【設備修理・延命化】産業機器向けトリコのリペアサービス

PR見積り無料。メーカー保証切れ・修理未対応・海外製品の修理サービスを豊富…

当社では、基板をはじめモーターやモニター、RF電源など 幅広い製品の修理サービスを手掛けています。 年数が経ちメーカー保証切れ・修理未対応・海外製品にも対応し、 メーカー修理打ち切り、購入不可による装置新規購入が不必要になり、 予算の先送りになり、コストダウンがはかれます。 また、修理はもちろん、現地延命化や中古品・再生品の販売も行っております。 4000アイテム以上の中古品を取り揃え、社内在...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トリコ 東京支店

【工場全体をシミュレーション】バーチャルプラント製品　

PRRF::Suiteは工場全体の生産ライフサイクルを通して製造現場のデジ…

RF::Suiteが提供するバーチャルコミッショニング技術は、生産工場の開発及び生産準備プロセスにおける品質ゲートウェイとしての機能を果たします。現実の生産システムを仮想空間内で構築して、実際に使用するPLC制御プログラムおよびロボットプログラムと通信しながら、実際の生産システムの挙動をリアルに再現させることができます。 これにより、設備の立上げ期間の短縮、コスト低減、実機据付後の想定外不具合の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テックスイートジャパン　（旧セニット・ジャパン）

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

小型・低価格を実現。多目的簡易操作型RFプラズマクリーナー。

プラズマクリーナーＰＣＵ－３０はSEM・TEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。低エネルギープラズマで試料損傷を回避。•クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－２０

あらゆる用途に対応可能な高性能装置。調整後はボタンひとつでＯＫ！

デル。TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでＯＫ！RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で！ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

『薄膜受託加工』

試作・開発から中小ロット生産まで！部品・素材を多機能に変身させる表面処…

東邦化研株式会社では、電子銃式真空蒸着・高周波励起方式(RF式)イオンプレーティングなどによる薄膜コーティングサービスを受託加工しております。 電子銃式真空蒸着は、膜にする材料を真空中でEBガン(電子銃)で蒸発させ、対象物へコーティングします。 そ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

●　価格500万円(税込み) ●　φ3インチターゲット　1元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

・チャンネル：1～8 ・RF周波数：1～50MHz ・インピーダンス：共振周波数で10kΩ以上 ・DCR：各チャンネルで25℃の場合に2MHzで100mΩ未満、13MHzより高い周波数で15mΩ未満 ・L：各チャンネル2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～） ■低残渣かつ高速加工を実現（10μm/mim） ■低出力のRF電源（最大出力50W未満） ■試料をステージで移動させた広範囲の加工が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

【仕様】 ○処理方式：平行平板プラズマ励起方式（DP／RIE切替可） ○処理室：AL製（シングルチャンバー） ○RF電源：600Ｗ　13.56MHz　オートチューニング ○処理ガス →O2：1000SCCM →CF4：500SCCM →1系統増設可（オプション） ○パージガス：N2 ○スループット：3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

キンセイマテック「粉体受託加工」※グラフデータ進呈！

粗粉砕から超微粉砕まで「数百ミクロン～サブミクロン」をカバー！用途に応…

広い粒度調整が可能です。樹脂フィラー、化粧品等に向けたシランカップリング、シリコーン処理、金属表面酸化処理などの表面処理加工の他、ご希望条件に合わせた荷姿・重量の小分け梱包加工も承っています。また、RF-ID用磁性シート、電磁波ノイズ制御シート向けに特殊加工も可能です。 【特長】　　 ◆数百ミクロン～サブミクロンまで用途に応じて希望粒度を実現！ ◆混合加工では希望に合わせた設備を提案！ ...

