IC-MSシステムによる過酸化水素中の陰イオンの分析

過酸化水素中の不純物イオン分析に役立つソリューション"イオンクロマトグ…

過酸化水素は殺菌剤、漂白剤、大気吸収液、半導体洗浄液など工業、医療の幅広い分野で使用されています。用途によっては過酸化水素中の微量の不純物イオンが問題を引き起こすことがあるため、高純度の過酸化水素が求められています。 過酸化水素中の陰イオン分析をイオンクロマトグラフ‐質量分析計（IC-MS）システムを用いて、直接注入法とマトリックス除去法の2種類の測定方法での結果について、詳説します。 ※...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

NOVA社　半導体・プリント基板向けめっき液自動分析装置

ワールドワイドでの採用実績多数。各種電解・無電解めっき、Cuダマシン工…

当社では、大手半導体・電子部品メーカーで使用されております NOVA社製の「半導体めっき液自動分析装置」を取り扱っております。 ※2023年イスラエルの半導体向け測定機器メーカーのNOVA社がAncosys社を買収、CMD部門（ケミカル計測事業部）に統合。 各工程におけるめっき液自動分析装置として、以下のラインナップがございます。 後工程、アドバンスドパッケージ―Nova ANCO...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

半導体製造プロセスの微量分析に活躍するイオンクロマトグラフィー

半導体製造プロセスに関わる全ての方へ　迅速にプロセス汚染を特定する高い…

半導体製造プロセスや完成したデバイスにとって、イオン汚染は腐食、浸食、短絡の原因となる恐れがあるため、大きな懸念です。 イオンクロマトグラフィー（IC）は、半導体業界におけるさまざまなプロセス汚染物質の微量成分と、主要成分を迅速に測定できる効率的な分析手法です。当社のイオンクロマトグラフィーシステムがどのように活用できるかをご紹介いたします。 ※詳細はPDF資料をダウンロードいただくかお気軽に...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

【プロセス分析計 技術資料】現像液中のTMAHをオンライン分析

半導体産業向け！プロセス分析計 / オンライン分析計で現像液中の水酸化…

水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は、主に集積回路（IC）、プリント基板（PCB）、フラットパネルディスプレイ（LCD）の製造に用いられる第4級アモニウム塩で、これらのデバイス製造時のフォトリソグラフィ工程で最もよく使用されます。 この工程では、フォトレジスト現像液を使用して、基板上にパターンを転写します。半導体産業で使用される薬品は、極めて純粋でなければなりません。なぜなら、微量の汚染...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

全有機体炭素分析装置（TOC計）　 multiN/C UV HS

抜群の感度を誇る湿式紫外線酸化方式の有機体炭素分析装置（TOC計）です

湿式紫外線酸化方式で、水中試料内の有機炭素量を革新的なVITA技術で測定する分析装置です。高感度検出で、UV照射とペルオキソニ硫酸ナトリウムの組合せで試料を完全に分解します。また、NDIR検出器は、広範囲な濃度領域での多様なTOC分析(製薬業界や半導体産業の試水など)に適しており、微量分析から高濃度分析まで幅広い測定に使用可能です。IQ、OQ、PQ、の装置性能確認バリデーションが整備されていて、長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アナリティクイエナ ジャパン

【技術資料】高濃度水酸化ナトリウム溶液中の陰イオンの定量

イオンクロマトグラフィーによる半導体製造用【高濃度水酸化ナトリウム】溶…

イオンクロマトグラフを使用して、半導体製造分野などで使われる、高濃度水酸化ナトリウム溶液を、中和化を自動化しつつ、溶液中の陰イオン分析を行ったアプリケーション資料です。...イオンクロマトグラフ（IC）を使用して、高濃度水酸化ナトリウム溶液の中和化を自動化しつつ、溶液中の陰イオン分析を行ったアプリケーション資料です。 ...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

【開発事例】半導体結晶成長モニタリング装置

レーザ光を応用！LEDやICなどの半導体の材料となる結晶成長の状態をモ…

株式会社田中産業社にて『半導体結晶成長モニタリング装置』を開発した 事例をご紹介します。 表面の(1)ひずみ率、(2)温度、(3)反射率の状態をモニタリングしながら ファイル保存。反射率は時刻と共にレーザ光の干渉により振動します。 その周期は波長の同じ長さですから成長の度合いを算出することができます。 【概要】 ■表面の(1)ひずみ率、(2)温度、(3)反射率の状態を 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社田中産業社

FIB-SEM Helios 5 UC 導入のお知らせ

ソフトマテリアルの断面作製も実現！Auto Slice＆Viewで3D…

『FIB-SEM Helios 5 UC』の導入により、11月よりサービス開始予定！ 今までより短納期、確実なフィードバックをご提供いたします。 パワーデバイスやIC、太陽電池や受発光素子といった半導体デバイスや MLCCなどの電子部品からソフトマテリアルといった多岐にわたる硬軟材料の 断面観察・分析を高スループットで実現。 最大100nAの質の良いビームにより、大面積を高速加工できるほか、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

デスクトップ型超音波探傷映像化装置　D-View

簡単、便利なデスクトップ型超音波探傷映像化装置

材料内部を破壊せず映像を記録する方法としては、X線探傷、超音波探傷等とがあります。弊社では超音波探傷と画像処理装置とを組み合わせた超音波探傷映像化装置を開発しています。 超音波探傷映像化装置によって、半導体内部のクラック検出や接着と剥離の弁別、ファインセラミックス、複合材料などの新素材のボイド、デラミネーション検出、あるいは航空機に使用される加工部品の最終検査や異種金属との接合面の検査など広...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社KJTD