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脱炭素化技術に挑戦!熱技術研究所のご紹介【2024最新情報!】
PR開設1周年!約80社のお客様にご来場いただきました。水素燃焼ガスバーナ…
2023年5月に開所した「熱技術研究所」、この一年で数多くのテストを行ってまいりました。 ~テスト設備概要~ ◇アルミ手許溶解保持炉 水素燃焼溶解による「溶湯品質」「溶解効率」を検証テストが可能。実機ベースのアルミ溶解炉です。 溶解能力:150kg/h 溶解:水素燃焼ガスバーナー 保持:電気ヒーター ◇塗装乾燥炉(試験設備) 実際の生産現場と遜色ない設備を使い、4 つの熱源でテストが可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社正英製作所
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PR回転機の過負荷保護に!KTRのトルクリミタ
『トルクリミタ』は負荷発生時に空転することで逃げ場を作り、機械装置を保護する部品です。 ケーティーアールジャパン(KTR)が取り扱う『トルクリミタ』は、 摩擦(負荷保持型)式、ボール式、アイドル回転(フランジタイプ)、バックラッシュフリーの4種類を展開! また、スプロケット、プーリー、カップリングを一体化させたコンパクトデザインの御提案も可能。 長年の経験と実績に基づくノウハウによって、用途に適...
メーカー・取り扱い企業: ケーティーアールジャパン株式会社
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
ブルチャックの仕様も選択可 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
軸部防水構造にジャバラ使用 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
kgf以下(ワークのみ) ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着 ○チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○2相パルスモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能
よりウェーハ交換時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…
イプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくは、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
ルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。
、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能
プ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。
、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-AMシリーズ
ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。
、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-PMシリーズ
300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適
動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸アブソリュートエンコーダ付2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。
、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
kgf以下(ワークのみ) ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
グモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○ウェーハ保持:落し込み、自重グリップチャック ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ
シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。
選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御及び、動作軌跡最適化によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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