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シールドルーム株式会社　総合カタログ

PR豊富な経験とノウハウ。シールドルームのことなら、当社にお任せください

当カタログでは、お客様のご要望に応じて多種多様なシールドルームの開発と挑戦を行っているシールドルーム株式会社についてご紹介しています。減衰量と周波数をグラフで表した「タイプ別シールドルーム減衰効果」をはじめ、各製品の用途、特長、性能、扉タイプなどを掲載。是非とも、当社のシールドルームをご検討下さい。【掲載内容（一部）】 ■タイプ別シールドルーム減衰効果グラフ ...

メーカー・取り扱い企業：シールドルーム株式会社
粉体輸送機器制作・製缶・溶接加工品　サニタリー型ロータリーバルブ

PRバルブでお困りなら！食品・薬品・化学・樹脂まで幅広く使える短時間での洗…

粉体輸送機器制作・製缶・溶接加工品制作　サニタリー型ロータリーバルブ(粉粒体供給・排出機)のことならお任せください。【特　長】 ■簡単な分解・組立 ■短時間での洗浄・除菌・品種替え・色替え ■ステンレスによる高いサニタリー性 ■モーター直結式による小型化 ■食品・薬品・化学・樹脂・塗料・染料・顔料・インキ・トナー・　繊維・電子・環境・窯業などにお使いいただけます。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業：尾崎ウェルスチール株式会社本社、機械加工工場、歌島工場、粉体工学研究所
エレメント交換型フィルタ　『H-600シリーズ』

ステンレス316製、高温・高圧対応ティ型＆インラインフィルタ『H-60…

H-600シリーズは、エレメント交換が可能なティ型及びインライン型フィルタです。豊富な濾過レベルのエレメントをご用意しお客様のご要望にお応えします。システム構成部品を流体中の粒子や混入した異物から守ります。定期メンテナンス時にエレメントを交換する事...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
VCC-SXCXP3M / R / NIR・VCC-2CXP2M

【SXGA/2M】小型・軽量・低価格！CoaxPressインターフェー…

★小型・軽量の29mm Cubicサイズ CMOSセンサー、W29×H29×D29mmのCubeサイズ。 ★インターフェースCoaxPress(CXP1-3) 映像出力BNCコネクタ。長距離伝送...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シーアイエス
X線検査装置『アドオン型CTユニット』

画像再合成時間が約10秒！標準型X線装置内部に組込可能な3次元CTユニ…

『アドオン型CTユニット』は、標準型X線装置内部に組み込み可能な 3次元CTユニットです。 CT画像の再合成とレンダリングソフト（3次元表現）を一体化、欠陥など3次元立体画像として表示できます。 ...

メーカー・取り扱い企業：ソフテックス株式会社営業本部
携帯型軟X線撮影装置『K-4』

移動できない、防X線暗箱に収容できない、検査物用。高解像のX線写真が撮…

『K-4』は、移動できない検査物や、防X線暗箱に収容できない検査物用に開発された、利用範囲の大きいコンパクトな携帯型非破壊検査装置です。実績の高い専用軟X線管の使用で、高解像のX線写真を撮ることができ、自由度の高い照射方向の選定を簡単に行うことができます。組立式の四脚なので、現場での作業がスム...

メーカー・取り扱い企業：ソフテックス株式会社営業本部
半導体　簡易型　測定　マークハンドラー　『TM226』

簡易型　測定検査　　測定　マーク　分類　収納　する装置です。

プラステイックステイックに収められた　ICデバイスデイスクリートデバイスを取り出し　接続されたテスターで電気的特性を測定して、レーザーマーキングする　簡易型　常温測定　マーク　ハンドラー　です ...

メーカー・取り扱い企業：綜和機電株式会社
携帯型鉄筋腐食診断器 CM-V　レンタル

コンクリート構造物をより長く・より美しく！

「携帯型鉄筋腐食診断器 CM-V」は、表面の劣化・はく離を測定するとともに、独自の研究により表面劣化の影響を受けにくいコンクリートの強度推定を実現しました。測定結果は従来のハンマータイプの非破壊検査...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レックス
拡散型金属酸化物半導体の世界市場レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル拡散型金属酸化物半導体のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を2月1日に発行しました。本レポートでは、拡散型金属酸化物半導体市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
超高画素 2億5000万画素/1億2700万画素 CXPカメラ

超高画素カメラによる広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好…

Sony社製 CMOSセンサ(Pregius IMX661/3.6型)を搭載した、1億2700万画素のCoaXPressカメラ「VCC-127CXP6」と、Canon社製CMOSセンサ(Ll8020SAM/APS-H型)を搭載した、2億5000万画素のCoaXPre...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シーアイエス
ウェハーピックアップ型高速ハンドラー『RS-evo』

最小0.4×0.2mm、t0.1mm以下の薄型製品にも対応

『RS-evo』は、12インチウェハーにも対応したWLCSP、ベアダイ向けのウェハーピックアップ型高速ハンドラーです。 12インチウェハーからのピックアップハンドラーとして、 70,000UPH（1時間に7万個）を実現。また、6面外観検査にも対応しております。ご要望の際はお気...

メーカー・取り扱い企業：上野精機株式会社
SRLフロートチャックPF型

プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。

プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。　空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
手押し型床洗浄機の世界市場成長率2023-2029年

世界の手押し型床洗浄機市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析

■レポ－トの種類：グロ－バル市場調査レポ－ト ■日本語タイトル：世界の手押し型床洗浄機市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析 ■英語タイトル：Global Walk-behind Floor Cleaning Machine Market Growth 2023-20...

メーカー・取り扱い企業：株式会社Lpinformationdata 路亿策略
《新型》SpinDipプロセッサー　リフトオフ・有機剥離・バリ取

ウルトラソニック超音波をスピン枚葉装置に搭載実用化！

豊富な導入実績 ■種々の基板状態に応じたプロセスマージンの広いシステムを構築可能 ■多種の剥離/リフトオフツールの同時搭載可能　基板状態（品種/工程等）で、ツールの選択/併用使用可能　◎<BLT型超音波><ホーン型超音波><高圧Jet><ケミカル2流体><マルチスプレー> ■低ダメージ・汎用基板の超音波処理として、＜BLT型超音波＞を搭載　◎BLT型超音波：周波数=38KHz、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング
気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」の概要を以下に示します。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
電力回生型モータリング装置『MEP-10』

供試体にトルクを負荷し、耐久・性能各種試験を行います

『MEP-10』は、さまざまな条件を台上試験において簡単に再現し、供試体のメカニカルロス・温度状況・潤滑状況・振動状況などを定量的に計測・表示・記録する試験装置です。タッチパネルやPC画面から簡単に操作制御することが可能で、また計測データも各種形式で表示・記録することが可能です。　【特長】 ■負荷モータを電力回生しているため省エネルギー ■連続運転・パターン運転に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社スペースクリエイション
インライン型ウェハー測定モジュール

インライン型ウェハー測定モジュール

インラインでのウェハー/セルの全数検査、ソーティングが可能です。...結晶系太陽電池向け品質管理、製造歩留向上のためのインライン全自動ウェハー測定モジュールです。　搬送用ベルト上でノンストップにてライフタイム、比抵抗/厚さ、シート抵抗を測定します。 ...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社
８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。よって、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＡＱＵＡＴＨ
スミカスーパーS1000（エコノール）の切削加工

最短半日見積り／スーパーエンジニアリングプラスチック／医療機器部品、食…

ッキ（金・銀）、無電解ニッケルメッキ、各種塗装、コーティング等【保有検査器】 CNC三次元測定機 Crysta-Apex S7106、三次元測定機 Crysta-Plus M574、3Dスキャナ型三次元測定機 VL-500、ワンショット3D形状測定 VR-6200、画像寸法測定器 IM-8000・LM-1100、真円度・円筒形状測定機 RA-2200AS、評価型表面粗さ測定機 SV-3200...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エージェンシーアシスト京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
A2017（ジュラルミン）／MC加工／精密整列パレット加工品

