光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　ソーターシステム6インチ

装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載

ソーターシステム6インチは、カセット2個を2段（計4個）に配置することで幅方向はインラインタイプの50％に縮小します。装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載しております。多軸型GCRタイプを搭載することにより、ロボットのみでカセットの平行配置が可能です。ガラス対応アライナは透明、半透明、シリコンのセンタリングとオリフラロケートを高速、高精度に位置決め可能です。 詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル