低圧複合水流洗浄機

PR水と空気で洗う！洗浄の自動化や設備との一体化を実現します

『低圧複合水流洗浄機』は、化学薬品を一切使用しない水だけで 配管洗浄できる製品です。 洗い流された汚れはフィルタがキャッチし、洗浄水をリサイクル。 どこまでも環境に配慮した設計。 また、洗浄の自動化や設備との一体化を実現し、様々なメリットを実現します。 【特長】 ■水だけで洗浄し洗浄水はリサイクル ■水だけで洗浄するため、機材が傷まない ■対象物を分解組立する必要なし ■対象物の容量サイズに...

メーカー・取り扱い企業： 五幸商事株式会社

サイクロン式クーラント液浄化装置　※デモ機有り

PR【SDGsに貢献】省電力ながらスラッジを効率的に除去！フィルタレスと液…

「液の入れ替えやタンクの清掃が面倒だ」 「フィルタのランニングコストを下げたい」 「産廃排出量を低減したい」 「液の温度管理がしたい」 「製品の不良率を低減したい」 現場ではこの様な声をよく聴くことがあります。 弊社では省電力ながらスラッジを効率的に除去するサイクロン式クーラント液浄化装置を提供することで、 SDGｓに貢献できると考えております。 スラッジを除去することで液を循環して使用でき、...

メーカー・取り扱い企業： 日本スピンドル製造株式会社 環境事業部

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

赤外線反射防止膜：波長:9μm帯を効率よく透過するフィルター

独自のプラズマ制御技術を限界まで高め、光学用に最適化した赤外波長用フィ…

赤外用材料はとにかく弱い！（傷に弱い、水に弱い、薬品に弱い） この常識も弊社技術で覆す事ができます。 １）優れた赤外線透過特性 多層膜を形成して、その干渉作用により、赤外線を透過するフィルターです。近赤外から遠赤外領域に至るまで、優れた透過率を実現します。 ２）ご要望の波長帯での設計・カスタマイズが可能 お客様のご要望の波長領域に合わせた設計・成膜が可能です。基板の特性に合わ...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

ットのみで3FOUP対応可(300mmウェーハ) ○Z軸バリエーション:300mm、420mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○ダブルチャックの仕様も選択可 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空グリッパー『VGC10』

さまざまなニーズに対応！アームの交換・カスタマイズが可能でコンパクト

(抜粋)】 ■真空 　・最小5%　最大80% 　・最小-0.05バール　最大-0.810バール 　・最小1.5inHg　最大24inHg ■真空ポンプ：統合された電動BLDC ■ダストフィルタ：統合50μm、現場交換可能 ■IP分類：IP54 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 常盤電機株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

m) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

ン:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

パレッチャー『SGPシリーズ』

多品種のワークを一つのハンドで搬送！凸凹のあるワークや重量ワークに。

クタ)内蔵 ■圧縮空気を供給すれば吸着可能 ■低真空～高真空領域をカバー(供給圧力：0.45、0.55MPa) ■標準パッドから選択可能 ■コンバム及び吸着パッドに異物吸込み防止用メッシュフィルタ標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： コンバム株式会社 旧社名：妙徳

光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応

ズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

協働ロボット作業を劇的に向上させる力覚センサ！

熟練者の技術を数値化！省人化で人材不足を解消！

の動きを実現します。 ●アームの速度に負けない高い定格モーメント ●温度ドリフトが小さく、暖機運転が短い ●非直線性、他軸干渉性に優れ、再現性が高い ●出力信号のノイズが小さいため、ノイズフィルタの設定が不要 ●定格50～10000Nまで幅広いラインアップ ●ハイエンドモデルは最小検出荷重0.005Nの高精度 ●お客様の用途に応じ、適切な筐体材料と構成をご提案 ...

メーカー・取り扱い企業： 新東工業株式会社

袋物の把持にコンバム製パウチフィルム吸着用パッド『ＰＭシリーズ』

軟体や袋形状のワークに追従する吸着パッド。搬送装置やロボットで使用でき…

従しやすい ◆使用している材質はＦＤＡ適合食品衛生法試験をクリアしているため、 　 食品、医療業界でも使用可能 ◆金属配合シリコン（金属検出機に反応する）や、 　 異物吸込み防止用メッシュフィルタ内蔵タイプもラインナップ...

メーカー・取り扱い企業： 因幡電機産業株式会社 産機カンパニー

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

m) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

○アームバリエーション:95mm、156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

mm、900mm、1500mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○第3関節にて40kgf以下(700mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用により、基板入替え時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

リエーション:160mm、200mm ○Z軸バリエーション:300mm、350mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

ョン:60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

0mm、60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、ア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル