• 上下機構(ICF152タイプ)『KUD-152 Mk-II』 製品画像

    上下機構(ICF152タイプ)『KUD-152 Mk-II』

    精密な位置決めができる!中空構造の直線導入機

    【仕様】 ■Z軸移動量:222±25mm ■位置決め精度:0.1mm ■許容リーク量:1.3×10⁻¹⁰Pa・m³/sec ■許容加熱温度 ≦200℃ ■接続フランジ 上部:ICF152-FT ■接続フランジ 下部:ICF152-FH ■有効内径:φ108mm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』 製品画像

    XYステージ ICF152タイプ『KXY-152』

    超高真空領域での使用が可能!中空構造の2軸の可動ステージ

    移動量:±12.5mm ■X軸位置決め精度:2µm ■Y軸位置決め精度:2µm ■許容リーク量:1.3×10^-10Pa・m³/sec ■許容加熱温度:≦200℃ ■接続フランジ 上部:ICF152-FT ■接続フランジ 下部:ICF152-FH ■有効内径:Φ100mm ■面間距離:215mm(変更可能) ■納期:2ヶ月 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • セミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』 製品画像

    セミ・マニピュレーター『KSM-70-50Z』

    超高真空領域まで使用可能!X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを…

    ベローズに工夫をこらしていることで、X軸・Y軸の動作に柔軟性を 持たせており、Z軸には側面に目盛りスケールを設置している為、 精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。 接続フランジがICF-152のタイプをの場合、接続フランジ上部に設置された 6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • エントリー・ハッチ 製品画像

    エントリー・ハッチ

    エントリー・ハッチ

    ●エントリー・ハッチ ・ICF規格ですので、お手持ちの装置にご利用できます。 ・ICF規格のフランジをOリング仕様の簡易ハッチへ変更できます。 ・ロードロック室等の試料導入が簡便に行えます。 ・覗窓付きとブランク型の2種...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 製品案内 真空部品 製品画像

    製品案内 真空部品

    主に超高真空以上の領域の真空容器や継ぎ手等に使用されているICFフラン…

    北野精機株式会社では、国際標準規格に準じた品質及び寸法のICF規格品や、 JIS規格品などの真空部品を取り扱っています。 「ICFフランジ」をはじめ、「ビューイングポート」や、「ガスケット」など 幅広いラインアップをご用意しています。 【特長...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 北野精機株式会社 真空部品 製品画像

    北野精機株式会社 真空部品

    超真空部品から大気部品まで研究用途に合わせた設計製作を的確にサポート

    ICFフランジは国際標準規格に準じた品質及び寸法であり、主に超高真空以上の領域の真空容器や継ぎ手等に使用されております。 ICFフランジには、ブランク・タップ・回転の3種類があり、用途や各部品の接続環境等によって使い分けます。 特に、装置全体のボリュームが大きい時などは、配管等も複雑になりますのでタップや回転フランジの働きが重要になります。 許容温度範囲は、-190℃から+450℃までの使用が可能...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • ビームフラックスモニター 「KFM-70」 製品画像

    ビームフラックスモニター 「KFM-70」

    シールドカバーの設置により、センサーへの汚染を最小限に抑制

    ビームフラックスモニターは小型B・Aゲージをセンサーとして分子線のビーム強度を測定するものです。MBE装置等にて使用されます。 回転導入期を使用したコンパクトな設計でICF-70サイズの取付けフランジを実現。お客様の仕様に合わせてストローク等変更可能です。 【仕様】 ○センサー:ミニチュアB-Aゲージ ○回転角度:±180℃ ○取付けフランジ:ICF-7...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • サンプル加熱ステージ『KSKS-1』 製品画像

    サンプル加熱ステージ『KSKS-1』

    オミクロン社製サンプルホルダーに対応!コンパクトな傾斜付きステージ

    『KSKS-1』は、オミクロン社製サンプルホルダーを加熱するステージです。 取り付けフランジがICF70でコンパクト。 角度付きポートからでもステージが水平となる様な傾斜付きステージのため、 全方位から導入が可能なほか、駆動機構を備えており、任意の位置へ移動調節可能です。 加熱温度45...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 総合カタログプレゼント!真空機器・部品 製品画像

    総合カタログプレゼント!真空機器・部品

    チャンバー、導入機、各種規格部品など満載!真空機器・部品の総合カタログ…

    キング処理によりH2Oなどのガスを排気した 高品質な真空部品をたっぷり掲載! 用途や条件ごとに、規格品・セミオーダー・特注品からお選び頂けます。 【掲載内容(抜粋)】 ■真空部品  ICF規格品、ISO(KF・LF)規格品(NW)、JIS規格品など ■導入機  直線導入機(Z軸)、上下機構(Z軸)、中空直線導入機(Z軸)など ■装置  チャンバーなど ※詳しくはカタログダ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 全閉型シャッター機構『KSVシリーズ』 製品画像

    全閉型シャッター機構『KSVシリーズ』

    隙間なくクローズ!蒸着物の回り込みや光を遮断する!

    『KSVシリーズ』は、ICF-70用・CF-114用のシャッター機構です。 シャッター閉の時、隙間なく閉じる事が可能な、蒸着物等に対する ビューポート用の保護シャッターとなります。 RHEEDスクリーン、光、ビーム...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • ファラデーカップ『KFC-1』 製品画像

    ファラデーカップ『KFC-1』

    照射ビームの電流計測が可能!取り付けフランジサイズのご指定承ります

    『KFC-1』は、BNC端子より、照射ビームの電流計測が可能なファラデーカップです。 取り付けフランジサイズはICF70、測定用コネクタは一般的なBNC端子です。 真空内サイズはφ34×100mm。全方位接続可能です。 取り付けフランジサイズはご指定可能です。 寸法及び形状の変更がございましたら、お気...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • フリーマウント式金属蒸着源『KFMD-1』 製品画像

    フリーマウント式金属蒸着源『KFMD-1』

    メンテナンスフリー!ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源

    シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部への ダメージを軽減することができます。 小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。 【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジICF070 ■ボートタイプで取扱が容易 ■定めた位置への蒸着が可能 ■メンテナンスフリー ■真空槽内部の汚染防止が可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • シャッター機構 製品画像

    シャッター機構

    マグネット方式で操作は簡単・半永久的!フルオープンタイプなので視界は広…

    ・ビーム等のカットにも応用できます。 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域までの使用が可能です。 【特長】 ■シャッター駆動部にKMMR-34Sが取り付けられている ■サイズは、ICF-70・114・152・203と豊富 ■各種ビューイングポートに対応可能 ■ストッパーにより、任意のオープン角度の設定が可能 ■許容リーク量は≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • トランスファーロッド(Z-φ軸 KTMシリーズ) 製品画像

    トランスファーロッド(Z-φ軸 KTMシリーズ)

    【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】弊社トランスファーロッドは…

    リーク量:≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度:≦200℃ 直進力:3kgf 回転トルク:2kgf/cm 回転角目盛:30° 駆動軸径:φ6mm 接続フランジサイズ:ICF-70FH 駆動方式:マグネット ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 真空用分光測定ユニット『KVS-1』 製品画像

    真空用分光測定ユニット『KVS-1』

    取付が容易!真空内に置いた試料の分光測定ができる真空用分光測定ユニット

    【仕様】 ■先端部の導入に必要な最小径:Φ38 ■最小取付フランジ:ICF70 ■Z軸(前後方向)ストローク:標準30mm ■Z軸(前後方向)移動分解能:0.002mm ■X軸(またはY軸)ストローク:±3mm ■ガラス窓材質  ・ホウケイ酸ガラス、合成石英ガ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 中空型 回転導入機  製品画像

    中空型 回転導入機

    ウォームギアを使用することでスムーズに位置決めが可能!中空構造の回転導…

    【特長】 ■クライオスタット、液体窒素シュラウド等を超高真空内に挿入して  回転させることが可能 ■手動式高精度型及びモーター駆動式高精度型の2種類 ■補助用ターボ分子ポンプで差動排気(ICF-34接続)を行うことにより、  超高真空装置での使用が可能 ■トルクにこだわり、負荷なくスムーズに回転を行なうことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • ビームシャッター機構 「KBS-01」 製品画像

    ビームシャッター機構 「KBS-01」

    シャッタースピードは、空圧調整バルブ(標準付属)にて任意に可変可能

    の原子線ビームを、遮蔽及び開放するシャッター等にて使用されます。 【仕様】 ○シャッター動作スピード 30~800mm/s ○シャッター動作ストローク 0~20mm ○取付けフランジ ICF-70(スルーホール) ○ベーキング温度 200℃(エアシリンダー、電磁弁部除く) ○シャッター動作方向 全方位対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 金属蒸着セル(クヌーセン・セル:K-セル) 製品画像

    金属蒸着セル(クヌーセン・セル:K-セル)

    金属蒸着セル

    【特長】 ICF-70によるコンパクト/省スペース設計 シャッター機構標準装備 ±0.1℃による温度設定が可能 ●応用材料 ・Si (Silicon) ・As (Arsenic) ・Ga (Gal...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース」 製品画像

    スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンRFスパッタソース」

    スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能

    【仕様】 ○取付フランジ ICF-152 ○ターゲットサイズ 1.5inch(円形) ○ターゲット固定 リテイナー式 ○マグネット材質 SmCo ○ベーキング温度 300℃ ○RF電源(オプション) ●詳しくはお...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 2軸型 回転導入機(マグネット型) 製品画像

    2軸型 回転導入機(マグネット型)

    マグネット方式なので、操作は安定・半永久的!超高真空領域まで対応可能!

    処理を施し、超高真空領域まで対応。 マグネット結合により運動を伝達するので外部との真空封止は完全です。 また、固定ネジにより、任意の角度設定が可能です。 【特長】 ■接続フランジはICF規格 ■内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで対応 ■マグネット結合により運動を伝達するので外部との真空封止は完全 ■固定ネジにより、任意の角度設定が可能 ※詳しくはPDF資料を...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 製品案内 装置 製品画像

    製品案内 装置

    表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

    析用チャンバー(極・超高真空)もしくは 蒸着用チャンバー(超・高真空)を製作しております。 材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。 フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。 また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。 使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バフ研磨処理・電解研磨処理よ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中 製品画像

    『真空機用導入機シリーズ 総合カタログ』※無料進呈中

    直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

    度・高再現性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を 収録した『総合カタログ』を進呈中です。 真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機や シャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し 高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。 【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動(Z軸)  ■1軸・回転運動(φ軸) ■多軸・複合運動 ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」 製品画像

    超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」

    シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。

    【仕様】 ○取付フランジ ICF-70 ○試料印加電圧 1.5kV~2kV(標準) ○蒸着可能な材料例 Fe, Co, Ni, Nb, Pt ○材料移動調整距離 25mm ○ベーキング温度 200℃ ○シャッター駆動 ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • セミ・マニピュレーター『KSM-152-50Z/150Z』 製品画像

    セミ・マニピュレーター『KSM-152-50Z/150Z』

    超高真空領域内での試料等の移動・位置決め操作が大気側より行うことが可能…

    ーターヘッドを使用し、1回転当たりの 移動量は各々0.5mmとなります。Z軸には側面に目盛りスケールを 設置している為、精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。 また、接続フランジがICF-152のタイプをご利用の場合、接続フランジ上部に 設置された6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の 導入が行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』 製品画像

    セミ・マニピュレーター『KSM-114-50Z/150Z』

    ユーザーの様々な目的・用途に対応出来る様、中空構造のXYZ機構を本体に…

    め操作が 大気側より行えます。 【特長】 ■超高真空領域まで使用出来る ■X、Y軸の駆動部にはマイクロメーターヘッドを使用 ■1回転当たりの移動量は各々0.5mm ■接続フランジがICF-152のタイプの場合、接続フランジ上部に設置された  6ヶ所の導入ポート(ICF-34FT接続)よりフィールドスルー等の導入が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • トランスファーロッド(Z-φ軸 KTLシリーズ) 製品画像

    トランスファーロッド(Z-φ軸 KTLシリーズ)

    弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用…

    ーク量:≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度:≦200℃ 直進力:6kgf 回転トルク:9kgf/cm 回転角目盛:10° 駆動軸径:φ10mm 接続フランジサイズ:ICF-70FH 駆動方式:マグネット ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • トランスファーロッド(Z-φ軸 KTSシリーズ) 製品画像

    トランスファーロッド(Z-φ軸 KTSシリーズ)

    弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用…

    リーク量:≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度:≦200℃ 直進力:3kgf 回転トルク:2kgf/cm 回転角目盛:30° 駆動軸径:φ6mm 接続フランジサイズ:ICF-34FH 駆動方式:マグネット ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • トランスファーロッド(Z-φ軸 KTXシリーズ) 製品画像

    トランスファーロッド(Z-φ軸 KTXシリーズ)

    【 4000台販売突破キャンペーン実施中 】 弊社トランスファーロッ…

    ーク量:≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度:≦200℃ 直進力:6kgf 回転トルク:9kgf/cm 回転角目盛:16° 駆動軸径:φ16mm 接続フランジサイズ:ICF-114FH 駆動方式:マグネット ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンスパッタソース」 製品画像

    スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンスパッタソース」

    マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能

    【仕様】 ○取付フランジ ICF-152 ○ターゲットサイズ 1.5inch(円形) ○ターゲット固定 リテイナー式 ○マグネット材質 SmCo ○ベーキング温度 300℃ ○DC電源(オプション) ●詳しくはお...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンDCスパッタソース」 製品画像

    スパッタソース 「超高真空対応マグネトロンDCスパッタソース」

    スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能

    【仕様】 ○取付フランジ ICF-152 ○ターゲットサイズ 1.5inch(円形) ○ターゲット固定 リテイナー式 ○マグネット材質 SmCo ○ベーキング温度 300℃ ○DC電源(オプション) ●詳しくはお...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』 製品画像

    フリーマウント式金属蒸着源『KFOD-1』

    取り扱いが簡単!小型で簡易設計のフリーマウント式金属蒸着源

    【仕様】 ■導入径:φ36 ■導入フランジサイズ:最小 ICF070 ■真空内長さ:60mm~(選択可) ■導入向き:上向き~水平(任意) ■蒸着向き:0°~90° ■るつぼ材質:アルミナ ■るつぼ容量:0.3cc ■フィラメント材質:タンタル ...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

  • 真空機器・部品 総合カタログ  無料プレゼント 製品画像

    真空機器・部品 総合カタログ  無料プレゼント

    チャンバーから導入機、各種規格部品まで真空部品の総合カタログプレゼント…

    ◆◇◆掲載内容◆◇◆ ◆製品案内 真空部品 ・ICF規格品 ・ISO(KF・LF)規格品(NW) ・JIS規格品 ・チューブ継手付ブラシ ・ガス導入バルブ付フランジ ・ガスライン用フレキシブルチューブ ・電流導入端子シリーズ ・低温高...

    メーカー・取り扱い企業: 北野精機株式会社

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