• リサイクルプラスチックパレット『THEパレット』 製品画像

    リサイクルプラスチックパレット『THEパレット』

    PR100%リサイクル材料を使用し、CO2を大幅削減。不要になったパレット…

    『THEパレット』は、耐久性に優れたリサイクルパレットです。 リサイクル材を使いCO2の大幅削減を実現しており、環境負荷を低減できます。 輸出時の燻蒸処理が不要になるほか、丈夫で割れ・折れを防ぎ安全に使用可能。 さらに低価格化を実現しており、経済的です。 【特長】 ■100%リサイクル材料を使用 ■海外輸出・国内輸送に適した、安価で高品質のパレット ■重量物にも対応可能な高強...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社太和ホールディング

  • 紙のエアークッション『PaperWave-Bio』 製品画像

    紙のエアークッション『PaperWave-Bio』

    PR環境基準に対応可能!海に流失した場合にも、海洋環境下で分解します。

    『PaperWave-Bio』は、100%の再生紙と極薄で植物由来の堆肥化可能な 素材を組み合わせており、大幅な環境負荷の低減を実現した 紙のエアークッションです。 誤って海に流失した場合にも、海洋環境下で分解します。 【特長】 ■大幅な環境負荷の低減を実現 ■コーンスターチ・ポテトスターチ等の植物性原料と再生紙で構成 ■ドイツリサイクル協会の認定マークを取得 ■堆肥化できる ※詳しくはPD...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーピーイ/トリコン販売株式会社

  • エッチング銘板【特殊メッキによる超耐候性を実現!】 製品画像

    エッチング銘板【特殊メッキによる超耐候性を実現!】

    ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現!最大150…

    ることによって腐食(エッチング)させ、そこにできた凹部に塗料を入れて、文字や線・図柄を表現する方法です。当社のエッチング銘板の特徴は、腐食しやすいステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより超耐候性を実現し、耐久性を要求される重電、重工、船舶、工作機、各種産業機器などの銘板に最適です。 【特長】 ■ステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現。 ■国内最大級(1500mm X...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トーホー 本社

  • 枚葉式プラズマアッシング装置(SWPシリーズ) 製品画像

    枚葉式プラズマアッシング装置(SWPシリーズ)

    ダメージレス・ハイスループット・多用途対応 ハイエンドデバイス・化合物…

    チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ(SWP)によるハイレートアッシングと2室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくRIE室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー) 製品画像

    量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー)

    自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

    先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • エミネント式現像エッチング剥離ライン 製品画像

    エミネント式現像エッチング剥離ライン

    高いエッチング均一性!特許取得の左右交互斜めシャワーで実現しました

    東京化工機の『エミネント式現像エッチング剥離ライン』は、 均一性90%以上のエッチング精度を誇る、エッチング剥離ラインです。 標準偏差、上下1.1μmを実現。 銅箔/コア/銅箔:3/40/3μmの安定搬送。 特許取得の左右交互斜めシャワーにより、エッチングの均一性を 実現しました。 【特長】 ■進化したエッチング精度、均一性90%以上...

    メーカー・取り扱い企業: 東京化工機株式会社 本社・長野工場

  • PECプロセス装置 製品画像

    PECプロセス装置

    シンプル構造で低価格を実現!GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…

    メータ設定できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格を実現 ■高速な深堀エッチング可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

  • HCD型高密度プラズマエッチング装置 製品画像

    HCD型高密度プラズマエッチング装置

    シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから1m□基板まで対応。S…

    従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置(CCP型・ICP型)とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACCUBATH 製品画像

    ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACCUBATH

    ナイトライドエッチ用 石英ナイトライド・リフラックス・システム ACC…

    信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用  石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM(オプション)によるシール部の冷却機構により長寿命化、  30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ(ナイトライドエッチ)のもっ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒロテック 東京営業所

  • 回路形成材料 アデカエイフェススーパーシステム 製品画像

    回路形成材料 アデカエイフェススーパーシステム

    自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理

    回路形成材料「アデカエイフェススーパーシステム」は、専用エッチング液「アデカケルミカTFE-3000シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ25μm以下COFにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供します。詳しくは...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ADEKA

  • Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析 製品画像

    Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

    半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…

    半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング技術を使用することにより、単一層の異なる材料のエッチングレートを一致させることができ、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することが可能です。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社

  • イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』 製品画像

    イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』

    高いスループットを実現!大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…

    当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』を ご紹介いたします。 大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 高いスループットを実現。 特にMarathon(TM)グリッドは、従来の方式に比べ、長期に渡り 良好な均一性を得ることが出来ます。 【仕様】 ■イオンビームシステム ■プロセス温度:-40℃~+60℃ ...

    メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • エッチング銘板 製品画像

    エッチング銘板

    最大1500ミリX3000ミリの大型エッチングが可能! 独自の特殊メ…

    事が出来るので、デザイン性の高い商業施設の銘板や各種サインなどに高付加価値をもたらすことができます。当社のエッチング銘板の特徴は、色剥離しやすいステンレス銘鈑に特殊メッキを施すことにより、超耐候性を実現したことです。それにより耐久性を要求される重電、重工、船舶、工作機、各種産業機器などの銘板にも最適です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トーホー 本社

  • エッチング装置 ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン 製品画像

    エッチング装置 ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

    理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

    ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社二宮システム

  • ICPエッチング装置 RIE-800iPC/RIE-400iPC 製品画像

    ICPエッチング装置 RIE-800iPC/RIE-400iPC

    真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

    800iPC/RIE-400iPC』は、SiCトレンチ形状の25枚連続加工の安定性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウを実現しています。 【特長】 <RIE-800iPC> ■最...

    メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社

  • ICPプラズマエッチング装置『SERIO』 製品画像

    ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

    平滑なエッチング面と高い加工精度を実現!サンプルテスト対応いたします!

    ERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適しています。 平滑なエッチング側面、加工面の垂直性、開口部の角度制御などナノイン プリントモールドに必要な多くのプ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • エッチングでは表現できない凹凸 アルミ押し銘板 製品画像

    エッチングでは表現できない凹凸 アルミ押し銘板

    通常加工では難しい、立体感のある形状を実現

    大型のプレス機により表、または裏からアルミ剤をプレス加工することにより、 通常の加工では出来ない立ち上がりを実現します。 エッチングでは表現できない凹凸が特徴です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トーホー 本社

  • イオンビーム エッチング・成膜装置『QuaZar』 製品画像

    イオンビーム エッチング・成膜装置『QuaZar』

    総保有コストを減少させる事が可能!最高クラスの均一性とスループットを実…

    『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 難しいエッチングプロセスや薄膜形成アプリケーションにおいて、 プロセス結果を実現できるエッチング・成膜装置です。 当製品のMarathon grids技術は、重要な要素となっており、現在お使いの 既存のシステムに設置する事も可能。 世界の多くのお客様が、grid技...

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    メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

  • DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー) 製品画像

    DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー)

    非球面レンズのDLC膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

    250mm□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 枚葉式プラズマエッチング装置「EXAM-Σ」 製品画像

    枚葉式プラズマエッチング装置「EXAM-Σ」

    ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

    薄ウェハ(100μm以下)の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートIC、パワーデバ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 【加工事例】エッチングの技術を用いた蒸着マスクの作成 製品画像

    【加工事例】エッチングの技術を用いた蒸着マスクの作成

    フラット性や磁性や耐熱性の要求に対応!多品種の小ロット対応の案件をエッ…

    りました。 そこで、エッチングの技術を用いた蒸着マスクを作成。 試作の短納期対応や、小ロット等に対応しており、特に研究機関からは、 多品種の小ロット対応の案件をエッチングの技術を用いて実現しました。 さらに、製品の要求で蒸着をさせるために、フラット性や磁性や耐熱性の要求に 対応しました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピーワン

  • ソフトエッチング装置【nanoETCH】<30W低出力 製品画像

    ソフトエッチング装置【nanoETCH】<30W低出力

    <30W(制御精度10mW)低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

    【nanoETCH(ナノエッチ)】Model. ETCH5A <30W(制御精度10mA)低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いる マンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。 ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • ナノインプリント装置「TEXシリーズ」*デモ相談可能 製品画像

    ナノインプリント装置「TEXシリーズ」*デモ相談可能

    従来のフォトリソグラフィーと比較して、研究開発から量産用途まで扱いやす…

    【特徴】 ○真空・加圧の無いシンプルな装置構成 ○耐久性に優れた独自素材のモールドを使用 ○フォトニックレベル(φ250nm)まで可能 ○120枚/時間の高速処理を実現 ○ドライエッチング後サファイア基板断面選択比:0.8を実現 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社協同インターナショナル

  • Aera Transformer デジタルマスフローコントローラ 製品画像

    Aera Transformer デジタルマスフローコントローラ

    コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

    など様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ(MFC)とデジタルマスフローメーター(MFM)は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産性の向上、ならびにコストの削減に寄与貢献します。 新センサー・バルブ技術、フィールドで実績のある基幹部品、ならびに高速デジタル回路を搭載して、精密なガスフロー...

    メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社

  • FPCエッチング装置 製品画像

    FPCエッチング装置

    当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置!回収部分は作業者がアクセスし…

    。回収部分は作業者が アクセスしやすい構造にしていますので、メンテナンスが容易です。 当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置により、製品の配線パターンに 問わず好適なエッチングバランスを実現。薬液管理タンク内部のエッチング液の 状態(濃度、温度、比重等)を均一に保つ設計を施しており、各種補給液の コストダウンも見込めます。 【特長】 ■エッチング部 ・製品の配線パターンに...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社トーア電子

  • 【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム 製品画像

    【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

    イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

    は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ■エッチング装置のメンテナンスサイクルが大幅に改善 ■溶射、エアロゾル蒸着、イオンプレーティングによる成膜より  耐プラズマ性・耐食性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

    メーカー・取り扱い企業: つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

  • CCPプラズマエッチング装置『CCP-T60M/B2M』 製品画像

    CCPプラズマエッチング装置『CCP-T60M/B2M』

    高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工!プロセスガスからラジカルを選択的に…

    『CCP-T60M/B2M』は、高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工を実現する 平行平板型エッチング装置です。 プロセスガスからラジカルを選択的に生成し、低電子温度、高密度プラズマが 得られる60MHzパワーを上部電極に印加。 また、常に適切なエッチングプ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング

  • ハイブリッドエッチング装置 製品画像

    ハイブリッドエッチング装置

    安定した量産、低価格!基板へのインパクトが低い、エッチング装置

    東京化工機では、高いエッチファクターを量産で安定的に実現した、 ハイブリッドエッチング装置を取り扱っています。 特殊な添加剤を使用しないので低コストでありながら、 新技術により表裏のエッチング形状が同等です。 薄物搬送に適していて、40μ...

    メーカー・取り扱い企業: 東京化工機株式会社 本社・長野工場

  • 槽内の泡を液化する装置『泡処理装置』 製品画像

    槽内の泡を液化する装置『泡処理装置』

    現像機等で発生する泡の液化処理に!基板品質の向上を実現する泡処理装置

    工機の『泡処理装置』は、槽内に発生した泡をブロワーにより吸引し 独自のセパレートシステムの採用により液化する装置です。 消泡剤の残渣による製造基板への影響懸念の解消及び、基板品質の 向上を実現します。 設計スペースを取らないコンパクト設計で、実用装置に追加設置することで 生産性を向上させることが出来ます。 【特長】 ■消泡剤不使用によるコスト削減 ■製造基板品質への影響...

    メーカー・取り扱い企業: 東京化工機株式会社 本社・長野工場

  • ICP エッチング装置 製品画像

    ICP エッチング装置

    ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!

    精密制御; BOSOH工程に対応可能 ・Pishow A: HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能; pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制御; 超低出力工程に対応 ・Pishow D: DRIE技術をベースに、Si、SiCの深掘りに対応; ガスの切り替え速度<1s; BOSOH工程に対応可能 ...

    メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社

  • 超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201 製品画像

    超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201

    超小型マイクロ波プラズマ源 SMPS-201

    ことを想定して開発された、超小型のマイクロ波励起プラズマ源 【特徴】 ○プラズマ室は、高純度アルミナ製で、放電を目視観測可能 ○無電極放電。新方式のマイクロ波供給方式により高密度プラズマを実現 ○完全シールド構造により、マイクロ波漏洩に対して極めて安全 ○完全空冷式で冷却水は不要 ○各種活性ガスの使用が可能 ○マイクロ波は同軸ケーブルにて供給されているため  面倒な導波管接続...

    メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社

  • スパッタリング装置『MiniLab-026』 製品画像

    スパッタリング装置『MiniLab-026』

    小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

    必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ(最大3源)もしくは抵抗加熱蒸着(金属源 最大4、有機材料x4)に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

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