設置面積は僅か0.5m2！省エネ改善に貢献する小型射出成型装置

PRコンパクトサイズで軽量にも関わらずスーパーエンプラまで成形できる小型射…

エプソンテックフオルムの小型成形機『AEシリーズ』はコンパクトサイズで 軽量にも関わらずスーパーエンプラまで成形できる射出成形機です。 ここでは型締め力3t横型成形機『AE-M3』を例に説明します。 サイズ（専用の架台込み）は幅900mm x 奥行550mm x 高さ1340mm（設置面積0.5m2) 。 製造フロアの増設などしなくとも限られたスペースに設置ができる「省スペース」が最大...

メーカー・取り扱い企業： エプソンテックフオルム株式会社

【パネルカット工事不要】制御ボックスクーラー『ヒカリラクール』

PR【旧モデルから冷却性能22%アップ！】マグネット脱着式！パネルカット工…

『ヒカリラクール』は、マグネット脱着式の制御ボックスクーラーです。 ペルチェモジュールの採用で「省スペース冷却」が可能。 緊急時のバックアップ用としてマグネット脱着式が活きます。 また、制御ボックス本体にパネルカットの必要がないため、 ミスト粉塵などがボックス内に侵入することを防げます。 【V2 MODEL】 冷却機能はアップさせ本体サイズはよりコンパクトに！ 旧モデルと比較して風量は88%...

メーカー・取り扱い企業： 光精工株式会社 本社

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

フィルム方式超小型超仕上げ装置『アタッチメントSF』

アタッチメントタイプの超仕上げ装置としてCNC旋盤へ組み込み複合加工の…

加工を 可能にした製品です。 当社の、既存製品と比較し、重量40kgあったユニットに対して約1/10の 4.2kgに小型化。 工具回転軸を持ったターレットの組み込みタイプとして、省スペースの 超仕上げで効率アップが計れます。 【特長】 ■フィルムの揺動（オシレーション）機構によりクロスハッチ状に研磨 ■方向性のない均一な仕上げ ■駆動源は旋盤のタレット工具回転軸と連...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松田精機

TCF-C500 超高温小型実験炉Max2900℃

コンパクト・省スペース・省エネルギー！ 高性能 R&D用超高温実験炉

小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。 実験室での超高温加熱実験、新素材開発などのさまざまな焼成実験を行うことができます。 ◆主な特徴◆ ・省スペース ・ロータリーポンプ、コンプレッサー付属 ・インターロック：断水警報、過昇温、ガス圧力低下 ◆基本仕様◆ ・電源仕様：AC200V 75A NFB 50/60HZ（C-500） ・Ma...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

電力回生型 モータリング装置『MEP-10』

供試体にトルクを負荷し、耐久・性能各種試験を行います

『MEP-10』は、さまざまな条件を台上試験において簡単に再現し、 供試体のメカニカルロス・温度状況・潤滑状況・振動状況などを定量的に 計測・表示・記録する試験装置です。 タッチパネルやPC画面から簡単に操作制御することが可能で、 また計測データも各種形式で表示・記録することが可能です。 　 【特長】 ■負荷モータを電力回生しているため省エネルギー ■連続運転・パターン運転に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スペースクリエイション

【ガススプリングの代替に】パワーアシストヒンジ採用事例

ガススプリングの代替にパワーアシストヒンジを。ガス抜けがなく省スペース…

チップマウンターのカバー開閉部分に パワーアシストヒンジ HG-PA230-25を採用いただきました。 【課題のポイント】 ・ガススプリングを取り付けるスペースが確保できないが、開けるときのアシスト機能が欲しい。 ・積層表示灯を見やすい装置にしたい。 【解決のポイント】 カバーの重量が重いため従来機種ではガススプリングを使用されていましたが、新機種では内部の装置の関係でガススプ...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

バッチタイププラズマリフロー装置（フラックスリフロー）

微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応　省…

H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。 フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 ３００ｍｍウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処理で多品種少量生産やR&D用途に対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

研究開発用エッチング装置　ＳＰＥ４０

ング→液切→循環水洗→直水洗→絞り→取出し【基板サイズ】Max.W400×L500ｍｍ 厚み0.4〜2.0ｍｍ【ノズル揺動】水平揺動【装置サイズ】W1300×L1590×H1215ｍｍ ・省スペース研究用 ・材料開発やテストに最適 ・PCB・LCDのエッチングが可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

精密研磨機『IS-POLISHER ISPP-1000』

小型・軽量・省スペース！試料にダメージを与えず、誰でも熟練者並みの仕上…

『IS-POLISHER ISPP-1000』は、小型・軽量で、 試料にダメージを与えない精密研磨機。 省スペース設計をコンセプトに開発されました。 研磨時間・研磨盤回転数・方向、揺動範囲・速度などの 研磨条件を操作パネルで簡単に設定できるのが特長。 さらに数値と手順を記録し、誰でも熟練者並みの仕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社池上精機

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

やワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

メタルプラズマコーター「AT-ET」【導電性薄膜を作製！】

省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコ…

プラズマコーター「AT-ET」は、電子顕微鏡観察時における試料の帯電を防止するためのAu（金）、Ag（銀）、Pt（白金）等の導電性薄膜を作製する装置です。ロータリーポンプを本体に内蔵したことで、省スペースでの設置が可能となりました。真空度の表示は読み易いデジタル表示で、ボタン1つで排気～コーティング～終了（標準処理時間約5分）までを自動で行える簡単操作のコンパクトなメタル薄膜作製専用コーターです...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーティーエー

ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

小型センターレス研磨機『ECO楽2 CCB-10型』

家庭用100V電源で使用可能！コンパクトサイズで省スペースです

『ECO楽2 CCB-10型』は、簡単でどなたでもラクラク研磨可能な 小型センターレス研磨機です。 家庭用100V電源で使用可能。 450×600×280mmと、コンパクトサイズで省スペースです。 また、小型ハンドルを搭載しているので、主軸や送り車の前後操作も 楽にできます。 【特長】 ■どなたでも簡単に研磨できる ■難しい調整は一切不要 ■主軸、送り車の前後操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社野水機械製作所 本社

バリ取り・研磨装置『WS056S』

小物金属部品に最適なバリ取り・研磨を実現！ワーク把持型バリ取り・研磨装…

リ取り・仕上げを目的とした装置です。 ワークを把持し、装置本体ベース側に設置された各種ツールヘッドで加工を することで、小物部品に最適なバリ取り・研磨を実現しました。 ツール把持に比べ省スペースなシステムを実現できます。 【特長】 ■パレット式ワークセット法を採用 ■省スペースシステムを実現 ■環境面・安全面にも配慮した構造 ■作業性・保守性を考慮した前面操作型装置 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマハファインテック株式会社

簡易シールドボックスプローバ『TBシリーズ』

プローブに必要な構成品を標準装備！コストパフォーマンスに優れたプロービ…

『TBシリーズ』は、省スペースで各種の計測目的に適したコストパフォーマンスに 優れたモデルのプローバです。 コンパクトなシールドボックスの中には試料台、マイクロポジショナ、 プローブ二ードル、信号用ケーブル、顕微鏡...

メーカー・取り扱い企業： 雄山株式会社 東京支店

インサーキットテスター　THOMAS-JTAG

インサーキットテストとJTAGバウンダリテストをシームレスに行えます。

で別々に検査をしていた、インサーキットテストとJTAGバウンダリテストを同時に行うことができる製品です。検査装置を2つ置く必要が無く、1度で検査を済ますことができますので、工場ラインの工数削減、省スペース化を実現できます。管理をする上でも間違いが少なく、実用的なテスターといえます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノアコーポレーション 楢原事業所

エッチング実験装置『ミニミニエッチャー』

少量の薬液でのエッチングが可能！容易な薬液の交換で実験・開発に好適です

レー」をはじめ、 「横型・上下スプレー」や「水平揺動型・上下スプレー」などをラインアップ。 少量の薬液でのエッチングが可能で、数枚単位の基板製作に対応出来、 また、薬液の交換も容易で、省スペースにて設計されています。 【特長】 ■小型基板の製作および薬液の実験・開発に好適 ■少量の薬液でのエッチングが可能 ■数枚単位の基板製作に対応 ■薬液の交換も容易 ■省スペース設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シマテック

スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置

省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！

部品、電池部品、高機能材料開発といった用途に使用可能です。 このほかにも、小型化/大型化、CVD/各種プラズマ処理、バレル/ドラム型など様々な装置のご提案が可能です。 【特長】 ■省スペース ■大容量 ■独自のスパッタカソードを搭載 ■スクリュー型攪拌機構 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スナイパーノズル新製品『レクチ』発表

スナイパーノズルは整流加工液を勢いよく加工点に送り込む高性能。新製品『…

を増やし加工時間短縮 ・加工液の確実供給がダメージを抑え工具寿命延長　 ・クーラントホースに簡単装着（『レクチ』はワンタッチ装着） ・用途に合わせて豊富なラインアップから選択（『レクチ』は省スペース設計） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社塩 業務基地

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び 　チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

精密貼り合せ装置（半自動）

精密貼り合せ装置（半自動）

ム基板などの2枚の基板を手動で位置決めし、貼り合せを行う装置です。 近年、貼り合わせ製品の薄層化、外観精度の要求レベルが高くなっておりますが、弊社が保有する貼り合せ技術（速度、圧力制御機構）を省スペースの装置に集約し、キズや気泡のない高品質の貼り合せを実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 長野オートメーション株式会社

スパッタ装置 QKG-Sputtering

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！ 〜サンプル測定実施中！…

従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。 ○省スペースで作業スペースにメリット ○成膜の再現性が上昇するメリット ○工数削減、エラー減少、気分上昇メリット ○ワンボタンで成膜までフルオート→作業効率メリット ○１インチカソードで材料費を削減...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

省エネ、フロンガス対策チラー　※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に！ 温室…

合わせることにより、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

高速熱処理装置(RTP/RTA) AccuThermoシリーズ

高速熱処理装置（RTP/RTA装置）　AccuThermo シリーズ

○温度制御範囲+100℃ 〜 +1,250℃ ○高速加熱100℃/sec，高速冷却100℃/sec ○高いウェハ間プロセス再現性 ○特定のプロセス条件に対応した温度−時間プロファイル ○省スペースかつ、高いエネルギー効率 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

小型循環式サンドブラスト機『ASB-2N型』

汎用機仕様のノウハウを凝縮した省スペースタイプのサンドブラスター

『ASB-2N型』は、小物部品の各種表面処理に、研究開発用・小ロット生産用として幅広く活躍する小型循環式サンドブラスト機です。 多量の研削材を一度に噴射することで驚きのハイパワーブラスト処理を実現。 スペースを取らずに短時間で表面処理が可能です。 また、サンドブラスト自体の圧送能力が優れているため、細かい粒度の研削材でも楽々処理できますので、加工物の表面荒れが少ない仕上がり面を生成で...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社秋山産業

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

nm)、H線（405nm)に対応！（g線はご相談ください） ■完全非接触でフォトマスクとウエハの平行出し&露光 ■オートアライメント機能 ■段取り替えが容易で、複数基板サイズ対応可能 ■省スペース&簡単メンテナンス ■低価格、コンパクトを実現し、多品種少量生産にも好適 ■超精密UVWステージ搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。 MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 590(D)mm ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）：1200(W) x 590(D)mm ・トリプル...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

マニュアル・プローバ・システム

ハイソルが経験と実績に基づき独自に開発設計した、高性能・低価格のマニュ…

ハイソルが経験と実績に基づき独自に開発設計し、実現した 多機能マニュアルプローバー。 コストパフォーマンスに優れ、省スペース、ローノイズ、DC〜マイクロウェーブの広い周波数領域、-65℃〜＋400℃の測定温度領域。 初めてプロ-バーをご利用される方から次世代デバイスの開発用途までPMPシリーズなら幅広くご...

メーカー・取り扱い企業： ハイソル株式会社

デスクトップボンダ

先端半導体実装技術をデスクトップに

ため、多様な工法に対応できる最先端の接合装置をデスクトップサイズまで小型化し、机の上の僅かなスペース（500x700mm程度）でも設置できるようにいたしました。また、一般的な接合装置に対し非常に省スペースですので複数のテーマにおいて複数台導入し、開発スピードを上げることも可能になります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドウェルズ

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

密閉式チャンバーによる高い安全性と成膜安定性 　・ウェハ反り矯正機能（特許取得済）によるSiCウェハ対応 　・低負荷・長周期メンテナンス 　・コンパクト筐体とミラータイプとの隣接設置による省スペース対応 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行