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56件 - メーカー・取り扱い企業
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34件 - カタログ
247件
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PR実は多用途！ スチールベルトの使用例をご紹介！ 搬送用や動力伝達用の事…
金属製のステンレススチールベルトは搬送や動力伝達など色々なところで使われています。 アプリケーション集ではイラストと共に10個の用途事例をご紹介。 用途事例毎に従来方式や問題点、SUSベルトの特徴や導入の効果を分かりやすく解説します。 【お困りの課題、問題点の紹介例】 耐熱、伸び、清潔、発塵、精度、精密性、耐久性、連続化、 エコロジー、平坦性、バタつき、生産効率、低摩擦、高剛性 など ※詳...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディムコ
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PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…
機能の各種検査を行います。 各種検査をクリアしたロボットに対し、レベル調整(製造メーカーのスペックに合わせて、レベル調整作業) ウェーハ・カセットを使用し、サイクルテストを行います。 （ロボットアームでの繰り返し精度測定、プログラムにてOH後の品質及び精度確認を行います） ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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ロボットシステムソリューション『MOTOMAN-GPシリーズ』
生産現場の悩みをロボットシステムがスマートに解決！高い搬送能力を実現し…
当社は、株式会社安川電機のロボットシステムソリューション 『MOTOMAN-GPシリーズ』を取り扱っております。 最高速度が従来機種より最大30％UPした「GP25」をはじめ、「GP7」や、 「GP8」、「GP12」をラインアップ。 機内ケーブル交換時にバッテリ接続不要で原点データ保持。 ケーブル・コネクタ数削減で作業性が向上します。 【特長】 ＜GP7、GP8＞ ■可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社TOSAMACHINE
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…
薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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他のコネクタでは取付け困難な、狭く限られたスペースに取り付けが可能！
に】 ・小型化・高密度実装を求められる装置 ・ドローンなどの堅牢性を維持しつつも小型・軽量化が求められる機器 ・現地での組立て、簡易コネクションが求められるユニット化された装置 ・小型ロボットアームなどの設置面積の低減を求められる装置・機器 など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社
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～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…
枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたライ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます！ 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップをご用意しています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン
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3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、 まずはお気軽にご相談ください。 2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！
一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…
横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。 加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ
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「半導体製造装置部品」や「産業用ロボット部品」などの精密加工部品11点…
当資料では、株式会社タアフが行った精密加工部品事例をご紹介しています。 “ベース”や“プレート”などの半導体製造装置部品の加工事例をはじめ、 ロボット部品の加工事例やFA装置部品、工作機械部品の加工事例を掲載。 【掲載事例】 ■半導体製造装置部品 ■ロボット部品 製作内容やお見積りのご相談等、興味を持っていただけましたら何でも お気軽にお問合せ下さい。 ■その他の装置部...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社タアフ
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逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）
逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…
枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。 リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。 当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！ また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行ってい...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様 ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！ その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！ シリコン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…
回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！ 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は薬液によりますが、使用量3割～7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。 設計から製造・販売ま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…
当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フル...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…
ウエハサイズ違いによる段取り替えがなく、生産性UP！ 製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。 【複数サイズ兼用の例】 「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応！】 高圧ジェット...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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独自の制御システムにより、パターンの再現性を実現出来る
『エマルジョンガラス自動現像機EL-GP』は、 6槽の処理槽・ローダ／アンローダ間にエマルジョンマスクを 移動させる搬送用ロボットと、自動液補充システムを備えた ガラスマスク用自動現像装置です。 タッチパネルを用いて処理条件の設定が可能です。 ローダには5枚（標準）のエマルジョンマスクの収納が可能です。 ローダにセットすると、自動で連続処理します。 【特長】 ■独自の処理制...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部
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テスト印刷可能！ポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で…
『MT-80SP』は、各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの 全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。 ローダ部にカセット（各規格対応）を積載。水平搬送ロボットアームにより 自動で取り出し、プレアライメント（ノッチ検出）を経て印刷を行い、 再びカセットに収納します。 半田バンプやポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で 行えます。...
メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社
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ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシ…
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物 ～1...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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装置内の狭いスペースでの作業時や、電路の引き回し設計においてフレキシブ…
アプリケーション例として、ロボットアーム部や装置内電路引き回し時に採用されておりますが、材質や表面処理を変えることによって高温（数百度）用途として半導体製造装置のヒーターやＥＳＣへの接続なども可能とします。 また、同等の電気仕...
メーカー・取り扱い企業： エヌビーエス株式会社 本社・工場
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450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off
短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します！ アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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