コーティング剤検査装置『Sonar』

PRUVライトを使った2Dコーティング剤検査装置。独自開発AIを使った気泡…

『Sonar』は、弊社が持つ画像処理検査技術とUVライト＋RG照明を組み合わせたコンフォーマルコーティング剤検査装置です。 コーティング領域の全面検査とコーティング不可領域の任意検査に加え、自社開発AI技術を使った気泡検出機能が標準装備されています。また、レーザー変位センサを使った膜厚測定（オプション）を搭載することでワーク毎のコーティング厚のバラつきを記録することが可能になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュッツジャパン

ハンディタイプ高精度デジタル温度計 Model: CTP1500

PR小型軽量のハンディタイプ温度計。高精度±0.05℃。単三乾電池駆動。校…

◆製品概要 CTP1500はハンディタイプの温度計としてコンパクトながらも優れた精度を持ち、様々な用途や場所での測定が可能です。- 20 ... +180 °Cの範囲で±0.05 °Cの精度を達成しています。この高い精度により、バイオテクノロジーや医薬、食品業界など様々な産業における基準温度計としても活用することが可能です。 ◆製品特徴 CTP1500は小型軽量であるため、簡単に持ち運びをするこ...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

３００ｍｍの処理ステージを装備。小型基板の一括処理に対応。 レジスト・ポリイミド等有機膜・有機物の除去にＯ２によるハイレートアッシング。 基板上の有機物除去以外に基板の酸化にも対応可能。 オプションにてＨ２ガスの使用により、半田の表面酸化膜の除去も可能。 ウェハ・基板のバンプ・パッドのの表面酸化膜除去・還元クリーニングに効果 オプションにて大型ステージ（４００×５００ｍｍ）対応可能...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

応の枚葉式プラズマアッシング装置。 高密度表面波プラズマ源装備アッシング室２室装備。枚葉式ロードロック室１室装備。マルチチャンバタイプ。 コンパクトな設置寸法でハイスループットを実現。豊富なオプション類（ＲＩＥ室・ＩＣＰ室・加熱・冷却室・追加ガス系）による通常のアッシング岳でなく。マルチステップアッシング・各種有機膜エッチング・エッチング／アッシング複合装置として多くの用途・プロセスに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

ＩＥ装置を基本とし、電極切替によるマルチモードプラズマによりソフトモードプラズマ処理を実現 ＣＦ系、Ｏ２、Ａｒ、Ｈ２などのガス系とプラズマモードの組み合わせにより差的なプロセスを選択可能。 オプションで両面処理機能・３００ｍｍウェハや矩形基板の処理に対応 プロセス室を追加したハイスループットタイプもラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さら...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

・低価格・省スペースを実現 （4インチウエハ、5インチウエハはオプション対応） ・低ダメージでアッシング及び表面改質が可能 ・多様なプロセスに使用可能な50枚一括バッチ式のプラズマアッシング装置。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部