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37件 - メーカー・取り扱い企業
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19件 - カタログ
566件
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汚れによる効率低下を予防し消費電力削減！『熱交換器自動洗浄装置』
PRボール洗浄システム「XAC」を導入することで、従来から無駄に使用されて…
ボール式熱交換器自動洗浄装置『XAC』は、 スポンジボールにより熱交換器のチューブ内を常時洗浄する装置です。 冷凍機の運転中に洗浄（伝熱管が汚れる前に洗浄）するため、 汚れによる効率低下を防止し、大幅な省エネが可能です。 大規模商業施設業をはじめ、製造業などの企業で導入頂いております。 【導入メリット】 ■汚れによる効率低下を防止し、常に冷凍機の能力を最大限活用 ■伝熱管チュ...
メーカー・取り扱い企業： 住友電工ツールネット株式会社 本社
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段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…
てインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。 【複数サイズ兼用の例】 「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応！】 高圧ジェットはウェハ（基板）が薄いと割れるのではないか？という声をよくお聞きします。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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先端スクイ兼用研磨機『EGHT-VC23＋EPAT-510』
供給装置はアーム振り子式を採用！分離型ワーク自動供給装置付き
『EGHT-VC23＋EPAT-510』は、高精度、ハイパフォーマンスの 兼用型研磨機です。 砥石の3枚使い、しかも連続運転で作業の高速化を実現。 高品質を実現するため、ワンチャッキングで4工程の連続運転が可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ
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高精度とハイレベルな操作性で高能率を実現！スペースを取らないコンパクト…
『ENK-035D』は、先端とスクイの変換が容易な手動先端スクイ兼用研磨機です。 オシレーション機構により安定した精度を実現。 また、砥石角度は特別仕様により±45°まで可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社えのきだ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ウェッジ/ボール設定を簡単に切り替え可能！広範囲のワイヤおよびリボンの…
当製品は、プロセス開発、製造、研究、製造サポートに使用される 高度な卓上型デュアル（ボール/ウェッジボンダ）ワイヤーボンディング（ダイボンディング）装置です。 R&Dや少量生産に好適で、ユーザーフレンドリーなタッチパネル搭載。 ボンディング位置でマウスをクリックするだけでボンディングが可能です。 必要最低限のパラメーターのみ用いているため、ボンディングパラメーターの調整が容易となっています。 ...
メーカー・取り扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社
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有機ELディスプレイデバイスを恒温恒湿環境下で発光させて、輝度及び発光…
験評価を効率的に行う装置です。恒温恒湿装置内部にOLEDデバイスの発光ユニットを設置して、環境制御部天面の高透過ガラスを通して自動測定します。標準仕様は４CHでボトムエミッション／トップエミッション兼用治具にOLEDデバイスを装着します。多数の納入実績と確かな評価のある定電流制御システムと信頼性のある輝度計により温度と湿度の加速試験及び発光状態の記録を行いCSVファイル出力を行います。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー
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高精度検査を実現！微細チップから特殊サイズまでチップ部品外観検査に完全…
動で高精度かつ 正確に検査する装置です。 0402、0603サイズ等の微細チップ部品から1005～3216以上の特殊サイズまで 独自のワーク搬送方式と充実した検査ソフトウェアにより、サイズ兼用、 多面検査、高速検査、高精度検査が実現可能です。 【特長】 ■2電極製品から多端子製品まで幅広く検査することが可能 ■6面検査からそれ以上の検査にも対応可能 ■ディスク交換で各種サイ...
メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社
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チップ部品の高速6面検査を行う、2次元CCDカメラによる画像検査機です
面を検査します。ライン計測とずらし減算を主体とした独自の検査ロジックにより、実用的な検査ができます。オペレータはタッチパネルで簡単操作で、多角形ウインドウで隅々まで検査範囲を設定できます。部品交換で兼用可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン
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品質、スピード、生産性を追求する「刃物研磨」のプロフェッショナルです
【主な機械設備】 ■全自動先端・スクイ兼用研磨機 供給機付 (株)えのきだ 1台 ■全自動先端・スクイ兼用研磨機 (株)えのきだ 8台 ■全自動先端専用研磨機 (株)えのきだ 1台 ■全自動チップソー研磨機 VOLLMER 2台 ■...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社和光刃物研磨所
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バフ研磨機『BK-46C・46・UBS-46E・BKN-10』
インバーターの取付も可能！主軸芯高が低く腰掛け作業に適したバフ研磨機
-46C・BK-46」は、主軸芯高を低くしてありますので、腰掛け作業に 適しています。オプションでインバーターの取付けも可能です。 「UBS-46E・BKN-10」は、バフ研磨・ベルト研磨の兼用ができるため 広範囲にご利用いただけます。 【特長】 ■主軸芯高が低く腰掛作業に適している（BK-46C・BK-46） ■バフ研磨・ベルト研磨の兼用ができる（UBS-46E・BKN-10...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社野水機械製作所 本社
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高品質・低価格・省スペースを追求 スイングスプレー式、パドル方式の両…
マルチステッププログラムは99ステップ×50パターン保存可能。 薬液系統増設や薬液温調システム等のオプションもご用意しています。 他サイズ、特注仕様もご相談下さい。...6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。...
メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター
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バッチ式プラズマアッシング処理装置（バッチ式プラズマアッシャー）
ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置
持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング（灰化除去）や表面改質等、多様なプロセス用途に利用可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ハに応じてFOUP（フープ）対応やキャリアの製作なども行います。 Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。 開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。 【主な仕様例】 ■カセットステージ：2組 ■スピン塗布ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■レジス...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ウェハメーカーのキャリアからプロセスキャリアへの移載が手動にて容易に行…
プッシュスライドタイプで、ほぼ全てのキャリアに対応しています。特殊キャリアの場合はご相談ください。 6インチと8インチは兼用のタイプもございます。 アルミ製、PVC製その他対応致します。 傾斜型の移載器もございます。 その他特殊品も対応致しますのでお問合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エボルシオン
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高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…
■基本仕様 ・材質：Si , 化合物 ( GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN ) 等 ・サイズ： 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ（２サイズ兼用可） ・洗浄チャンバー数：1 ・スクラブ処理：高圧ジェット／ 2 流体ジェット／超音波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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MPP社製『マニュアルワイヤボンダ iBond5000シリーズ』
世界で9000台以上の納入実績！マウスをクリックするだけでボンディング…
スをクリックするだけで簡単にボンディングが可能。 コンパクトなサイズで研究開発や少量生産に適しています。 「ボールボンディング用」「ウェッジボンディング用」 「ボール・ウェッジボンディング兼用」の3機種から選択可能です。 【特長】 ■ユーザーフレンドリーなタッチパネルを搭載 ■パラメータでY方向のテーブル動作設定が可能で、 ピッチワイヤ・並列ワイヤのボンディングが容易 ■...
メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社
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無駄のない高機能な加工システムを構築することができます。
rpm ○加圧ヘッド φ140* 1軸 ○フェーシング方式 油圧スライダ [スクラブ機構部] ○チャック方式 ピン方式 ○回転数 Max 300rpm ○ウェハーサイズ φ4-8″ウェハ兼用 ○ブラシ材質 PVAスポンジ φ30mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 日本エンギス株式会社
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優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…
不純物濃度均一性：面内、面間ともに±3.0%以下 ○温度：350℃ ～430℃(オゾンプロセスでは150℃～350℃ ) ○対応ウェーハサイズ：8インチ (8インチ・6インチウェーハサイズの兼用化はオプション対応) ○スループット：～100枚/hour(＠5000Å) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所
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低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能！価格を抑えたプラズマ成膜装置
【仕様】 ■真空排気系 ・成膜室：TMP（450 L/s） ・ロードロック室：RP（250 L/min）TMP兼用 ■成膜室 ・チャンバ寸法：φ570x340mmm ・基板サイズ：φ4インチ ・基板加熱：オプション ・ターゲット基板間距離：200mm ■ロードロック室 ・搬送方式：トラン...
メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社
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温度センサー不要、フィードバック機能付DC温度コントローラー
Mincoの CT398 温度コントローラーは、ヒーターライン(TCR*が高い材料を採用）を温度センサーとして兼用しており定期的に温度をモニタリングします。これにより別途温度センサーを搭載することなくヒーター面の温度を計測できます。設定温度と実測温度を比較し出力パワーが調整されるため温度が制御されます。USB接...
メーカー・取り扱い企業： ミンコ・プロダクツ合同会社
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汎用入出力・小型なのでオリジナルＧＰＩＢ端末を構成できます。
＊５４４０モード（ＩＥＥＥ４８８．２規格に準拠） 出力ポート（１６ビット）への出力、入力ポート（２４ビット）からの入力、本機の動作状態やステータス入力（８ビット：入力ポートと兼用）の読み込みなどの操作をＡＳＣＩＩ文字列のコマンドで行うことができます。 ＊７８８ＡＳＣＩＩモード（ＩＥＥＥ４８８．２規格に準拠） 出力ポート（８ビット）への出力、入力ポート（１４ビット）...
メーカー・取り扱い企業： エムシーアイエンジニアリング株式会社
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アライメントと熱圧着を1台で兼ねる、拡張性の高いACF実装装置。
FPCのアライメントと熱圧着を1台で兼用する汎用性の高い装置です。また、ステージやヘッドの拡大、アライメント用カメラの取り付け位置選択など、プロセスに合わせたが構成が可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社大橋製作所 機器事業部
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本機械は、φ4、5、6、8インチウェーハの厚さ測定する装置です。
ちながら安価に提供できます。 必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。 ・ベルヌーイ方式のハンドを用いて薄物ウェーハの搬送も可能です。 搬送部はφ4インチ、5インチ、6インチ兼用ハンドとφ8インチ専用ハンドを搭載し段取替え不要での運用が可能です。 ・TME-07型からカセット搭載数、アライメント機構追加、搬送部追加により、低コストでパフォーマンスに優れた装置仕様となってお...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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交流無停電電源装置ラックマウントタイプAcrostarTHA-R
システムに合ったバックアップ時間対応が可能なスタンダードモデル
VAは除く) ○幅広い入力電圧範囲 ○スイッチカバー、抜け止めコンセント(6個)を標準装備 ○前面からのバッテリ交換が可能（ホットスワップ対応、ユーザにて交換可能) ○縦置き/横置き兼用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社GSユアサ
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ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ
独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと300mmの兼用タイプも製作可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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・LEDの光学検査・電気特性検査・分類を高速処理 ・アタッチ…
■高速処理 サーボモータと減速機によるインデックス駆動と、モータダ イレクト駆動によるプローブ動作、ソータ部のダイレクト駆 動により、安定した高速処理を実現しました。 ■多様な検査に対応 バックライト及び照明用途として多いトップビューLEDに 最適なサイドコンタクト方式に加え、サイドビューLEDに も対応可能な上部からのコンタクト方式の搭載も可能です。 ■大容量ビンボックス 56...
メーカー・取り扱い企業： 澁谷工業株式会社 メカトロ統括本部
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高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
■基本仕様 ・材質：Si , 化合物 (GaAs , InP , Sapphire , SiC , GaN) 等 ・サイズ： 2, 3, 4, 5, 6, 8インチ（2サイズ兼用可） ・スクラブ処理：高圧ジェット/2 流体ジェット/超音波シャワー等 ・処理チャンバー数：2, 4チャンバー ・処理液：有機系剥離液 ・リンス液 , 純水 ・薬液供給：薬液の循環回収・濾過...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
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薄・板ローソク・鉄骨用、円スイ型兼用！研磨範囲φ12.1～32mmの鉄…
『PT-09EW』は、円すい型・鉄骨・薄板ローソク用 ドリル研磨機です。 X・Y軸スライド付で、研磨範囲はφ12.1～32mm。 モーターは4,800（min-1）となっております。 【仕様（一部）】 ■先端角：90～140°（円スイ型） ■砥石：CBN＃100 円スイ専用 ■ドリル径：φ12.1～32mm ■寸法：360W×280D×250H ■質量：27.4kg ...
メーカー・取り扱い企業： 田中インポートグループ株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…
本機は、バスケットに収納されたキャリヤーやボックスを精密洗浄し、乾燥するもので、ローダーから各処理工程を経て、アンローダー(乾燥部兼用)に搬出される自動洗浄装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）
低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！
■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■回転カップ塗布方式による均一な成膜分布 ■2～12インチまで対応可能 ■複数種類ウエハ処理可能（3・4・5インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ※詳しくはPDF資料をご...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ, RIEプラズマエッチング, CVD,アニールなどの幅広い目的に対応。 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロン式スパッタ, RIEプラズマエッチング, アニールなどの幅広い目的に対応。 ・最大基板サイズ：Φ10inch ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4源 ・有機蒸着源 x 最大4源 ・マグネ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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・周波数検査、電気特性検査による分類を高速処理 ・アタッ…
■高速処理 サーボモータと減速機によるインデックス駆動と、モータダ イレクト駆動によるプローブ動作、ソータ部のダイレクト駆 動により、安定した高速処理を実現しました。 ■多様な検査に対応 ■ワークジャム自動復帰機能 ディスク侵入部の自動排出機構でワークジャムからオペレー タ介在なしで運転復帰することにより、稼働率を向上させて います...対応ワーク ： SMDタイプ ワー...
メーカー・取り扱い企業： 澁谷工業株式会社 メカトロ統括本部
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 吸引がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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化粧品・医薬品の充填シール機（包装機）
【化粧品・医薬品の充填・シール作業を効率化】充填・シール作業が…
株式会社型久堂