2層構造ホッパー『バイコーンオーガ』

PR回転スピードを三段階に変更可能！2層構造ホッパーは原料を留まらせない

『バイコーンオーガ』は、充填機のホッパーを2層式にすることで 粉体を残すことなく、下に落とす製品です。 原料の出口は、偏芯機構により、粉体をスクリューに滑り込ませて ブリッジがしにくい構造を実現。 撹拌棒は、粉体を充填口に向かって押し出す方向に設置されている為、 粉体をスムーズに下に落とすことが可能です。 【特長】 ■2層構造 ■ブリッジがしにくい構造 ■撹拌羽根とホ...

メーカー・取り扱い企業： 讃光工業株式会社

バリ取り機AUDEBU IQNOIA(オーデブイクノイア)

PR特許出願中の吸着システム！高い生産性と環境性能を両立させた新しいバリ取…

『AUDEBU IQNOIA(オーデブイクノイア)』は、独自開発した新吸着構造を搭載し、これまで加工困難であった小物ワークの吸着固定は可能にし、さらに消費電力30％減を実現した、革新的なバリ取り機です。 また、ブラシ回転部にマグネットシステムを採用し、オイルレスかつ非接触のためメンテナンスフリーを実現しました。 デュアルコンベアは、左右のコンベアは駆動方向や速度が独立した設定も可能。異...

メーカー・取り扱い企業： オーセンテック株式会社

PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…

グリンスをパラメータ設定できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格を実現 ■高速な深堀エッチング可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

シリンダヒーター

シリンダヒーター

策に充分対処 ○表面温度のばらつきが少なく、温度劣化を起こす薬液の管理が容易になる ○安全を確保するため、アルミ鋳込みヒーターを採用し接液部に万一不具合が 　発生しても、発熱体に影響が及ばない構造 ○温度劣化をおこす薬液には、安全な表面温度になるように設計 ○端子函は安全増し防爆構造に準拠 ●薬液槽との取り合いは、サニタリーフェルールを標準としていますが 　ご要望に合わせ、ＪＩＳフラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セラ

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

新開発プラズマ源HCｄ（ホローカソード放電）型電極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。 独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアッ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。 使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。 クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。 【特徴】 ○薬液槽、及び純水槽にはＮ２ガス散気システムを装備 ○バブリングにより各液体の混合と高レベルの洗浄効果を発揮 ○薬液槽はすべてPVC製トレイ上に設置 ○アセトン槽には...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ウェハレベルの基板だけでなく大型基板のエッ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

マイクロ波イオン源　EMIS-221C

磁場型マイクロ波励起イオン源 【特徴】 ○超高真空仕様により、金属汚染の少ないイオンが得られる ○プラズマ室は高純度アルミナ製で 　金属汚染の少ないイオンが得られる ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○加速用高圧電源（オプション）の使用により、イオン加速が可能 　（ラジカル源、プラズマ源としての使用も可能） ○マイクロ波は同軸ケー...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

FPCエッチング装置

当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置！回収部分は作業者がアクセスし…

は、FPC（Flexible Printed Circuits）をRtoR方式で 連続エッチングする製品です。 レジスト種類に問わず剥離カスを連続回収。回収部分は作業者が アクセスしやすい構造にしていますので、メンテナンスが容易です。 当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置により、製品の配線パターンに 問わず好適なエッチングバランスを実現。薬液管理タンク内部のエッチング液の ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

ECRアトムソース

低圧動作のECR型アトムソース

ECR励起プラズマ中からアトムフラックスを生成します。低圧動作特性に優れたECR方式のアトムソースです。フィラメントレス構造のこのアトムソースは窒素、水素、酸素などのガス種からのアトムフラックスの生成が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： アドキャップバキュームテクノロジー株式会社

フォトエッチング加工

大量生産のための多数個取り、大型モジュールの生産など幅い広いニーズに応…

【その他の特長】 ＜Cu、Cu合金膜の薄膜パターニング＞ ■ひずみゲージの電極部のような、高抵抗を求められる用途に好適 ■透明フィルムを基材として、メッシュパターンや櫛歯構造など最小10-15μm程度の微細構造の形成が可能 ＜Cu膜パターニング（厚さ10μm以下）＞ ■アンテナやヒーターのように低い抵抗値を求められる用途や部品実装が必要な回路に好適 ＜DITOプロ...

メーカー・取り扱い企業： NISSHA株式会社

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

超小型マイクロ波プラズマ源　SMPS-201

た、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現 ○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全 ○完全空冷式で冷却水は不要 ○各種活性ガスの使用が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されているため 　面倒な導波管接続が不要 ○イグナイタ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

カルレッツ／パーフロロエラストマーパーツ

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマ…

子に属するふっ素樹脂（プＴラスティック）であるテフロン（PTFE:ポリテトラフルオロエチレン）、ふっ素ゴム（エラストマー）ともに優れた耐熱、耐薬品性をもつことで知られています。 ●カルレッツの構造は、エラストマーの特徴である主鎖部：TFE（テトラフルオロエチレン）、枝分れ部：PMVE（パーフロロメチルビニルエーテル）、および架橋部から成り、完全にふっ素化されており、テフロンと極めて似た構造を...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

マイクロ波ラジカル源　EMRS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー外付型の 有磁場型マイクロ波励起ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英ガラス製で放電を目視確認可能 ○完全金属シール構造により、MBE装置など 　各種超高真空装置に使用可能 ○ラジカル源用途以外に加速用高圧電源（オプション）の 　使用によりイオン加速が可能 ○各種活性ガスの導入が可能 ○マイクロ波は同軸...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

半導体エッチング装置の世界市場レポート2024-2030

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

ート「グローバル半導体エッチング装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を2月26日に発行しました。本レポートでは、半導体エッチング装置市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、半導体エッチング装置市場の開発方針と計画、製造プロセスとコスト構造についても考察します。主要生産地域、主要消費地域、主要メーカーの生産と消費とともに、半導体エッチング...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。 【特長】 ■nmレベルのメタル膜の精密エッチング ■独自機構による抵パーティクルプロ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…

マイクロエレクトロニクス市場では、より高性能で高密度の半導体を求める動きがあり、最近の設計では層厚を薄くし層内の構造をコンパクトにしています。しかし、このようなチップに従来の加工技術を適用することは手間とコストがかかる上に、エラーが発生しやすくなります。 機械的な試料作成が困難なため、デバイスの遅延処理アプ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

マイコン制御式 プリント基板用エッチングマシーン　ES-800M

マイコン制御により、短時間で高品質のエッチングを実現

下各12個 スプレー圧：0.12Mpa（新液時） 水洗槽液量：4.5リットル ヒーター：500W　石英ヒーター×2本 排水用ドレンバルブ ：エッチング槽、水洗槽　各1個 安全装置：上蓋2重構造、緊急停止ボタン、液面センサ、液温センサ、漏電ブレーカー付き 本体材質：硬質PVC（耐熱　約50℃） 本体外形寸法：W925×D730×H1460mm（配管カバー、フィルター装着時） 電源 A...

メーカー・取り扱い企業： サンハヤト株式会社

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサ

セトラ社のモデル２２５は特殊ガス用途に開発された静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどの影響が受けにくい構造になっています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２４シリーズ

特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサ

３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。 オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。 堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。 また８５℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

イオンアシスト蒸着法によるY5O4 F7膜は、Y2O3とYF3を2元同時蒸着で成膜速度を独立に制御して成膜されています。したがって、組成を自由に制御できますので結晶構造も選択が可能です。フッ素量を変化させ、最適なY5O4 F7膜を形成させています。...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

Aera PI-980　プレッシャーインセンシティブＭＦＣ

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

に、リアルタイムプロセス制御において優れた性能を発揮します。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレ...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

LECTROPOL-5

様々な材料に適した10種類の研磨/エッチング条件を内蔵！短い研磨時間と…

『LECTROPOL-5』は、マイクロプロセッサの自動制御による材料微細構造 検査用試料の電解研磨と電解エッチングを行う製品です。 パラメーター値の調整を簡単にできるスキャン機能を装備。 ポリシングテーブルに試料を置き、事前設定された電圧の範囲でスキャンして、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ストルアス

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

マイクロ波イオン・ラジカル源　IMIS-211Q

マイクロ波イオン・ラジカル源　IMIS-211Q

石英放電管タイプでチャンバー内突き出し型の 有磁場型マイクロ波励起イオン・ラジカル源 【特徴】 ○プラズマ室は石英製で、金属汚染の少ないイオン・ラジカルが得られる ○特殊なアンテナ構造、磁気回路のため漏洩磁場が少ない ○完全金属シール構造により 　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○取付が容易な空冷式 ○加速用高圧電源（オプション）の使用により 　イオン加速...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

【金属エッチング事例】流路内蔵トレイ

流路構造を内蔵！立体構造を再現できるのがエッチング積層品の大きな特長で…

ハーフエッチングで溝を掘り込んだ部品を熱圧着（拡散接合）で接合する ことで、流路構造を内蔵させたトレイのサンプルをご紹介します。 流路を通じて真空引きし、ワークを吸着することをイメージ。 切削加工等では不可能な立体構造を再現できるのがエッチング積層品の 大きな特長です...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

【金属エッチング事例】ベイパーチャンバー

液体を封入する為の中空構造、フタ側に放熱性を高める為のフィン構造を形成…

液体の気化と毛細管現象を利用した冷却部品をご紹介します。 本サンプルではエッチングが得意とするハーフ加工により、ケース側に 液体を封入する為の中空構造、フタ側に放熱性を高める為のフィン構造を 形成しています。 【製品仕様】 ■材質：無酸素銅 ■外形サイズ：80×50mm ■厚み：0.5mm×2層 ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業： 東洋精密工業株式会社

□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

サファイア製部品　Scube（エスキューブ）

広い透過特性、硬い、化学的に安定、熱に強い、熱伝導が良い サファイア製…

＊サファイア 　育成法：TSMG法・ベルヌーイ法など 　純度：≧99.99% 　サイズ：～300mm程度 　結晶系：三方晶系　（コランダム構造） 　格子定数：a=0.47588nm　c=1.2992 　融点：2040℃ 　密度：3.987g/cm3 　硬度：ビッカース硬度　1750 (a面) 　透明性：0.2～5μm　(厚みなど...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社信光社