ステッピングモータ | イプロスものづくり

PR【何となくで選んでいませんか？】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、何となく使用していたけど改めて知りたい方にも活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。【掲...

メーカー・取り扱い企業：ミネベアミツミ株式会社回転機器

新製品　二液混合ディスペンサー　「ID-200R」

PR2液混合に必要とされる機能が充実した2液混合ディスペンサー吐出量、混…

定量安定性のあるＭＧＰマイクロギヤポンプを、５相ステッピングモーターで駆動し、２液吐出用に専用設計された制御部によって高精度な混合吐出を実現した２液用ディスペンサ－です。混合部ローターの形状や容積、回転数などから、最適な条件を選べるカートリッジ方式強制混合タイプミキサーです。本装置は微少量吐出が要求される２液性接着剤等のシール工程などに適しています。特長取り込んだポンプの基礎データを基に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本省力技術研究所　

電動グリッパ「ESG1シリーズ」《日本機械学会優秀製品賞受賞》

ステッピングモータとロータリエンコーダによるクローズドループ制御で高精…

電動グリッパ「ESG1シリーズ」は、ステッピングモータとロータリエンコーダによるクローズドループ制御で高精度の位置、速度制御を達成しました。カムタイプは独特な構造（特許：PAT）の採用により、高把持力ながら、軽量、コンパクト化を実現。ねじタイプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＴＡＩＹＯ

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR2000シリーズ』

板金比率を高めて構造を単純化！製造コスト削減を実現するクリーンロボット…

『PR2000シリーズ』は、当社の従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、製造コスト削減を実現するリンク式シングルアームクリーンロボットです。全軸2相ステッピングモータ仕様。各種センサを装備しています。リンク式シングルアームクリーンロボットのことでしたら、当社に是非ご相談下さい。【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■各種...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

パラレルリンクロボット「デルタロボット」：軽量、無潤滑

樹脂とアルミの軽量設計、無給油＆メンテナンスフリー

- ステッピングモータ、dryve D1モータ制御システム接続可能 - ご要望に応じ、輸送用フレームに組込んだ半完成品も納入可能 - エンコーダ付きモータで正確な位置決め - T型スロットへの取付用のアダプ...

メーカー・取り扱い企業：イグス株式会社

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

の場合) 　ノッチロケート:±0.1度 (300mmシリコンウェーハの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ、コントローラ内臓 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A →使用流用量：60～120NL/min (クリーンエア) 正圧：0.5MPa以下 ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：ISO Class2 (ISO14644) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 3A 　真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

　オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：透過式LEDセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 2A　真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

ンクアーム仕様、Zレス仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.2kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着 ○チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

ート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式　2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　製品総合カタログ

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300ｍｍ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付２相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1111-200』

ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボ…

『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様のリンク式シングルアームクリーンロボットです。ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『PR1000シリーズ』

180度反転可能！全軸2Pステッピングモータ仕様のクリーンロボットをご…

『PR1000シリーズ』は、ハンドがステッピングモータ駆動によって 180度反転可能なリンク式シングルアームクリーンロボットです。全軸2Pステッピングモータ仕様。アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャックです。 ...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

リンク式シングルアームクリーンロボット『SR1160-310』

全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット

属します。【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』

第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット

00-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の直動式ダブルアームクリーンロボットです。アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。基板裏面を真空吸着します。アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモータ仕様旋回...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

ンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.1kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

50～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズ

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：限定反射型ファイバセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：ISOクラス2(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用 →モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 3A 正圧：0.15～0.5MPa 真空：-70kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズ

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

) ○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内　ノッチロケート:±0.1度以内 ○センサ：透過式LEDセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

リンク式ダブルアームクリーンロボット『PR2111-60』

板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロ…

当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、製造コスト削減を実現します。真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-PMシリーズ

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸アブソリュートエンコーダ付2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式 →2相ステッピングモータ4軸使用 →モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○ウェーハ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル