小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

1人用BOX型喫煙ブース『cocopa(ココパ)』

PRコンパクトでも優れた機能！快適な喫煙空間を省スペース・低コストで実現

『cocopa』は、省スペースをリーズナブルに実現する改正健康増進法に 対応した1人用BOX型喫煙ブースです。 1人利用なので、感染症対策にも効果的。 喫煙者の来客をないがしろにできない業種の方、特に設置スペースの確保に お困りの方にお勧めの製品です。 【特長】 ■コンパクトな1人用喫煙ブース ■技術に基づいた確かな性能 ■設置工事不要で省スペースを低コストで実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 日鉄鉱業株式会社 機械・環境営業部　機械営業課

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレート）やSiC（炭化ケイ素）他、 　　各種ウェハに対応 ◇　異物（有機物・無機物）の除去、金属イオンの除去 ◇　洗浄項目・装置構成の変更に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

密閉式チャンバーによる高い安全性と成膜安定性 　・ウェハ反り矯正機能（特許取得済）によるSiCウェハ対応 　・低負荷・長周期メンテナンス 　・コンパクト筐体とミラータイプとの隣接設置による省スペース対応 　・低CoO(低ランニングコスト) 【用途】 　・パワー半導体用層間絶縁膜(NSG/PSG/BPSG) 　・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) 　・パッシベーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

研究開発用スパタ装置『HSK602VTA』

省スペース化を実現！同時放電による合金膜や積層膜の形成に最適なスパタ装…

、同時放電による合金膜や積層膜の形成に最適なスパタ装置です。 リボルバー式4サンプルホルダーを装備しており、一度の真空引きで 4条件の成膜ができます。 また、コンパクト設計により、省スペース化を実現しました。 【特長】 ■コンパクト設計 ■6カソード ■リボルバー式4サンプルホルダーを装備 ■一度で4条件の成膜が可能 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハヤマ

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■2～6インチまで対応可能、□4インチも実績あり ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■各プロセス単独動作可能 ■オートアライメント機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

水冷ヒートシンク

抜群の冷却効果！

素子の大容量化により、空冷による冷却方法は限界になりつつあります。 当社の無酸素銅製水冷ヒートシンクは厚み6〜20mmと空冷の約10分の1!!面積あたり数倍の冷却効果があり、省スペース化に貢献します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社高木製作所

オプティマイズドDCテストシステム

オプティマイズドDCテストシステム

測定を実現している。ヒューマンインターフェースとしてGUIを標準で搭載し、操作性の優れたオペレーション環境とネッワーク環境などのソフトウエアも充実させている。また、他社製品と比べコンパクト設計・省スペース・省電力を実現し、水銀リレーを使用しないフォトモスマトリックスを開発し環境へも配慮している。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シバソク

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

可能。 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■2～12インチまで対応可能 ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

要なコントローラが内臓されているので組込み費用が安くなります。 電子的に回転数をコントロールできます。 エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型で、小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。 医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています (平均故障間隔 /MTBF> 50年)。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高田工業所社製IPA蒸気洗浄装置『TIDシリーズ』

IPA蒸気による洗浄乾燥装置！デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのク…

打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハーをIPA（イソプロピルアルコール）の蒸気雰囲気中において洗浄・乾燥する装置『TIDシリーズ』は、IPAの品質管理システムおよび、種々の安全シ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ATプレス『ATD100/ATP100』

エアプレスで40kNの高推力を実現

の特徴】 1. アイセルが独自に開発したDTP機構を採用することで、 　通常のエアシリンダーより推力を大幅にアップさせることが可能になりました。 2. 油圧ユニットが不要なため、工場の省スペース化に貢献いたします。 3. 油圧・電気を使用することなく、エアを繋ぐだけで、簡単に設置できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アイセルグループ株式会社

連続電気再生式イオン交換スタックE-Cell

酸/アルカリによる再生処理が不要で、環境に優しい純水製造を実現する。

　食品と飲料業界 ◆E-Cellスタックの特徴 ・　高脱塩性能(透過水比抵抗：Max 18MΩ・cm) ・　高回収率(Max 供給水の95%回収可能) ・　電気再生で薬液不要 ・　省スペース、省エネルギーで低コスト ・　操作が簡単、メンテナンスが容易 ・　増設、システム化が簡単...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

高田工業所社製バッチ式ウエハー自動洗浄装置『TWSシリーズ』

クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄…

に裏打ちされた、クリーン化技術、搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作されております。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ウエハー（RCA）洗浄装置、精密部品洗浄装置、インゴット洗浄装置、エッチング装置、IPAドライヤー装置など各種装置を取り揃えております。 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

と基板間の距離を任意に設定できます。 基板加熱を高温で行えるほか、電気とガスのみでの運転や、スパッタアップ とスパッタダウンの組み替えなども可能です。 【特長】 ■シンプル設計で省スペース ■ターゲットと基板間の距離を任意に設定可能 ■高温での基板加熱が可能 ■チラーを標準装備 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

両面ポリッシングシステム『EJD-6BY』

多機能コンパクトCMP対応の両面ポリッシング装置誕生!

。　フルステンレス防塵カバーと細部に渡り徹底的に耐腐食性材料を使用し製作しているため、あらゆるスラリーに適合し、難削材の両面同時研磨に最適です。 また他のTrinity-Yと組み合わせることで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

BケーブルでWindows PCに接続し、装置運転状況モニター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故障解析などが可能です。 限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れたコンパクトサイズ真空蒸着装置です。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

光学薄膜用蒸着装置 「SGC-S1700シリーズ」

樹脂レンズへの成膜に最適！大量生産を高次元で実現する光学薄膜用蒸着装置…

○高効率排気系の採用によりφ1300クラスと比較しても 　成膜処理時間は+10%程度 ○広範囲照射が可能なグリッド式ＲＦイオンソースを採用、 　パレット全面の膜質が安定する ○設置面積の省スペース化、高さも抑えたコンパクト設計 ○作業性を考慮した最適な装置サイズ、大きすぎないパレットサイズを採用 ○樹脂レンズへの成膜に最適 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

プローバー　真空＜低温＞プローバーシステム

低温から高温まで豊富なオプションで様々な要求に対応致します。

・高温オプションをご用意し、様々な温度領域に対応するプローバーです。 プローバーシステムは標準システムの他に低温・RF・磁場を合わせたスピントロニクス向けのプローバーや、測定スペースに合わせた省スペース・ミニ型のプローバー、電磁石や赤外線カメラを搭載したプローバーなど製作実績もございます。 ご希望される測定に必要な機能・性能にあわせカスタマイズし、ご提案することも可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムブレイン 東京営業所

プローバー　真空＜低温＞プローバーシステム

低温から高温まで豊富なオプションで様々な要求に対応致します。

・高温オプションをご用意し、様々な温度領域に対応するプローバーです。 プローバーシステムは標準システムの他に低温・RF・磁場を合わせたスピントロニクス向けのプローバーや、測定スペースに合わせた省スペース・ミニ型のプローバー、電磁石や赤外線カメラを搭載したプローバーなど製作実績もございます。 ご希望される測定に必要な機能・性能にあわせカスタマイズし、ご提案することも可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムブレイン

洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…

種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。 ■特長： ・精密洗浄：ワークに上下、左右回転動作機能を持たせ隅々まで精密洗浄 ・強力洗浄：ウェハー収納ミゾ部全面に対し直角スプレーを実施 ・省スペース：縦型設計で、小フットプリントを実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

検知機能 ■自動ウェハ検知機能（マッピング）搭載 ■2～12インチまで対応可能 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高精細スキージ研磨機　マイクロ・ドレッサー　MDL-5型/11型

精密スクリーン印刷の必須。スキージの直線性と平滑性を極める

【特徴】 ○目詰まりのない平滑な研磨 →シリコンスキージでも良好に研磨可能 ○粗目、細目（仕上げ）の二種類の砥石により、効率的な研磨が可能 ○縦型タイプで、省スペース ○複数個のスキージも簡単に取り付く傾斜ホルダーを採用 ○研磨屑は本体ボックス内のエアークリーナーで回収可能 ○マイクロ・スキージの他にも、他社製ホルダーのスキージでも研磨可能 ○スキー...

メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社

LED検査分類テスタ OLC-1.5AP

OLC-7に搭載されている、色測定におけるパルス印加測定機能をより向上…

★1.5A/30VまでのパワーLEDに対応。 ★OLC-7をベースとした、16BIT（電流・電圧）の高分解能、512分類対応 ★PC一体型による省スペース設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーテックエレクトロニクス

コンパクト！装置幅300mm自動レジスト塗布装置（コーター）

装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…

装置幅が300mmのミニマルな装置を作製できます！ 幅は300mmですが、その分高さと奥行きはそれなりの長さになります。 300mm幅での装置作製実績があるので、後はメンテナンス性やトラブル時の部品交換などのランニングコストを考慮して装置の大きさを決定していただけます。 設置スペースの制限や建物の出入り口の大きさの制限、エレベーターなどの設置位置までの搬送ツールの大きさの制限などに対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

3次元ステレオ式インラインX線検査装置ILX-1100/2000

3D-X線ステレオ方式により インライン自動検査のコストダウンが実現し…

own）に あるため、外観からは検査できません。 QFN/SONなど、はんだ付けが部品底面にある部品の検査に好適です。 【特長】 ■安全設計、X線の取り扱い資格不要 ■小型、省スペースでインラインX線検査が可能 ■両面実装基板の裏面の影響を受けずに検査できる ■X線ステレオ方式で3D断層検査による検査が可能 ■小型基板（50×50mm）からLサイズ（510×460mm）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイビット

マルチレイアウトラッピングシステム『Trinity-Y』

無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。

ラッピングシステム「Trinity‐Y」は、ワイドギャップ半導体等の次世代の材料に対応するために開発された装置で、各種新素材に最適な機構を自由に選択することができ、その機能を1台に集約することで省スペース化を実現し、無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社

『超高精度誘導発熱ジャケットロール』

250℃のロール表面温度で±0.5℃以内の温度分布を実現するジャケット…

可燃物を使わない安全でクリーンな電気式制御で、ナノレベルの厚み精度が 求められる光学用フィルムや、食品包装資材の加工に優れた特性を発揮します。 また、配管や付帯設備が不要なため、作業環境の省スペース化にも貢献します。 【特長】 ■機械精度は250℃の高温下で円筒度・真円度ともに0.003mm以内 ■常温下の円筒度・真円度・振れは究極ともいえる0.002mmを実現 ■カレンダやコ...

メーカー・取り扱い企業： トクデン株式会社

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコータ…

ーゲット材が選択可能 ■正確な膜厚コントロール ■多試料ステージの移動機構 ■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ ■操作真空度の広い調整範囲 ■ベンチトップタイプの省スペースと省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社

【配管自動切換装置】ストレートタイプ

まだバルブで切換えてますか？ホースや配管切換作業の自動化を特許技術で実…

を危険作業から解放します！ ◎自動弁やバルブユニットと比べて、一筆書きでの切替が出来るため、廃液や食品ロス、洗浄液を削減でき、SDGsに貢献します！ ◎クロスコンタミが無くなります！　 ◎省スペース化できます！ ◎自動弁やバルブユニットと比べて、シール類の予防保全の必要が無くなり、ランニングコストの削減が出来ます！ ◎ピグシステムの搭載も可能です！...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

フラックスレス蟻酸リフロー装置

200mm/300mmウェーハ、ガラス、250mmのサブストレートPK…

【フラックスレス蟻酸リフロー】 ■処理時間：60~100枚/時 ■プロセス温度：100~260℃ (最大450℃) ■温度分布：±3℃以下 (9-point 測定) ■省スペースフットプリント: 4.95m2 / L x W x H =1.8 x 2.75 x 2.55 m 4層シングルウエハーチャンバー設計により、高精度なプロセス制御を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： Yield Engineering Systems, Inc.