーブルコーチ KOACH T 500-F)

粗大粒子等重量飛来物の落下対策。コンタミネーションコントロールとして最…

■テーブルコーチへの設置例粗大粒子等重量飛来物の落下によるコンタミネーションコントロールとして最適。飛来物防止板を設置した場合、プッシュフード対向間距離を700mmから1OOOmmまで拡張することができる。また飛来物防止板購入時、飛来物防止板内にイオナイザーをオプション設置されたものの選択も可能。イオナイザー(除電器)を設置することにより、クリーン環境下における有効な静電気対策が行えま...

メーカー・取り扱い企業：泉州機工株式会社
非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　ローダ・アンローダに最適です。　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。　また位置決め機構が付いておりますのでアライメント...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
非接触ロボットハンド

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応....

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。...「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能で...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
オートピラー水平型装置

PinとAirを利用してMylar filmを除去！製品別に別途の厚さ…

本装置は印刷回路基板のDry Filmを保護するために表面に密着された保護フィルム（Polyester Film）を現像工程前に自動で剝離させる装置です。 Peeling方式で、PinとAirを利用してMylar filmを除去。製品別に別途の厚さ調整が不要で、製品サイズに合わせた区間設定できます。また、周期的に取替消耗品が不要なシステムです。【特長】 ■製品別...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラットコーポレーション本社：営業部・業務部
低価格セルクリーンブース

低価格な激安クリーンブースでクリーン品質とほこりを除去。目ずまり無し。

-悪環境に非常に強く、メンテナンス期間をグーーンと延ばすことが出来ます！クリーンルーム内の紙資料閲覧ブースとしても使えます。特に悪環境に強くフィルター目詰まりがありません。空気の流れをコントロールで、商品はいつもクリーンに保てます。...物造り工程に特化した整流型、低価格実装セルクリーンブースです。本当の品質を確保する上では、現在このクリーンブース以外に無いと自負しております。このデフ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社実装応援団
ウェーハシュータ（SWU-01型）

加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し…

ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後にステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。...・ウェーハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェーハを収納できる位置まで下降します。・テフロンカセットは4個セットできます。・左右二列でカセット4個収納ですが、一列でカセット2個収納もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
外観検査装置　(OSI-01型)

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です

カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。...・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』

ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置！

『BEX-560DR-LED』は、生産性・高精度・大面積・省エネ・拡張性など 1台で多様な生産現場のニーズに対応できるロール両面同時露光装置です。高品質なLED光源ユニットを搭載し、ランニングコストの負担を軽減。また、超高精度アライメント機構によりパターン表裏の位置合わせ精度 1μmを実現します。【特長】 ■露光室のクリーン度を上げる／装置内をクリーン度でクラス分け ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社べアック