最短半日見積り／A2017(ジュラルミン)／マシニングセンター加工／精…

ッキ（金・銀）、無電解ニッケルメッキ、各種塗装、コーティング等【保有検査器】 CNC三次元測定機 Crysta-Apex S7106、三次元測定機 Crysta-Plus M574、3Dスキャナ型三次元測定機 VL-500、ワンショット3D形状測定 VR-6200、画像寸法測定器 IM-8000・LM-1100、真円度・円筒形状測定機 RA-2200AS、評価型表面粗さ測定機 SV-3200...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エージェンシーアシスト京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
厚さ測定機(TME-13型）

本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。

ベルヌーイ方式のハンドを用いて薄物ウェーハの搬送も可能です。搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し段取替え不要での運用が可能です。・TME-07型からカセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となっております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
簡易型室温プローバー（温度勾配機能・顕微赤外カメラ付属）

・直接サンプルに熱を与える温度勾配生成ユニット搭載・顕微赤外カメラ…

簡易型室温プローバーにサンプルの一部に熱を加え温度勾配を生成できるユニット、及びに観察のため顕微赤外カメラユニットを搭載した特注システム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社システムブレイン東京営業所
半導体基板直径測定装置(DMC-03型）

Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準…

・DMC-02型より測定可能なウェーハサイズが増えました。 ※3"、4"、5"、6"に対応可能です。又、多点測定や不透明、半透明にも対応可能です。・従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
厚さ測定機 (TME-11型)

本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です

・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
イレイザーディスク（eRaser Disk）

ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング　ウェハ型ステージクリ…

かしながら、装置復旧までには多くの時間を要しているのが実状です。クリエイティブテクノロジーはこのような状況を打開するため、半導体製造装置向けのインラインステージクリーニングツールとしてウェハ型ステージクリーナー「イレイザーディスク」（eRaser Disk）を開発しました。シリコンウェハー上に特殊樹脂をコーティングすることでパーティクル除去性能の向上を実現し、ダミーラン時間の削減と装置停...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブテクノロジー
【Q&A】よくある質問　～実際にいただいた質問集～

最短半日見積り／聞いてみたいけど．．．と、お思いの方必見！！

ッキ（金・銀）、無電解ニッケルメッキ、各種塗装、コーティング等【保有検査器】 CNC三次元測定機 Crysta-Apex S7106、三次元測定機 Crysta-Plus M574、3Dスキャナ型三次元測定機 VL-500、ワンショット3D形状測定 VR-6200、画像寸法測定器 IM-8000・LM-1100、真円度・円筒形状測定機 RA-2200AS、評価型表面粗さ測定機 SV-3200...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エージェンシーアシスト京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
医療用防音シールドルーム（脳波室・筋電図検査室）

電波遮蔽性能と遮音性能を併せ持つ防音シールドルームで、良好な検査環境を…

脳波検査用、筋電図・誘発電位検査の際に邪魔になる室外ノイズ（電波・音）を遮ります。【方式】プレハブパネル型またはシールドシートによる築造型【性能】電波遮蔽性能　150kHz～30MHzにおいて40dB以上減衰　　　　遮音性能　500Hzにおいて30dB以上減衰【用途】脳波検査用、筋電図・誘発...

メーカー・取り扱い企業： TNS株式会社
『X線検査装置製品カタログ』※7冊まとめて進呈中！

シリーズ史上最高の汎用性で、傾斜検査も可能な『SHRシリーズ』他、Ｘ線…

ラインアップしています。【『SHRシリーズ』特長】 ■自社製マイクロフォーカス搭載（焦点サイズは5μm） ■FPD傾斜機構を標準搭載し、傾斜観察も可能 ■100V電源で使用可能 ■小型で高い汎用性 ■コーンビームCTの追加も可能（アドオンCT） ■2次元透過とCTの併用が可能 ※カタログPDFでは、TV検査用、基板検査用、薄い試料向けなど、　用途で選べる7種類のX...