メーカー・取り扱い企業： キンセイマテック株式会社

DLC成膜装置「プラズマイオン注入成膜装置」

３次元・大型・低温処理が可能！独自開発技術採用プラズマイオン注入成膜装…

オン注入成膜装置」は、独自開発技術を採用しており、３次元・大型・低温処理が可能なDLC成膜装置です。 栗田製作所独自開発装置で特許取得済み（特許第3555928号）です。 プラズマ生成用のバルスRF電源、イオン注入用の高圧バルス電源の出力を一つの電極から供給することにより、基材形状に合わせたプラズマ生成が可能です。 DLCコーティング、ガスイオン注入処理がこの一台で行うことができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

ガス導入型真空プラズマ装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

が簡易 【オプション対応致します】 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。 ◇圧力調整 ◇RFタイプ ◇クリーンボックス ◇ステージサイズ ◇POWERコントロール　など・・・ その他お気軽にご相談下さい。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

DLCコーティング加工　PEKURIS COAT

他に類を見ない三次元成膜技術で、不可能を現実にします。

PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での処理も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

精密光学用イオンビームスパッター装置　IBS1400／1600

ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3％ の範囲内で膜厚分布を実現いたします。 詳細はお気軽にお問合せください。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積（ALD）装置

Arradiance社製卓上型ALD装置　卓上型ながらプラズマユニット…

選択可能 450℃加熱ステージも選択可能 Arradiance GEMFlowソフトウェアは、 扱いやすく、成膜レシピの作成も簡単に行えます。 温度、ガス流量、高速ALDバルブ、高周波(RF)パワー、 真空隔離など、すべての主要な動作パラメータを制御。 診断システムとログにより、操作中のすべてのシステム・パラメータが追跡可能 RGIP（Reactor Gas Injectio...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイチ・ティー・エル HTL（エイチティーエル）

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

に日本で設立されました。日本の半導体製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3（酸化イットリウム）やYOF（酸フッ化イットリウム）を再生成膜することでRF window（誘電体窓・天板）交換の費用（純正部品購入より再生で大幅にコスト削減！）や装置メンテナンスに伴うダウンタイムを大幅に抑えて装置稼働時間を上げることができます。 誘電体窓やビューポート...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ■エッチング装置のメンテナンスサイクルが大幅に改善 ■溶射、エアロゾル蒸着、イオンプレーティングによる成膜より 　耐プラズマ性・耐食性に優れている ※...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

超高真空マルチチャンバー連結システム

φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹…

【ALD・プラズマ処理・スパッタ・表面分析システム　構成（一部）】 ■XPS表面分析装置 ■3源RFスパッタ装置 ■ECRプラズマ表面処理装置 ■ALD（原子層堆積）装置 ■トンネルチャンバー ■ロードロック室 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

プラズマCVD装置『PEGASUS』

低温成膜。高絶縁、ハイバリア、均一性！

【仕様】 ■サイズ：W4000mm×D2000mm×2000mm ■プラズマソース：ICP、RFバイアス ■ガス種：SiH4、O2、N2、HMDSO、NF3 ■ウエハサイズ：～φ12インチ（FOUP対応） ■成膜速度：～300nm/min ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セルバック

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

■□■特長■□■ ■業界最小サイズ　「研究機関向けの超コンパクト設計」 ■操作性　「可変RF出力搭載、どなたでも簡単に操作できます」 ■幅広い用途　「光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど」 ■プラズマフロー　「流量計2系統と圧力計を搭載、2種類のプロセスガスを再現良...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 ライフサイエンス事業部　科学機器事業部

アールエムテック　サービス案内

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

ニット ●イオンビームエッチング/スパッタリング装置 お客様仕様に合わせて設計致します。 小型実験機～CtoC量産装置に対応。 ●消耗品 ●薄膜材料 ●KRI社製イオンソース 　DC、RF、エンドホール...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

【MARBS】めっきの常識破壊

エッチングレスで、ガラス・テフロン素材へダイレクトめっき！

【メッキ試験結果一覧（抜粋）】 ＜テフロン系素材＞ ■RF-60A（PTFE+ガラスクロス＋セラミックス） ■CER-10（PTFE+ガラスクロス＋セラミックス） ■TLY-5A（PTFE+ガラスクロス） ■RO4350B 「Rogers製」（PTF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社豊光社

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

【特長】 ■業界最小サイズ　「研究機関向けの超コンパクト設計」 ■操作性　「可変RF出力搭載、どなたでも簡単に操作できます」 ■幅広い用途　「光学材料/プラスチック/金属/セラミックス/PDMSなど」 ■プラズマフロー　「流量計2系統と圧力計を搭載、2種類のプロセスガスを再現良...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 ライフサイエンス事業部　科学機器事業部