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2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応!顕微鏡ロー…
『SYAR110』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2~4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2~4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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