採用事例集を無料進呈中！『太陽光発電オンサイトサービス』

PR自家消費型の太陽光発電で脱炭素化・コスト削減に貢献。導入から運用・メン…

『太陽光発電オンサイトサービス』とは、太陽光発電で発電した電気をご使用いただくことで、 脱炭素・コスト削減につながるサービスです。 初期費用ゼロで、導入時の工事から導入後の運用・メンテナンスまでワンストップでおまかせ いただけます。 無料進呈中の事例集では、実際にサービスをご利用いただいている企業様の声をご紹介しております。 以下の「PDFダウンロード」からご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関西電力株式会社

超小型減速機のトルク測定機

PR【超小型減速機※13角相当のトルク測定ができます！】

超小型減速機のトルク測定サービスを始めました！ 製品開発、検査にご利用ください。 超小型減速機のトルク測定に関するニーズをお持ちの企業様は、お気軽にご相談ください。 ●超小型減速機に特化したトルク測定サービス ●高精度かつ安定した測定結果の提供 ●カスタマイズ可能な測定プランにより、お客様のニーズに柔軟に対応...【測定概要】 ■トルク総合精度：　±1% ■トルク分解能：0....

メーカー・取り扱い企業： セルテクノス株式会社

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

-高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 -極めて短い制御応答時間 -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用)...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

大きな差圧に対応可能！

r DN 100-160: ≤ 2.0 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 63-80: ≤ 1 bar DN 100-160: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 DN 63-80: 三百万回 DN 100-160: 百万回 軸シール（メインバルブ） DN 63-80: ベローズ DN 100-160: Oリング...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

プレートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1.2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 200: ≤ 10 mbar DN 250-500: ≤ 5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 200,000 加熱および冷却速度: ≤ 30 °C h-1 軸シール: 回転軸シール 電磁弁: 24 V DC、5.4 W（その他はお問い合わせ下さい）...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

にかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤1 bar バルブ開方向: ≤10 mbar (optional 1 bar) バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤1.2 s（開口サイズ80ｘ 1500 mm） 取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向 リミットスイッチ 電圧: 10 -30...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

r Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤1 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s（開口高さ100mm） 取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向 リミットスイッチ 電圧: 10 -30 V DC PNP...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用） ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

N 10-50: ≤ 5.0 bar DN 63-80: ≤ 4.0 bar DN 100-160: ≤ 2.0 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 手動アクチュエータ DN 10-80: 10,000 DN 100-160: 10,000 開/閉スプリング DN 10-80: 三百万回 DN 100-160:...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型ドアー L-VAT　Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

x 10-7 mbar ls-1（Δp at gate = 0.1 MPa） ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤ 1 bar バルブ開方向: ≤ 5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤ 2.5 s ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社