メーカー・取り扱い企業：ソフテックス株式会社営業本部
プローブに原子を採用した表面分析装置（CAICISSの発展版）

結晶方位・極製は15分で一目瞭然！帯電の影響がなく安定した表面分析が可…

『TOFLAS-3000』は、金属、半導体、絶縁体などの固体表面の結晶構造および元素分析を同時に行うことができる原子散乱表面分析装置です。本装置は同軸型直衝突イオン散乱分光法（CAICISS）を発展させ、電気的に中性なHe(Ne、Ar)等の原子ビームを探査プローブとして用いている為、絶縁体でも帯電の影響がなく安定した表面分析が可能です。結晶...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
微流量調整バルブ（微流量調整弁）　『H-1300シリーズ』

ステム角度1°、3°、5°から選択可能で、よりお客様のご要望に合わせた…

H-1300シリーズは、中圧計装用流量調整バルブ（流量調整弁）です。小型でコンパクトな構造のバルブで、耐用年数が長く、低流量・中流量のフローを正確に制御できます。ストレート型、アングル型がありパネルマウントが可能。必要な流量調整を実現する1°、3°、5°のステム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度…

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。＜特長＞・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応・流...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン
石製エアースライダー

様々な仕様に対応できる豊富なバリエーションで高精度なエアースライダーを…

【製作実例】 ■サーフェス型：高精度で低重心コンパクト ■ガントリー移動型：グラナイトとセラミックを適材適所で採用 ■ガントリー固定型：3000×2000（mm）までの大ストロークでも製作可能 ■超大型 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社関ケ原製作所
ＰＮ判定器【PN-12α】

ＰＮ判定器【PN-12α】

【広範囲な抵抗レンジで測定可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：熱起電力方式（ホット＆コールドプローブ） ◆ペン型のプローブを当てるだけで判定が可能 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応（表面が酸化...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社
大面積高輝度高指向性照明装置

大面積高輝度高指向性照明装置

ホロライトはコンパクトなキューブ型筐体からホログラム再生に理想的な低発熱、大面積、高輝度、高指向特性を持つＬＥＤ照明光を発生します。ホロライト背面にあるリアボールの前後移動による照明領域及び拡がり角度の調整、停消費電力による長時間の...

メーカー・取り扱い企業：ディスク・テック株式会社本社
卓上AFM

電磁スキャナー式（特許取得済み）ダメージレスで非破壊で測定可能 …

も正確な測定が可能です！サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。【製品特徴】　・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能　・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績　・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します　・スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用すること...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。・P/N判定は接触式にて行います。・検査ステージではウェーハの吸着前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転ユニット全体...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
サファイアウェーハ厚さ仕分け機（WTS-05型）

サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う…

仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。...・ウェーハの厚さ測定パターンは直径方向の直線3点です。他の測定パターン（例：クロス5点、直線5点）にも　対応いたします。・測定した厚さにより、あらかじめ指定し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハインスペクション装置　(MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、ウェーハ表裏面の検査が可能です。・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-05型）

φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ100mm～φ150mmのSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。 ...・本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、高精度で安定した測定を行うことが可能になります。・卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動式ウェーハ厚さ測定機（STM-06型）

φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。...・手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。・ウェーハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるコスレキズ等を防ぎます。・測定したデー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェハ外観検査装置　(MWL-02型)

本機械は、半導体製造工程でφ８”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う…

マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。ウェハカセットは2個搭載可能です。...・他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。・必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。・本機械を基本として、お客様専用機にカスタマイズが可能です。・装置上でレシピ作成が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ取出・収納機（WLU-01型）

3種類の動作が行える装置

φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。...・カセット上からか下からの連続動作。また、指定したSLOTからの収納、取り出し動作が可能です。・ストッパ付キャスターにて、使用したい場所へ移動してお使いいただけます。電源も100V一般コ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
キャリア厚さ測定機（CME-06型：半自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置に移動し、[測定]スイッチ操作により測定します。 θ軸方向は作業者のセッティングによります。測定値はカウンタに表示されます。オプションでパソコンに記録することも可能です。 ...・測定位置は自由にセッティング可能です。・接触式・非接触式が選択可能です。・測定位置、測定点数、キャリアサイズ、材質などはご相談...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ厚さ測定機 (TME-07型)

シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計…

・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能です。・測定したデータは、付属パソコンに保存します。...ウェーハ厚さは100μm～1800μmに対応します。（ウェーハサイズによります。）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハシュータ（SWU-01型）

加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し…

ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後にステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。...・ウェーハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェーハを収納できる位置まで下降します。・テフロンカセットは4個セットできます。・左右二列でカセット4個収納ですが、一列でカセット2個収納もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。 ...・カメラによる外観撮像が可能です。(オプション）・Siウェーハ（テープ付含む）の厚み測定も可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
プレート上ウェーハ厚さ測定機 (TME-12型)

セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサ…

測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。...・ワークのセットと取り出しは作業者が行うシンプルな構成の測定機です。・測定データは、付属パソコンでCSV形式での保存とグラフィカル表示が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ厚さ仕分け機（WTS-04型）

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…

ステージを3段式にする事で、より多くのウェーハ処理が可能となりました。測定データはExcelファイルに自動保存します。 ...・ウェハーの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。・カセット30個まで搭載可能です。25枚入りなら最大750枚までセット可能です。・バーコードリーダ・ラベルプリンタをご希望により付属します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
反転移載機（WRM-02型）

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。 ...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動厚さ測定機（STM-07型）

φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定

本機械は、φ２”、φ４”またはφ６”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。...φ２”、φ４”またはφ６”サイズ対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
抵抗率測定機（RTS-02型）

抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類

シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。 ...・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。・測定データはパソコンに転送されます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
エッジ検査ハンドリング装置（EHI-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを目視でエッジ検査（チップ・カケ検査）す…

ウェーハを5枚ずつFOSBから検査ステージへ搬送し、検査後のウェーハは同一FOSBの同一スロットへ戻します。ウェーハはエッジクランプ方式で取り扱います。...・検査ステージは作業者のスイッチ操作により回転します。回転数や回転速度は任意で設定可能です。・ウェーハサイズ・傾斜角度はご要望にお応えします。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
非接触式直径測定器(DMC-02型)

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）と…

・非接触にてウェーハの直径を測定します。・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
外観検査装置　(OSI-01型)

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です

カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。...・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動式厚さ測定機（STM-03型）

φ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定装置

本機械はφ200mm、φ300mmのシリコンウェーハの厚さ測定を行う装置です。ウェーハのセットおよび測定は作業者の手動操作で行います。...・厚さは中心１点と外周8点(TV-9)の測定が可能です。・測定データをEXCELに取り込むことができます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ラップ機　仕込み取り出し装置（LLU-01型）

φ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出

ラップ加工装置へφ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出しを行う装置です。取り出したウェーハは1バッチごとに1枚の厚さ測定を行い、仕上がり厚さのOK/NG判定を行います。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
マスク検査ステージ（QIS-0１型）

石英マスクの表裏面目視検査を行うための治具です

作業者がワークをセットします。樹脂ピンによりワークを保持します。手動にて傾斜・旋回操作ができ、ワークの表裏面の検査が容易に行えます。...ワークセット、回転動作、旋回動作が簡単に行えます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
外観検査装置（ACI-02型）

合否判定装置

画像処理によりシリコンウェーハの表裏面傷を検出し、合否を判定する装置です。 ...・オプションで各種キズ・カケなどの検出に対応します。・インライン化にも対応します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
手動乾燥機（JID-01型）

剥離洗浄したウェーハを乾燥する装置です

・温風でセットしたワーク全体を乾燥させます。・乾燥ノズルの移動範囲は設定可能です。・ワークは2ブロックセット出来ます。...さらに詳しい内容についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ簡易洗浄機（WCM-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。

・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。...ウェーハのセットは作業者が行います。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
ウェーハ乾燥機（WCM-02型）

両面研磨後の洗浄された300mmウェーハを乾燥させる装置です

・エアーブローにてウェーハを乾燥させます。・圧縮空気で駆動するため電気は使用しません。...ウェーハのサイズはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム
CAD/CAM/SIMULを用い作業効率と高い品質を追求してます

【削る前が決め手】仕様確認、工法の提案、工程及び治具設計、工具の選定、…

技術サポート・高精度が必要な組立製品の部品設計・加工・組立・精度出し、組立作業性を考慮した組立製品の部品設計・加工・お客様の構想を具体化したうえでの部品設計加工・鋳物部品の起型前の試作作成、本型へのフィードバック提案・ポンチ絵を元にした詳細設計、2D画面・3Dデータ作成・現物から寸法測定したうえでの2D図面・3Dデータ作成ソフト一覧 CAD：Creo E...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三栄精機工業