ステッピングモータ | イプロスものづくり

PR新たにステッピングモータ、カップリングレス構造を導入し、製造部品の…

極東マシーンツールの工具折損検出装置は、ステッピングモータ、ギア・カップリングレス構造を導入することで、装置の長寿命化に成功しました。また、センシングヘッドの交換スパンが長くなり、結果的に製造部品の生産効率向上、購入費用軽減によるコスト削減効果がもたらされます。更に、センシングヘッドの先端に取り付けたニードルを回転させ、工具との接触により折損を確実に検出し、瞬時に機械を停止することができま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社極東マシーンツール本社

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

の場合) 　ノッチロケート:±0.1度 (300mmシリコンウェーハの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ、コントローラ内臓 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A →使用流用量：60～120NL/min (クリーンエア) 正圧：0.5MPa以下 ●詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：可視半導体レーザーセンサ ○クリーン度：ISO Class2 (ISO14644) ○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 3A 　真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

　オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：透過式LEDセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源:DC24V 2A　真空:-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！

【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

ンクアーム仕様、Zレス仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.2kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着 ○チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

ート：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式　2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　製品総合カタログ

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

型クリーンロボット「GCR4000-PM」はスーパークリーンルーム用の多軸タイプです。300ｍｍ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウエハ搬送に適しており、全軸アブソリュートエンコーダ付２相ステッピングモータを使用しています。S字加減速制御および動作軌跡最適化により、ウエハを高速・高精度で搬送します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

C4000コントローラ

半導体用・液晶用の制御開発技術を活かしたコントローラを単体にてご提供

コンパクト・軽量設計 ステッピングモータ:ユニポーラ・バイポーラ対応制御インターフェイスはシリアル・パラレル IN 8Bit　OUT8bit（I/O拡張も可能）の2種動作はS字加減速制御により高速かつ滑らかな動作を実現 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

ム関節部防水構造にVシール使用部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ使用動作モニター装備制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御・アブソリュートエンコーダ搭載・バッテリ…

ット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物～300mm ウェーハウェーハ保持方式チャックによる真空吸着で保持機械構造形式水平多関節型制御軸 4軸モータタイプ ステッピングモータ（クローズドループ）動作範囲ワーク中心到達距離旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 760mm 335度 300mm 搬送速度アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストロー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

0.3度以内センサ赤色LED透過式センサウェーハ保持方式ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時）駆動方式小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) ユーティリティ電源：DC24V±10％ 2A...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

ンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.1kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

50～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズ

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

オリフラロケート:±0.3度以内 ○センサ：限定反射型ファイバセンサ ○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度：ISOクラス2(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用 →モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 3A 正圧：0.15～0.5MPa 真空：-70kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズ

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

) ○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内　ノッチロケート:±0.1度以内 ○センサ：透過式LEDセンサ ○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時) ○駆動方式：2相ステッピングモータ2軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵 ○ユーティリティ：電源：DC24V 2A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-PMシリーズ

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸アブソリュートエンコーダ付2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

：±0.1°以内 ○センサ　可視光半導体レーザーセンサ ○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信 ○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時） ○駆動方式 →2相ステッピングモータ4軸使用 →モータドライバ・コントローラ内臓 ○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○ウェーハ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

ンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮動作モニター装備制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SAL1021（2インチウェーハ搬送）

搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

ライメント時：エアシリンダ駆動のエッジグリップ機構にて位置決めオリフラサーチ時：スピンドル上のウェーハは真空吸着により保持クリーン度 ISOクラス2（駆動部排気時）駆動方式 2相ステッピングモータを1軸使用（モータドライバは内蔵) ユーティリティ電源：DC24V±10% 2A...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル