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T型真空計『NMT-2000-01/02/05』

PR豊富な機能・計測画面を有したタッチパネル式卓上型の製品をご紹介！

『NMT-2000-01/02/05』は、中真空領域(1.0×10^-1～2.0×10^3Pa)が測定可能な気体の熱伝導を利用した熱伝導式の真空計です。表示画面は読み取りやすいタッチパネルTFTカラーLCD表示。画面をアナログ表示、トレンドグラフ表示などへ切替可能。計測値はメモリーカードへ保存でき、PCへも接続ができます。乾電池でも駆動するため電源がとれない場所でもご使...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡野製作所
サービス『ブラウン管モニターから液晶ディスプレイへの置き換え』

PR工作機械や装置のブラウン管モニターの表示トラブルに困っている企業様必見…

当社では、工作機械などのブラウン管（CRT）モニターを液晶ディスプレイ（LCD）へと置き換えるサービスを提供しています。「ブラウン管モニターが点かない」「モニター部分だけを修理したい」といったお悩みはありませんか？モニターの置き換えのみで工作機械が使えるようになれば、新規購入に比べコスト節減につながります。修理対応の可否など、お気軽にお問い合わせください。【置き...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス
◆nanoPVD-T15A◆ 高性能有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

制御。難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。リモートソフトウエア「IntelliLink（インテリリンク）」付属：USBケーブルでWindows PCに接続し、装置運転状況モニター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故障解析などが可能です。限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れたコ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる一貫した装置となります。グローブボックス（MBRAUN社製Labmast...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス

有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。

理しGBOXに戻すことが可能です。 KOREA KIYON製不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。【特徴】 [研究用小型真空蒸着装置] ○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、　基板を大気に曝す事無く蒸着装置に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー
有機デバイス蒸着装置　E-100J

E-100の特徴をそのままに自動排気制御の機能を省きコストを抑えてます

トを抑えている ○ターボ排気ポンプを備えた高真空排気チャンバーに蒸発8源を放射上に配置 ○電源を増設すれば多元同時蒸着が可能 ○チャンバーの両横にはJIS150フランジを設置 ○グローブボックスへの接続や株式会社エイエルエステクノロジー社製　（E-100)と接続してマルチチャンバー蒸着が可能 ○チャンバー下部には取り外し可能な大口径フランジを装備...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー
多機能型・真空蒸着装置「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

(73A) ○所要水量 0.2MPa以上 (差圧)、44L/min、20～25℃ 　※冷却水入口の最大圧は0.4MPa以下、水質は市水相当 ○所要圧空 0.7MPa (設定圧0.5MPa)、接続口径Rc1/2 ○ガス圧力 0.05MPa (設定圧0.02MPa)、接続口径SWL1/4 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空
BS-04 series ロータリーセンサー

長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効

日本電子株式会社水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。〇特長...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社
スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置コンパクトフレームに…

セスコントロール ◉ APC自動圧力コントロール ◉ MFC搭載高精度プロセス制御 ◉ Arガス1系統（標準） + N2, O2 最大3系統まで増設 ◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング ◉ 他、多彩なオプションを用意 ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。・グローブボックスと接続可能である。・前処理室にてプラズマ基板洗浄が可能。・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。・PLC制御にて自動搬送・自動排気・自動蒸着が可能。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
スパッタ・蒸着源複合型薄膜装置【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

引き・成膜制御・ベント、レシピ作成、更に故障解析、ログ等全て前面の7"タッチパネルで操作、操作の一元管理が可能です。 IntelliLinkソフトウエア付属：Windows PCとUSBケーブルで接続しリモート監視、オフラインレシピ作成・ダウン＆アップロード、ログ保存新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
無料プレゼント！『蒸着装置の総合カタログ』

太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に！蒸着装置の総合カタログプレゼ…

当社の『蒸着装置』は、小型からハイエンドモデルまですべて共通のコンセプトで設計。使いやすい角型チャンバーを採用し、グローブボックスと接続できるほか他の真空チャンバーと連結可能です。さらに蒸発源配置を放射状配置にすることにより、8源化を実現するなどお客様のご意見や培った設計経験をもとに使いやすさを追求。太陽電池や有機デバイス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー
分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

ました蒸着セルをご選択可能な設計をしております。超高真空対応に、標準にて液体窒素用シュラウドを装着しております。基板加熱・回転機構を装備しております。窒化物半導体や酸化物半導体は、RFアトムソースを接続する事により、成長可能です。また、蒸着チャンバーを複数ドッキング可能な設計になっており、将来的な増設等のご希望にお応えしております。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
仕様多様化真空フランジ-「ICFフランジシリーズ」

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

リーズの3種類があります。ICFフランジシリーズは製品多様に揃えています。 ICFシリーズフランジを分類すると固定型、回転型、ボルト穴タイプ、タップタイプになっています。また、両側に口径を異なる接続の変換フランジもあります。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
『真空機用導入機シリーズ総合カタログ』※無料進呈中

直線・回転運動、多軸複合運動を高精度伝達。蒸着セルなど各種導入機を多数…

性を実現する、多種多様な“真空機用導入機”を収録した『総合カタログ』を進呈中です。真空装置内にX,Y,Z,θ軸の動作を与える各種導入機やシャッター機構付きにもかかわらず、ICF-70接続を実現し高分解能で膜厚制御可能な有機蒸着セルなど、多数ラインアップしています。【主な掲載内容】 ■1軸・直線運動（Z軸）　　■1軸・回転運動（φ軸） ■多軸・複合運動　　　　　■蒸...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
真空続き手・製品多様-アダプタシリーズ

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

真空配管や真空装置などによく使用される真空継手の一種です。それらの製品は変換フランジアダッブタ、ストレス変換フランジアダッブタ、VCRメス、オスアダッブタ、Swagelog接続のメス、オスアダッブタを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
真空蒸着装置『nanoPVD-T15A』

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

制御。難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。リモートソフトウエア「IntelliLink（インテリリンク）」付属：USBケーブルでWindows PCに接続し、装置運転状況モニター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故障解析などが可能です。限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れたコ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

ルが同部屋に標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステムです。本システムは、有機材料と金属材料が同じ部屋にて成膜可能なハイブリット型蒸着装置となります。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTLシリーズ）

弊社トランスファーロッドは、マグネット方式であり、超高真空領域まで使用…

種共通仕様＞許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度：≦200℃ 直進力：6kgf 回転トルク：9kgf/cm 回転角目盛：10° 駆動軸径：φ10mm 接続フランジサイズ：ICF-70FH 駆動方式：マグネット ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
トランスファーロッド（Ｚ-φ軸　KTXシリーズ）

【 4000台販売突破キャンペーン実施中】弊社トランスファーロッ…

種共通仕様＞許容リーク量：≦1.33×10-11Pa・m3/sec 許容加熱温度：≦200℃ 直進力：6kgf 回転トルク：9kgf/cm 回転角目盛：16° 駆動軸径：φ16mm 接続フランジサイズ：ICF-114FH 駆動方式：マグネット ◎詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。・各処理室は特殊表面処理を施し使用真空環境圧力までの到達が速い。・グローブボックスと接続可能。・導入室内には基板及びマスクホルダーが標準12枚ストック可能。・PLC制御にて自動搬送・自動排気が可能。 ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社