T型真空計『NMT-2000-01/02/05』

PR豊富な機能・計測画面を有したタッチパネル式卓上型の製品をご紹介！

『NMT-2000-01/02/05』は、中真空領域(1.0×10^-1～2.0×10^3Pa)が 測定可能な気体の熱伝導を利用した熱伝導式の真空計です。 表示画面は読み取りやすいタッチパネルTFTカラーLCD表示。 画面をアナログ表示、トレンドグラフ表示などへ切替可能。 計測値はメモリーカードへ保存でき、PCへも接続ができます。 乾電池でも駆動するため電源がとれない場所でもご使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

半自動真空枚葉貼合装置『R-ACSE430aa』

PRアライメントマークありの場合、位置合せ精度±0.05mm！スリッター機…

『R-ACSE430aa』は、コンベア式、カメラ位置数値制御タイプの 半自動真空枚葉貼合装置です。 300万画素カメラ4台による画像処理自動位置合わせ方式で、 上吸盤仕様は旋回式AL吸着パネル、下吸盤仕様は貼合コンベアベルト バックアックパネル仕様。 また、オプションでスリッター機能追加が可能です。 【仕様(一部)】 ■装置名称：R-ACSE430aa(コンベア式・カメラ...

メーカー・取り扱い企業： クライムプロダクツ株式会社

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

【特許取得済】少量精密充填システム マイクロPTS

少量（1mg以下）の粉末の充填が、瞬時に正確に可能。 その精度は最大…

フィルタを使用していないため、非常に細かい、または粘着性のある粉体も処理することが可能です。 特別に設計したホッパーにより、ハンドリングし難い様々な粉体にも対応できます。 チャンバーの容積は、可変式リニアモーターにより変更することが可能です。 【特長】 ・1mg以下~500 mgの精密計量充填に最適 ・運転中の充填量の調整が可能 ・高精度で少ない充填誤差 ・独自のフィルタコンセプト ・洗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社樋口商会

圧縮空気用エアーフィルター『3in1マルチ・ドライフィルター』

汚染された圧縮空気によるトラブル・チョコ停を防止!超クリーンな圧縮空気…

『3in1マルチ・ドライフィルター』は、3つの性能別エレメントで圧縮 空気を濾過する、前田シェルサービス社製の圧縮空気用エアーフィルターです。 固形粒子0.01μm以上除去、水滴ゼロ、油滴99.99%除去が可能で、 圧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山善

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

ットのみで3FOUP対応可(300mmウェーハ) ○Z軸バリエーション:300mm、420mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○ダブルチャックの仕様も選択可 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

洗浄用 ダブルロボット

革命的高性能！CNC高圧洗浄、CNC エアブロ、真空乾燥が同時に可能

軸回転数：500min-1 ■低圧ノズル：1セット(回転式) ■ロボット：R60V(CNC5軸)×2セット(自社開発) ■CNC仕様：FANUC 31i(2チャンネル) ■水処理仕様：回転フィルタ＃50＋バグフィルタ 10μ＋バグフィルタ 5μ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： モバック株式会社

真空グリッパー『VGC10』

さまざまなニーズに対応！アームの交換・カスタマイズが可能でコンパクト

(抜粋)】 ■真空 　・最小5%　最大80% 　・最小-0.05バール　最大-0.810バール 　・最小1.5inHg　最大24inHg ■真空ポンプ：統合された電動BLDC ■ダストフィルタ：統合50μm、現場交換可能 ■IP分類：IP54 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 常盤電機株式会社

おためし3Dロボットビジョン

ロボットにビジョンを導入したいが、まずは試してみたい皆様へ

のロボットのジョグ操作により実施します。 (b) プレイバック時に教示位置の微修正がティーチングペンダントによるジョグ運転で可能です。 (c) YCAM3Dは自発光光源の波長のみ通すバンドパスフィルタを搭載しているので、環境光の影響を受けにくく、工場内であれば、日光が射し込む現場でも安定動作が可能です。 (d) ロボットキャリブレーション後は、カメラの存在を意識することなく、ティーチングペン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＹＯＯＤＳ

株式会社ユニテック　事業紹介

Next Robot Cell&FAシステム開発、設計、製作、施工、工…

　・高速モジュールマウンター 　・チップシューター　他 ■半導体実装分野 　・フリップチップボンダー 　・COGボンダーシステム　他 ■電子デバイス分野 　・デバイス移載機 　・フィルタ移載機　他 ■液晶分野 　・CF塗布システム・ダイコーター 　・偏光板貼付機(小)(中)　他 ■車載関連分野 　・ECU関連検査組立ライン 　・排気バルブ関連設備　他 ■医療分野 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニテック

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

m) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

ン:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○ツインチャック採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応

ズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

協働ロボット作業を劇的に向上させる力覚センサ！

熟練者の技術を数値化！省人化で人材不足を解消！

の動きを実現します。 ●アームの速度に負けない高い定格モーメント ●温度ドリフトが小さく、暖機運転が短い ●非直線性、他軸干渉性に優れ、再現性が高い ●出力信号のノイズが小さいため、ノイズフィルタの設定が不要 ●定格50～10000Nまで幅広いラインアップ ●ハイエンドモデルは最小検出荷重0.005Nの高精度 ●お客様の用途に応じ、適切な筐体材料と構成をご提案 ...

メーカー・取り扱い企業： 新東工業株式会社

汎用３Dロボットビジョンシステム「VT-ビジュアルティーチング」

ロボットビジョン新基準

のロボットのジョグ操作により実施します。 (b) プレイバック時に教示位置の微修正がティーチングペンダントによるジョグ運転で可能です。 (c) YCAM3Dは自発光光源の波長のみ通すバンドパスフィルタを搭載しているので、環境光の影響を受けにくく、工場内であれば、日光が射し込む現場でも安定動作が可能です。 (d) ロボットキャリブレーション後は、カメラの存在を意識することなく、ティーチングペン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＹＯＯＤＳ

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

m) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

○アームバリエーション:95mm、156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

mm、900mm、1500mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○第3関節にて40kgf以下(700mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用により、基板入替え時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

リエーション:160mm、200mm ○Z軸バリエーション:300mm、350mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

ョン:60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

0mm、60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、ア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル