難しい設備洗浄で採用実績多数！工数短縮に繋がる設備用水系洗浄剤

PR『洗浄不足改善』『洗浄時間短縮』『コストを削減』『負担が大きい洗浄作業…

□汚れによって洗浄剤をシリーズ化。効率的な洗浄で洗浄工数を短縮。すすぎ性にも優れた設備用水系洗浄剤です。 □こんな方におススメ ◎洗浄不足による製品への異物混入を防ぎたい ◎洗浄時間・コストを削減したい ◎入槽作業など現場への負担が大きい作業をより短時間で安全に行いたい 高い浸透力により、釜などの製造設備に付着した汚れを効率よく除去可能。 すすぎ性が優れているため、洗浄工程の簡略化に貢献します...

メーカー・取り扱い企業： 共栄社化学株式会社 本社

ウルトラファインバブル水を使用した『MUFB温水洗浄機』

PRウルトラファインバブル水を使用した温水洗浄で、ボイラー燃料使用量を約3…

『 UP0814H』は、微細気泡（ウルトラファインバルブ）生成部を備える 温水洗浄機です。80℃の温水と比較して60℃のウルトラファインバルブ水 の方が洗浄（除塩・除油）効果が高く、温水温度を下げて使用可能です。 温水温度を80℃から60℃へ下げることでCO2を削減し洗浄時間短縮も短縮。 ボイラー燃料使用量は約30%削減でき、コストダウンに貢献します。 【特長】 ■微細気泡(ウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社丸山製作所 産機営業部

IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコン、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法：幅1,050(mm...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ 搬送…大気3軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ...装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能（750/1000/1500...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介！

量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フ…

《１》【W-スピンスクラブ自動処理装置】 　◆量産向けの最新型「自動スクラブ洗浄装置」です。 　◆ハイスループット 且つ高信頼性にフォーカスした機種です。 　◆「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」等に好適！ 　◆「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション（耐薬品/メタルコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

ジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

ドライ洗浄装置アストロジェット1000シリーズ

除去不能だったゴミ等を効果的に除去。無料洗浄テスト実施中！

〜完全ドライ洗浄！基板の洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません〜 液化炭酸ガスから極小のスノー（ドライアイス粒子）を生成しアシストエアに乗せ 被洗浄物へ噴射。今まで除去不能だったゴミ等を効果的に除...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディップス・エイチシー

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…

枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスで ノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。 対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはが...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

ローラ自動洗浄装置　『ARC-II（アークーツウ）』

ローラ・ベルトの汚れを自動洗浄！安全に、早く、綺麗で歩留まり削減

貴社のラインの重要なローラを自動洗浄する装置です。 バックアップローラやガイドローラを安全に・綺麗に 自動洗浄します。...

メーカー・取り扱い企業： テクノロール株式会社

有機EL洗浄装置（フィルム洗浄）

各種ケミカル洗浄、超音波洗浄、フォトリソ装置の取扱

【各種取扱装置】 超音波洗浄 ケミカル洗浄 現像・エッチング・剥離装置 スピン洗浄 ディップ洗浄 ロールtoロール洗浄...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…

ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

全自動洗浄装置

光学部品洗浄、ケース洗浄など様々な分野にて実績あります。

弊社洗浄装置は全て専用設計です、全自動に限らず半自動、などコストを考慮した装置や、特種形状の部品など「　洗いたい物　」にマッチしたより良い装置を御提供いたします。同業者様、自社で作るにはコストが掛かりすぎる...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アイディー技研

チップ洗浄機

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 　■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 ...

メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）

ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能

＜特長＞ ・カセット接触部の洗浄ムラも解消。 ・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。 ・消費電力を大幅にカット。 ・ 槽間移動時の薬液量を少量化。 ・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を使用。ダメージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作！

カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

パーカーハネフィン(旧タイヨーテクノ)の油水分離装置は、油と水が混ざり合った液体から油を効果的に分離することができます。 CRS及びFOSシリーズの油水分離器は、様々なろ過技術で洗浄液をクリーンにし、液体を有効活用する分野で大きく活躍しています。 精密部品の加工後の付着した油を洗浄する洗浄機に多用され、半導体、燃料電池等の精密洗浄にも対応し、水や溶剤洗浄に適した製品です。 ダイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…

カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

高圧洗浄機　MN-100

高圧洗浄機

高圧洗浄機...

メーカー・取り扱い企業： コニテク株式会社

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ ペン型トーチ採用で微細な加工やラボ用途に適し、初心者でも簡単に取扱いできます。 【特長】 ■熱によるダメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

有機ＥＬ基板洗浄装置　ME-6500-10

有機EL等の基板製造装置に最適です！

基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ウエハー自動洗浄装置　300mmウエハ自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式…

300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

【掲載製品(抜粋)】 プラズマ装置 　プラズマドライクリーナー 　プラズマ洗浄装置　　プラズマクリーナー　　プラズマ自動機　　プラズマエッチャー　　プラズマアッシャー ■PIPI ■PDC210 ■PDC510 ■PDC610 ■YSP600U/YSP2KU ■Y...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

る工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です。 ●ヒーター・自動圧力調整バルブ・ポンプをプログラム制御す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

■薬品を全く使用せず、常温で洗浄・殺菌・脱水の同時処理が短時間で可能 ■超振動α-攪拌機の振動流動による完全洗浄・洗浄時間はタイマーにより制御 ■酸化チタン製の振動羽根の光触媒機能による短時間殺菌処理・ほとんどの最...

メーカー・取り扱い企業： 日本テクノ株式会社

精密洗浄

精密洗浄

大宮工業の精密洗浄は、半導体及び液晶生産工場での製造工程でパーティクルの原因となる装置部品に付着したデポを除去し、生産に支障無きよう各種の部分を部品を再生します。 真空装置部品の精密洗浄だけでなく、精密加工部品の脱...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

強アルカリ性電解洗浄水

強アルカリ性電解洗浄水

ガラスやセラミックスに付着した無機性・粒子汚れや、加工補助剤に用いられるワックスなどの洗浄に大きな効果をあげています。また、金属加工で使用される、さまざまな加工油の洗浄にも実用化が進んでいます。どちらも、物理洗浄方式との組み合わせを工夫することで、従来の非水系の洗浄剤や、界面活性剤を使用...

メーカー・取り扱い企業： アクアシステム株式会社

300ｍｍカセットレス洗浄装置

ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用　／　50枚を一括処理　／　…

＜主な仕様＞ 1.被洗浄物 ：　300ｍｍ　厚み　0.75ｔ 2.処理方法 ：　カセットレスによるDip処理 3.処理速度 ：　50枚/5min（可変） 4.装置内清浄度：　0.1μｍ　クラス1 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

有機EL自動洗浄装置（フィルム洗浄処理）

スマートフォン用精密部品・半導体デバイス・有機EL・自動車部品向け洗浄…

防爆仕様・有機溶剤使用・精密部品・スマートフォン付帯部品の洗浄

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

フィルム洗浄装置（ロールtoロール）

機能性フィルム・有機ＥＬ用洗浄装置

【ユニット構成】 処理幅：200～400mm 厚み：75～150ミクロン エキシマUV 超音波洗浄 ブラシ洗浄 2流体シャワー エアーナイフ乾燥 IR乾燥 ...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

二宮システム製　超高圧精密洗浄装置

二宮システム製　超高圧精密洗浄装置

非接触で高い洗浄効果を発揮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

Ｒ＆Ｄ用途に最適な コンパクトなスピン洗浄装置です。 チャックテーブルの交換により 多種多様な基板を洗浄できます。 ＜主な仕様＞ 対応ワークサイズ ウエハ　φ8インチ（MAX） マスク　6025（MAX） 純水リンス、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

光学レンズ・ガラス基板の水洗浄と溶剤による乾燥システム

HFE/HFC溶剤による乾燥システムは素早く水分を除去し、水染みの発生…

光学レンズ等はアルカリ・酸・中性洗剤により洗浄され、その後、純水リンス工程を経て、HFE/HFC溶剤による乾燥システムに送られて来ます。乾燥システムに大量に持込まれる水は溶剤との比重差で簡単に装置外へと取り出す事が出来ます。洗浄後の水染み発生の...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

バキューム付き小型スチーム洗浄機

スチームの力で汚れを落とし、バキュームするスチーム洗浄機

・２００Ｖ電源により強力なスチーム洗浄が可能になります。 ・排水設備のない工場の洗浄に最適です。 ・バキューム付きで洗浄中に汚水回収が同時に出来ます。 ・スチーム機構は２タンク方式。 ・移動も可能なキャスター付きでコンパクト設計...

メーカー・取り扱い企業： 蔵王産業株式会社

半導体製造装置　自動両面ウエハースクラバー（ブラシ洗浄装置）

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…

ウエハーやマスクガラスの洗浄機で、ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれています。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

超精密洗浄機　QUAVA（クオーバ）

半導体、HDD、FPDなどの超精密洗浄に完全対応

4種類の特殊発振モ−ド選択により 従来以上の高精度を実現した、超精密洗浄機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部

高周波超音波洗浄機（メガソニック）　UMCシリーズ

精密洗浄に適する高い周波数洗浄機（500kHz、1MHzHz）----…

高周波数超音波洗浄機UMCシリーズは、精密洗浄に適する高い周波数（500kHz、1MHzHz）を利用した洗浄機である。UMCシリーズでは、500kHz型、1MHzHz型それぞれ２機種が用意されている。 UMCシリー...

メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

ＬＣＤ基板高圧洗浄装置

高精度クリーンエアーナイフシステムの採用により、水滴残りやしみの無い最適の液切り状態を実現しました。さまざまな洗浄ツールの組み合わせが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

LCD基板端子洗浄装置

LCD基板端子洗浄装置

LCDパネル電極部にACFを張付ける前の端子部洗浄を行うセル生産対応の卓上型セミオート機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル