コーティング剤検査装置『Sonar』

PRUVライトを使った2Dコーティング剤検査装置。独自開発AIを使った気泡…

『Sonar』は、弊社が持つ画像処理検査技術とUVライト＋RG照明を組み合わせたコンフォーマルコーティング剤検査装置です。 コーティング領域の全面検査とコーティング不可領域の任意検査に加え、自社開発AI技術を使った気泡検出機能が標準装備されています。また、レーザー変位センサを使った膜厚測定（オプション）を搭載することでワーク毎のコーティング厚のバラつきを記録することが可能になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュッツジャパン

切粉破砕機『チップクラッシャー』

PR切粉を最大1/10破砕！保管場所の省スペース化が実現。

『チップクラッシャー』は、機械加工で出る鉄くずを粉砕する製品です。 場所を取りがちな切粉の一時的な保管が、当製品の導入により省スペース化が実現。 破砕により容積を最大1/10に減らすことができ切粉の輸送などにかかる手間を減らすことができます。 さらに作業の効率化や、産廃コスト削減による節約なども見込めます。 SDGsやカーボンニュートラルへの取組みに対して親和性の高い製品です。 材質に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 浜松貿易株式会社

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ

電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。

【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。 ○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。 ○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

大気圧プラズマ装置　エアープラズマシリーズ

大気圧プラズマ装置による表面改質をさまざまなオプションで品質管理

『エアープラズマシリーズ』は、タッチパネルで様々なプラズマの 品質管理オプションを制御する大気圧プラズマ表面改質装置です。 タッチパネル操作で簡単にプラズマ出力(500W～1000W)を変更したり、 入力されたエア圧の最小・最大リミットの設定をすることで、 安定し...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

ムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置として運用可能 Ｒ＆Ｄ用小型機やシート対応のバッチ型装置など目的・用途に合わせて柔軟にハード＆ソフトの実現...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ成膜及びエッチング装置『FLARIONシリーズ』

プラズマアシストリアクティブ成膜可能！インテグレーション用オプションな…

のシームレスICPによるプラズマアシストリアクティブ成膜が可能。 また、基板回転機構、バイアス機構やプログラム制御された 軸動作機構の搭載が可能で、カスタマイズやインテグレーション用 オプションに対応しています。 【特長】 ■PLUM シリーズのシームレスICPによる 　プラズマアシストリアクティブ成膜可能 ■基板回転機構、バイアス機構や 　プログラム制御された軸動作機構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

ッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポートします。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

ンラインタイプ 標準６室構成（ロードロック室、カセット室、搬送室、スパッタ室３室） 枚葉式CｔｏＣシステム 到達圧力：１０－⁷ｐａ　Order（スパッタ室） 対象基板：φ２～４インチ オプション機構 高効率強磁性体用カソード、基板磁化機構、エッチング室 カスタマイズ対応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

●　価格500万円(税込み) ●　φ3インチターゲット　1元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプションにて基板ヒーターの取付可。 ●　余分なものを省きながら使いやすいシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

コールドカソードイオン銃

ホットカソードには無い極めて低い温度、低い真空度で動作！

せました。 放電電極に高価なレアメタルをおごっているにもかかわらず、最適設計により部品点数を削減したため、品質をより向上させつつ販売価格を１２３万円（税抜き）とすることができました。 また、オプションのユニットをお選び頂ければ、従来のような高機能・高性能タイプにリーズナブルにステップアップすることも可能です。 中性ビーム銃に搭載の同軸型ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければセラミッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オメガトロン

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

イプのバルブを使用し、装置内での 　閉塞が起こりにくい構造となっています。 ・処理剤破過検知のほかに、装置内圧力・処理剤温度等を 　常時モニタリングし、異常発生時に警報を発報します。（一部オプション）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

【仕様（抜粋）】 ■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H) ■重量：20kg ■真空ポンプ：ドライポンプ（15L） ■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm ■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

CVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他 　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン 　集合表示灯及びタッチパネル（オプション）、シグナルタワーによりスピーディーに警報を識別可能。 ● 希釈対応が必要なH2、C2H2も処理可能 　乾式除害では処理できない可燃性ガス（H2、C2H2）も処理可能。H2OとCO2として排...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社巴商会 管理部署：企画営業部

HV-X-プラズマ＆コロナジェネレータシリーズ

真空プラズマ＆コロナ処理用ジェネレータ！重要なパラメータのほとんどを制…

的な 　パラメータのみを調整できる ■Modbus（標準） ・全パラメータの設定や保存、検証、監視を含む完全なパラメータ制御を実現 （ProfibusやCANopen、その他のバス制御はオプション） ■オペレータインターフェース制御、Tantec Remote-X（オプション） ・全パラメータの設定や保存、検証、監視を含む完全なパラメータ制御を実現 ■PLC構成（標準） ・主要マ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

ティングに対応した基板自公転機構を備え、小型機械部品の生産に最適。 実績豊富な各部機構と制御ソフトに加えデータロギングソフト等優れたインターフェースによって優れた操作性と安定した稼動を実現 オプションで従来型ＰＩＧーＣＶＤ機構を装備可能。ＰＶＤ＋ＣＶＤのデュアルタイプのＤＬＣコーティング装置と幅広い用途に対応。 同一バッチで基板表面エッチング／イオン窒化／水素フリーＤＬＣ成膜まで一貫処理 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を 行っています。 【特長】 ■リーズナブルなコストと高いプロセス性能 ■少量生産にも対応可能な高い信頼性 ■豊富な実績に支えられた豊富なオプション類と柔軟なハード対応 ■先端分野の薄膜開発にロードロック機構と事前成膜テストで 　プロセス開発をサポート ■デモ機を常設し、サンプルテスト対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

○処理室：AL製（シングルチャンバー） ○RF電源：600Ｗ　13.56MHz　オートチューニング ○処理ガス →O2：1000SCCM →CF4：500SCCM →1系統増設可（オプション） ○パージガス：N2 ○スループット：3000枚／400時間（ポリイミド膜1μｍエッチング時） ○処理ステップ：3ステップ、10レシピ ○ウエハーサイズ：6インチ、8インチ兼用 ○ウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

ＨＰＣ－２０フルオートオスミウムコーター

高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、驚きの低価格も実現。オスミウムコーティングにご興味のある方、オペレーションに不安のある方、是非当社のオスミウムコーターを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

応の枚葉式プラズマアッシング装置。 高密度表面波プラズマ源装備アッシング室２室装備。枚葉式ロードロック室１室装備。マルチチャンバタイプ。 コンパクトな設置寸法でハイスループットを実現。豊富なオプション類（ＲＩＥ室・ＩＣＰ室・加熱・冷却室・追加ガス系）による通常のアッシング岳でなく。マルチステップアッシング・各種有機膜エッチング・エッチング／アッシング複合装置として多くの用途・プロセスに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気圧プラズマ装置　エアープラズマECO（エコ)シリーズ

【オートモーティブワールド2020出展】低コスト！シンプルで経済的な大…

～40L/min (ノズル１本当り) ■外形寸法：357mm(W) × 534mm(D) × 186mm(H)-標準サイズ ■重量：36～40 Kg ■ホース長：標準 3m (1～10m オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット～成膜…

を踏襲、小径ターゲットを使用し大面積（φ１８０）への成膜が可能。 基板加熱ヒーターと基板水冷機構を標準装備し幅広い成膜条件を実現。 強磁性体カソードや同時スパッタ、ロードロック機構など豊富なオプションを揃えており幅広いハードへの要求に個別対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。 膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応 Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績 蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

ＩＥ装置を基本とし、電極切替によるマルチモードプラズマによりソフトモードプラズマ処理を実現 ＣＦ系、Ｏ２、Ａｒ、Ｈ２などのガス系とプラズマモードの組み合わせにより差的なプロセスを選択可能。 オプションで両面処理機能・３００ｍｍウェハや矩形基板の処理に対応 プロセス室を追加したハイスループットタイプもラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ガス導入型真空プラズマ装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

学省の支援事業『京都環境ナノクラスター』に協力頂き 製品化を実現致しました。 【特徴】 ○回転チャンバー搭載 ○様々なガスの導入が可能 ○タッチパネル制御で使用方法が簡易 【オプション対応致します】 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。 ◇圧力調整 ◇RFタイプ ◇クリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

2枚同時処理で高スループット。ウエハ移載コストの削減にも貢献

【特長】 ■1400(W)×3000(D)×1900(H)mmのコンパクト設計 ■分布はウエハ内±5％以下 ■SAWデバイスなどの極薄圧電ウエハにも対応 ■Arプラズマクリーニングもオプションでご用意 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

プラズマクリーナー(大型)

小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社　…

器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部

大気圧プラズマシステム『Atomflo(TM)500』

スピーディーで均一！スパークレスでダメージフリーな大気圧プラズマシステ…

(PP)部品等の 感熱材料に対して有効です。 【特長】 ■ソフトウェア制御システム ■モニタリング機能及び制御 ■システムの使用者制限とアラーム ■レシピを管理 ■自動化対応(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日放電子 アドバンストテクニカルスタジオ

プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】

使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水…

000mmで自由に選ぶことができます。 一般的なセラミック・金属・樹脂の親水化・接着強化の他、PTFE(テフロン)の処理や各種素材の撥水処理、エッチングや薄膜形成などにお使いいただけます。 オプションでの冷却機構やガス系統追加等のオーダーメイドも承っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

プラズマクリーナー（小型）

業界最小サイズ！小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社 科学機器事業部