オイルコン用長寿命フィルタ『ラクフィル』 ※洗浄不要で簡単交換

PRご使用のオイルコン、冷却フィンが目詰まりしていませんか？ 『ラク…

『ラクフィル』は、ダイキンオイルコン専用の長寿命フィルタです。 フィルタのマイクロ繊維がオイルミスト・粉塵をしっかり捕集するため 凝縮器冷却フィンが目詰まりせず洗浄が不要。捕集できるミスト量が増加し、長寿命を実現しており、フィルタ交換は工具不要で手軽に実施可能です。 熱交換効率の高い状態が維持できるため、凝縮器が目詰まりした オイルコンに対し、消費電力を25～30%カットできます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 富士商株式会社

プラスチックベースの多孔質素材『連続多孔質体』※サンプル無料進呈

PR柔軟性・通気性・浸透性・捕集性！さまざまな用途の機能部品として幅広く使…

小さな空間(気孔)が無数に連なっており、その空間と空間の間の壁の一部が 開口した立体網目状の気孔構造の素材を『連続多孔質体』といいます。 ヤマハチケミカルの当製品は、プラスチックをベース材料としており、 柔軟性・通気性・浸透性・捕集性などが特長。繊維などを使用して おりませんので、ほつれや脱落もなく安全に使用可能です。 一般的な多孔質材では困難な形状や機能を付与した機能的な多孔質...

メーカー・取り扱い企業： ヤマハチケミカル株式会社

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

ットのみで3FOUP対応可(300mmウェーハ) ○Z軸バリエーション:300mm、420mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○ダブルチャックの仕様も選択可 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

m) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

ン:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応

ズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

m) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

○アームバリエーション:95mm、156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

mm、900mm、1500mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○第3関節にて40kgf以下(700mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用により、基板入替え時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

リエーション:160mm、200mm ○Z軸バリエーション:300mm、350mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

ョン:60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

0mm、60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、ア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル