サーボモーター | イプロスものづくり

PR角度エンコーダー・DCサーボモーター搭載、電流制御でトルクの締め分けが…

『KL-TCC/SGT-CC』は、角度エンコーダーを搭載した電流制御式のアドバンスト電動ドライバーです。ある一定のトルクが掛かった時点で角度の計測を始めるため、確度の高い締付け不良検出を実現。締め付けトルク等をJOBに登録でき、締め付け結果と同時に部品番号も記録可能です。また、トルク/回転速度等の可変は「バーコード」「専用ソフト」「イーサネット」で切替えできます。 ...

メーカー・取り扱い企業：キリウスジャパン株式会社

旋削加工に代わる「拡管加工」真円の精度を極限まで高めることに成功

PR加工後に発生する、内径の歪みを抑えて真円の精度にこだわった拡管加工とは…

CNC旋盤を使用して旋削加工していると様々な問題が発生します。長いフレームの旋削は、フレームの共振と不安定な固定により、内径、垂直度や平行度に影響を及ぼします。イングスの拡管加工では、アルミ押し出し材の表面を保持しますので、表面粗さも満足いただけます。また、拡管加工で内径を加工する場合、製造コストを抑えることもできます。【拡管加工使用例】 ■ACモーターフレーム ■DCモー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イングス

チップソー研磨機『ボディ研磨機』『グライディングマシン』他

国内外の鋸歯メーカーや再研磨業者で多数採用。専用機から複合機まで豊富な…

式で操作が簡単 ■0.1mm単位で自動切込ができ研磨終了後、自動停止 ■チップと台金の境目、チップの高さを自由に調整可能チップソーグラインディングマシン『TN-85/85D』 ■サーボモーターによる各種制御に対応(砥石モーター・歯送りモーター他) ■当社従来品より砥石軸剛性やスライド部剛性が大幅に向上 ■砥石の上下ストロークの調整により研磨時間が短縮 ※この他にも「ブレー...

メーカー・取り扱い企業：東海熱処理株式会社

側面研磨機『TN-51』

左右アサリ有り研磨可能！サーボモーターを使用している側面研磨機

『TN-51』は、両面同時研磨ができる側面研磨機です。オシレーションとワンパスの切替研磨可能。砥石切込及び砥石前後運動は、サーボモーターを使用しています。また、オシレーションスピード･研磨回数･0研回数･切込量自由に設定が可能です。(画面による数値設定) 【特長】 ■両面同時研磨 ■オシレーションとワンパ...

メーカー・取り扱い企業：東海熱処理株式会社

10ｔサーボプレス

5ｔとほぼ同サイズを実現！精密プレス加工・深絞り加工・トムソン加工に最…

安全性・操作性・応用性に優れたボールネジ駆動の新しいタイプのサーボプレス機です。駆動源はＡＣサーボモーターによるアンダードライブ機構を採用し、送り装置や付帯設備の取付けにも有利な構造であり金型脱着も容易に出来ます。コンパクトでありながら、高い剛性を確保し加工品質の安定性に大きく貢献すると共にサ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山岡製作所

チップソーグラインディングマシン『TN-85・TN-85D』

鋸歯の研磨は、高精度仕上げに徹したチップソーグラインディングマシンで！

【特徴】 ≪TN-85,TN-85D≫ ○タッチパネルでメイン設定が可能 ○サーボモーターによる制御 →砥石モーター・歯送りモーター・砥石上下モーター・砥石切込モーター・傾斜角モーター ○砥石軸剛性及びスライド部剛性が大幅に向上 ○砥石上下ストロークのちょうせいにより研磨時間...

メーカー・取り扱い企業：東海熱処理株式会社

卓上式マニュアルスピンナー

シンプルデザインの卓上式マニュアルスピンナー

============ ＜仕　様＞試料サイズ…Φ2インチ〜 Φ6インチカップ径…Φ300mm 回転範囲…100〜5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…ACサーボモーター回転表示…デジタル回転数設定…液晶タッチパネルレシピ設定…10プログラム×50パターンオプション…試料台、真空ポンプユーティリティー…電源、真空...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

）】 ■基板サイズ：Φ5～Φ100mm （Max.Φ4インチ、□70mm）基板対応 ■外形寸法：700w×600d×1060h(安全カバー閉時) ■電源：1φ　100V-10A (ACサーボモーター400W) 50/60Hz ■制御方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最適...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

ク：7"□、φ8"等 ○外形寸法(mm)：W1500×D1500×H1700 ○回転部： →インナーカップ　アルミ、アルマイト処理 →外形φ300　密閉回転式 →スピンモーター　ACサーボモーター5.5KW →回転数　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋： →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウタ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

レンタル用小型スリットコーター

実験・開発用スリットコーター・基板サイズ：200mm□ ・レンタ…

：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター【主要用途・実例】・大学、研究開発機関、産総研・素材、材料開発・精密部品、光学部品・医薬品研究用途・自動車精密金型部品・化粧品・電子デバイス、...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スリットコーター（200mm□用）

実験用小型スリットコーター・基板サイズ：200mm ・粘度：数c…

：200×200×0.4～1.1mmt ・ステージサイズ：230×230mm ・膜厚：0.5～100μm ・薬液系統：1系統・粘度：数cps～10,000cps ・ノズル上下駆動：サーボモーター ・テーブル駆動：リニアモーター ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スピンナーASC-4000

ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター）

ACサーボモーター採用。高剛性の主軸部。ワークを選ばない回転安定性。...

メーカー・取り扱い企業：アクテス京三株式会社技術センター

ウェハIDリーダー／ソーター

バラバラになったウェハーをロットナンバー順に整列させる装置

【特長】 ○抜群の使い勝手 →必要な操作は全てタッチパネルでの操作（非常停止ボタン除く） ○高メンテナンス性 →専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター（３軸）など汎用品を用いて実現 →専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能 ○低コスト →専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現 →保守部品や交換部品も汎用品の為...

メーカー・取り扱い企業：玉川エンジニアリング株式会社

低印圧スクリーン印刷機　MT-650TVC eXtreme

プレコンタクト印刷を容易に！高い生産性と信頼性を実現した最新モデルです

【基本仕様】版枠寸法：450×450mm、550×550ｍｍ、550（W）×650（L）mm 印刷面積：最大250mm テーブル寸法：360×360mm スキージ駆動：ACサーボモーターによるスチールベルト駆動スキージスピード：10～300mm/sec. スキージストローク：最大370mm 印圧設定機構：垂直フロート型エアーバランス方式クリアランス：0-10mm ...

メーカー・取り扱い企業：マイクロ・テック株式会社

卓上プレス装置 RMS750

精密ボールネジを採用し高精度な位置決めが可能!

【特徴】・ACサーボモーターの採用で省エネルギー化を実現・オープンハイトの調整がデジタルで変更可能なため多品種の金型に対応可能・精密ボールネジを採用し高精度な位置決めが可能・停止時間指定、ラム速度、位置指定等...

メーカー・取り扱い企業：ローム・メカテック株式会社

超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ター…

ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案...

メーカー・取り扱い企業：神津精機株式会社

高精度定量試料研磨機『OSK 97UO SP』

高トルク出力750Wのサーボモーターを採用！安定したトルク出力を維持

『OSK 97UO SP』は、自動研磨時に研削量を測定しながら高精度で定量の研磨ができる装置です。光学レンズ、半導体ウェハー、金属など様々な材料の研削と研磨などに活用可能。 LCD画面に研削量をリアルタイムで表示します。(分解能：1um、安定精度：10um) 【特長】 ■試料の研削量を設定可能、設定値に達すると自動的に運転を停止 ■試料の回転、前後にスイング、そ...

メーカー・取り扱い企業：オガワ精機株式会社

【目的別事例】既存のコーティングマシンを活用したい

現地確認等、迅速に対応！定期点検で発見された不具合への対応事例をご紹介

度を向上させたい ■塗工中装置が動かなくなった ■塗工ヘッドを追加したい ■装置を移設したい ■塗工部の錆対策を施したい ■乾燥炉のベルト駆動部分にゴミ(粉)対策を施したい ■DCサーボモーターが故障した ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社康井精機

ウェハトランスファー Wafer Transfer

25枚のウェハを、１度にキャリアやボートに移載させる装置

【特長】 ○抜群の使い勝手 →必要な操作は全てタッチパネルでの操作（非常停止ボタン除く） ○高メンテナンス性 →専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター、スライダー等汎用品を用いて実現 →専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能 ○低コスト →専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現 →保守部品や交換部品も汎用品の...

メーカー・取り扱い企業：玉川エンジニアリング株式会社

精密ガラス加工機　ND820-2F

本加工機の架台は、高性能の済南花崗岩が採用されております。よって、高精…

性、長期安定性に優れています。 2）高速回転主軸：24,000/40,000/60,000/100,000rpm。お客様ニーズの多様化にも対応可能です。 3）動力源・モータ・減速機：設備のサーボモーター及び各制御システムは、大手日本メーカーの製品を　採用しており、高精度な加工性と、高い信頼性を構築しています。 4) 超高精度組立：リニアガイドなどのメカニカル部品は、済南花崗岩高の精密...

メーカー・取り扱い企業： ND精工株式会社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

行う →10N～150N/m巾に対する値を自動計算し、設定 ○真空槽系 →材質：SUS304 →サイズ：W700×H1030×D800　前面開閉扉 ○機材送り機構 →回転速度可変用サーボモーター →巻き取り用パウダークラッチ及びレバシブルモーター →真空シール回転導入部（磁気シール式） ○排気系 →ターボ分子ポンプ：2400L/sec（N2） →ロータリーポンプ：1200L...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

US304 ○露光機：オプション ○現像用カップ：SUS304テフロンコート ○ベーク炉：ホットプレート、真空チャンバー ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方式 ○アンローダー：1カセット収納 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

○ウエハー受台：材質 PVC　真空吸着又は外周ピン受け ○流し：PVC ○ノズルアーム：1本　モーター駆動　スイング動作 ○メガソニック：950kHz　60W ○スピンモーター：ACサーボモーター　400W ○回転数 →メガソニック時：0～500rpm →スプレー洗浄時：0～500rpm →2流体ノズル洗浄時：0～500rpm →スピン乾燥時：MAX 3000rpm ○純水...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　フルオートスピンナー JASC-150型

現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

○対象ワーク：Siウェハー、GaAs、ガラスマスク、液晶ガラス、セラミック ○ワークサイズ：φ2"～□150mm ○チャンバー径、材質：φ400mm　SUS304 ○スピンモーター：ACサーボモーター（200W） ○回転数範囲：0～5000rpm （オプション最大8000rpm） ○回転数表示：デジタル表示 ○本体材質、寸法：SS＋焼き付け塗装　W1100×D1000×H1440mm...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

鋸刃用フラッシュバット溶接機【IDEAL社】

創立97年を誇るMade in Germany電気溶接機！！　　ヘビー…

からご用意あり ◇大型フラッシュバット溶接機BAS300シリーズはPLC制御による溶接から焼鈍までの一連作業を自動化 ◇多品種、多サイズを製造されても安定した作業工程、品質を実現！！ ◇サーボモーター制御でにより、安定した品質で製造が可能！！ ◇パイロメータで温度管理を行いながら、自動焼鈍いたします。 ◇タッチスクリーンによる操作性の向上＆レシピ保存機能により品種ごとにパラメーター保存...

メーカー・取り扱い企業：東邦インターナショナル株式会社本社

GaAsエッチング装置

自動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入！シーケンサ制御方式を採用…

動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入します。【主な仕様】 ■被加熱物：GaAs（ガリウムと砒素）ブロック ■カセット：PTFE専用カセット ■搬送機：自動ロボット搬送（サーボモーター駆動） ■制御方式：シーケンサ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

自動チップ再研磨機『ATRM-008-00＊』

シャッター開閉の為、安全性、作業性がアップした自動チップ再研磨機！

『ATRM-008-00＊』は、サーボモーターを採用しており、研磨形状の事前プログラミングが可能な自動チップ再研磨機です。操作盤にタッチパネルが搭載されており、切削量、選別長さ、切削スピード等の簡単操作を実現します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キョクトー

全自動側面廻取研磨機『EMS-99』

高剛性・高精度・高スピード・低振動！さらに供給装置接続で作業効率UP

『EMS-99』は、硬質超硬・サーメットの側面廻取研磨に好適な全自動側面廻取研磨機です。加工材質の研磨条件に合わせやすい設定。砥石切込みにサーボモーターを2軸搭載。設定値も1/1000からの設定ができ、より精密な加工が実現できます。【対象ワーク】＜超硬チップソー＞ ■鋸径：Φ240～Φ580mm(その他鋸径要相談) ■穴径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社えのきだ

EMS99ATフルカバー

安全性重視のフルカバー仕様！走行式ワーク供給装置一体型による作業効率の…

【その他の特長】 ■硬質超硬・サーメットの側面廻取研磨に好適 ■加工材質の研磨条件に合わせやすい設定 ■砥石切込みにサーボモーターを2軸搭載 ■設定値も1/1000から設定でき、より精密な加工を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社えのきだ

MH-1000　マルチワイヤーソー

●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のた…

本装置は、精密加工技術を生かして素材を薄く高精度に切断する装置です。ワイヤー駆動２軸、トラバース２軸、ワーク上下１軸の計5軸ACサーボモーターを使用しており、水晶、セラミック等さまざまな素材を切断できる小形専用機です。 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

US304 ○露光機：オプション ○現像用カップ：SUS304テフロンコート ○ベーク炉：ホットプレート、真空チャンバー ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方式 ○アンローダー：1カセット収納 ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

H28年度「豊田ものづくりブランド」認定！『小径穴研磨機』

段取り作業性が簡単！コンパクトで低価格を実現した小径穴研磨機！

φ74(mm) ■高周波スピンドル部・高周波スピンドル型式コレット φ3～φ8 最高速度 60000min-1 ・高周波コンバーター冷却装置 ■X軸、Y軸スライドユニット部・サーボモーター ・最大ストロークX軸270mm Y軸110mm ■電気仕様・入力電圧交流3相200V ・制御電源直流24V ・1次側電源容量 9kVA ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業：エス・ティ・エス株式会社

ユニバーサルダイボンダー『MODEL860Eagle』

ハーフミラービューイングシステム！目的に合ったボンディングがヘッドの交…

ーフミラービューイングシステムを使用する事で実現した高いプレースメント精度、抜群の操作性を持った製品です。【製品概要(抜粋)】 ■ハーフミラー式ビューイングシステム ■高精度サーボモーター使用 (Z駆動) ■自動制御温度コントロール (ステージ / コレット温度) ■ボンド加重選択 (15 g ～ 700 g または 50 g ～ 10 kg) ■超高精度リニアスクラ...

メーカー・取り扱い企業：ヒューグルエレクトロニクス株式会社

接続用ピン端子をダイレクト挿入『連続ピン端子挿入システム』

接続用機構部品としてプリフォーム連続ピン端子を基板やボビンにダイレクト…

ンナップ。ワーク自動供給装置付挿入機にも対応致します。【特徴】 ■プリフォーム連続ピン端子は、制限の範囲内であれば、イニシャルコスト無でカスタム製作可 ■端子挿入機は、ヘッド駆動がサーボモーターの据置型とエアー駆動の卓上型の2タイプを用意 ■端子挿入機は、ユニット脱着交換ができ、異なる別仕様のプリフォーム連続ピン端子の挿入に対応可 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：アイクレックス株式会社

スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式…

ュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示【仕様】 ○外形寸法：W420×D500×H335 ○モーター：600WACサーボモーター 200V （100Vの場合15Aトランス　オプション） ○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション） ○回転数表示：デジタル表示 ○回転精度：±1rpm ○プロ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ＳＬＰ小型サーボプレスシリーズ

プレス加工やトムソン加工に最適なサーボプレス

ＳＬＰサーボシリーズは０．３、１、２、３、５、１０ｔｏｎの各タイプをご用意しております・サーボモーターによる、ボールネジ駆動のため　小型、低騒音、省エネ設計・1ショット内でスピードを可変することが可能・プレス機精度　ＪＩＳ特級精度を確保・コンパクトなので卓上での試作作業が可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山岡製作所

フィルム表面改質装置（ロールtoロール式）

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ　ゾン吸着フィルターを通して一括排気・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送・ピンチローラーの表面接触は端面10mm ・WD/UWDにはフィードバックセンサー付きイオナイザー装備・ガイドフィルム繰り出し・自社製アルミ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…

ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300m/m ○HEPA又はULPA：フィルター内蔵 ○ロボット：サーボモーター ○薬液槽：揺動、超音波洗浄、メガソニック ○リンス槽：バブリング、QDR、比抵抗計設置 ○ULD：lonaizar（オプション） ○乾燥：S/D. IPA V/D. 引き上げ ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

全自動側面廻取研磨機供給装置一体型『EMS-99AT』

供給装置付きで作業効率もUP！高剛性・高精度・高スピード・低振動で安定…

『EMS-99AT』は、硬質超硬・サーメットの側面廻取研磨に好適な供給装置一体型の全自動側面廻取研磨機です。加工材質の研磨条件に合わせやすい設定。砥石切込みにサーボモーターを2軸搭載。設定値も1/1000からの設定ができ、より精密な加工が実現できます。【対象ワーク】＜超硬チップソー＞ ■鋸径：Φ240～Φ580mm(その他鋸径要相談) ■穴径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社えのきだ

マニュアルスピンコーター

シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

------------- ＜仕　様＞試料サイズ…Φ2インチ〜Φ6インチカップ径…Φ300mm 回転範囲…100-5000rpm 回転精度…±1rpm スピンドルモータ…AC サーボモーター 回転表示…デジタル回転数設定…液晶タッチパネル薬液ノズル…2系統（エアーシリンダー駆動式）レシピ設定…10プログラム ×50 パターンオプション…試料台、真空ポンプ、加圧タ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トービ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

○対象ワーク：7"□、φ8"等 ○外形寸法：W1500×D1500×H1700 ○回転部 →インナーカップ　アルミ、アルマイト処理 →外形φ300　密閉回転式 →スピンモーター　ACサーボモーター5.5KW →回転数　MAX3000rpm ○インナーカップ蓋 →MAX3000rpm →材質アルミ、アルマイト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウター...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

加熱スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』

注目度高し！　試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

イズ：Φ5～Φ150（Max.Φ6インチ、□100mm）基板対応 ■外形寸法：W350×D450×H338（安全カバー閉時、アジャスタ付水平調整可能） ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz ■制御方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含めたサイズ、形状、材質、ご用途より最...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下！　卓上型スピンコート機ACT-300…

・積層（多層膜）の成膜作成に適した高精度な自動滴下スピンコーター・シリンジ容量は2.5ml・5ml・10mlより選択可能【仕様（一部抜粋）】 ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz ■制御方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単）スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-30…

回転精度：0～6000rpm/±1rpm以下 (負荷時) ■カップ（内径）：Φ300 ■外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-22…

回転精度：0～7000rpm/±1rpm以下 (負荷時) ■カップ（内径）：Φ220 ■外形寸法：W250×D330×H扉閉272(扉開500)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ100mmまで、四角基板の場合は□70mmまで）の場合は、こちらのカップ径220mmの機種をご検討ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-450AII』

□180mm、10インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-45…

■カップ（内径）：Φ450 ■外形寸法：W580(ダンパー含め639)×D680(排気口付782)×H扉閉380(扉開880)mm※排気口はオプション ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター400W）50 / 60Hz 基板が小型（丸基板の場合はφ250mmまで、四角基板の場合は□180mmまで）の場合はこちらのカップ径450mmの機種をご検討ください。スピンコート...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-400AII』

□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400…

回転精度：0～5000rpm/±1rpm以下 (負荷時) ■カップ（内径）：Φ400 ■外形寸法：W450×D550×H扉閉313(扉開745)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター400W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ200mmまで、四角基板の場合は□150mmまで）の場合はこちらのカップ径400mmの機種をご検討ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