防爆スポットクーラー　DGR-1A/3A-SP/SPS

PR産業安全技術協会（TIIS）検定合格品でゾーン１（第一類危険箇所）とゾ…

防爆スポットクーラーは、危険場所のうちゾーン１（第一類危険箇）とゾーン2（第二類危険箇所）で使えます。 電源は三相200V、単相100Vの2種類。 冷媒回路は内圧防爆構造、制御回路は耐圧防爆構造、ユニットの装置はすべて防爆構造。 装置下部にドレンタンクを装備。 オプションにて電源コードの長さの変更可能(標準3ｍ)本体の移動や固定に便利なキャスター・ストッパー付きです。 【特徴】 ○ゾーン１（第一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同工業所 楠根工場

高品質な精密機械部品加工　金久保製作所の加工事例集ver1

PRアルミ、S45C、SUS304、SUS316、ジュラコンABS、医療機…

自動制御用部品加工のほか、つり具部品、万華鏡部品、医療機器部品、 空圧機器部品など、幅広い業界での精密加工の実績がある金久保製作所。 対応材質も幅広く、アルミA2017、S45C、SUS304、SUS316、チタン、真鍮、ジュラルミン、ジュラコンABS等、様々な加工に対応した実績があります。 空圧機器部品の加工では、内径加工が複雑な角物の加工や、 φ0.3の小径の穴あけなど、精密で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社金久保製作所

JCT1-0500ティーチングボックス

ロボットの教示作業時に使用し、エラーコードなどの読み取りが可能です。

3ポジション　デッドマンスイッチを搭載 ティーチング操作しやすい、片手持ちデザイン。軽量500g（ケーブル除く） 内部ソフトによる、押しボタンの自己診断機能搭載...入力電圧 DC5V(±5%) 通信 RS232C 環境 0～40℃　（ただし結露しないこと） 付属ケーブル 5mまで 非常停止接点 A接点 外形寸法 W118×H225×D33（非常停止ボタン含まず）コントラスト調整用穴...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-10010　EFEM

EFEM

トローク (Z軸) 1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式 吸着による保持 クリーン度 ISO Class2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源：単相 AC200V 15A 真空：-53kPa以上(吸着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

ラス2（ISO14644） (駆動部排気時搬送レベル) 質量 ロボット本体 約60kg システム全体 約300kg ユーティリティ 電源：AC200V±10% 30A 真空：-73kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 500mm/sec 160度/sec 85mm/sec 分解能※ アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 49µm以下 0.0214度 12.5µm以下 搬送レベル※ 255mm (フランジ取付面よりチャック取付面まで) 繰り返し精度 ±0.2mm以内 ユーティリティ 電流電圧：DC24V 8A 正圧：0.1MPa

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…

200mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 クリーン度 ISOクラス2以下（ISO14644）（駆動部排気時） ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 15A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合) 質量 ロボット本体 約26kg...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

m以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約10kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ストローク(Z軸) 230mm/sec 450度/sec 40mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 クリーン対策 磁性流体シール及びフィルタにより対策 耐真空度 1.33×10-6Pa ユーティリティ 電源：DC24V±10% 4A 質量 ロボット本体 約7kg コントローラ仕様 コントローラ型式 C4301シリーズ インタフェース RS232C, パラレルフォトI/O...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

m以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約18kg ○ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 3A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...被搬送物 100.4mmサファイヤウェーハ（第1オリフラのみ仕様）/厚み 1mm以下（反り無し） 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度 センタリング：±0.2m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

0µm以下 0.0015度 2.0µm ○繰り返し精度 ±0.1mm以内 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○ユーティリティ 電源：DC24V±10% 15A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

µm以下 0.0015度 2.0µm ○繰り返し精度 ±0.1mm以内 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○ユーティリティ 電源：DC24V±10% 16A 真空：-53kPa以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

7度 12.5µm以下 搬送レベル 569mm (ベース取付面から上チャックの搬送ライン) 繰り返し精度 ±0.2mm以内 ユーティリティ 電流電圧：DC24V 10A 真空：-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

ec 450度/sec 170mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 クリーン度 ISOクラス2（駆動部排気時） ユーティリティ 電流電圧：DC24V±10% 4A 真空：-70kPa以上 質量 ロボット本体 約4kg コントローラ仕様 コントローラ型式 C4301シリーズ インタフェース RS232C及びパラレルフォトI/O 本仕様はTSCR3060N-135-PMの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL1021（2インチウェーハ搬送）

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気アライナ：フットプリント80%（□85x100mm）, 容積比80%ダウン 組み合わせにより、多彩な搬送シーンに貢献 透明体、半透明体にもそれぞれ対応...被搬送物 2インチシリコンウェーハ 位置決め精度 センタリング：±0.3mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 位置決め時間 センタリング～オリフラ 約10秒 センサ オリフラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル