3分でわかる！AMR（自律走行搬送ロボット）とは？※解説資料進呈

PR【AMR（自律走行搬送ロボット）とは？】搬送の自動化でよく使用されるA…

AMRとは Autonomous Mobile Robot の略称で、自律走行搬送ロボットと呼ばれています。 SLAM機能を搭載し、周囲の環境地図を作成、自己位置を推定・自動で経路探索しつつ 目的地まで走行できます。 その特性上、様々な物を色々な場所に搬送する多品種・小ロット生産の現場向きです。 走行経路探索と人や障害物の回避を自動で行えるため、人との協働が可能です。 本資料は、...

メーカー・取り扱い企業： ASPINA：シナノケンシ株式会社

Smart Factory事業のご案内

PRお客様のご要望に応じたフレキシブルな提案でSmart Factory化…

製本関連機器メーカーである当社は、2019年より協働ロボットや AGV・AMR(無人搬送車)を取り入れた様々なシステムを展開してきました。 後加工工程の作業自動化のみならず、包装資材の自動梱包、 他社製プリンターからの用紙搬送の自動化など、メーカー間の 垣根を超えた開発実績もございます。 また、ホリゾン自社工場の生産ラインのSmart Factory化も 積極的に行っており、AGV・AMRを利...

メーカー・取り扱い企業： ホリゾン・ジャパン株式会社 東京支社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！ デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい！ ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合せ下さい。...【掲載内容】 ◆自動エッチング装置 枚葉式のウエハ自動エッチング装...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

加圧RTA装置

基板加熱温度最高1000℃！基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減！

プ ■昇温レート：最大150 ℃/sec ■真空排気：DP ■制御操作 　・制御：PLC 　・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■基板搬送：大気搬送ロボット、冷却ステージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

Epitaxial-EB蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…

■真空排気：CP+DP ■膜厚コントロール：水晶式膜厚センサ ■制御操作 　・制御：PLC 　・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■基板搬送：真空搬送ロボット ■オプション：基板加熱900℃（基板表面）、基板冷却、基板バイアス、基板回転 　抵抗加熱蒸発源（最大6台）、反応ガス供給ユニットなど ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

『自動レジスト塗布現像装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布現像装置です。 装置内にレジスト塗布チヤンバーと現像チヤンバーを設けています。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコン…

制御 ■プロセスガス：F系、Cl2、Ar、O2、他 ■制御操作 　・制御：PLC 　・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■基板搬送：大気または真空搬送ロボット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…

カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置 ○機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択可能 ○各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…

枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置 ○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供（フープ対応可） 【仕様】 ○ウエハーサイズ：～φ300mm ○洗浄液...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハ洗浄装置』

3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成！

ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。 全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉自動洗浄装置でウエハ搬送は3軸多関節クリーンロボットと前後搬送の単軸ロボットの組み合わせで構成されています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送！

ジャパンクリエイト株式会社は、半導体製造装置を主とし、その他液晶製造装置なども取り扱っているメーカーです。 全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 『自動ウエハ洗浄装置』は、枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。 ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式ウエハ処理装置『自動基板用現像装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送！

『自動基板用現像装置』は、枚葉式の基板自動現像装置です。 現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。 また現像方式はスプレー式とパドル式の選択が出来ます。 基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

RTA装置

トレイ搬送にも対応可能！優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現

ンプ ■昇温レート：最大150℃/sec ■真空排気：DP ■制御操作 　・制御：PLC 　・操作：タッチパネルまたはPC ■データロギング：外部メモリまたはPC ■基板搬送：大気搬送ロボット・冷却ステージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体製造装置　自動レジスト剥離装置

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…

本機はレジスト剥離装置になります。 ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○レジスト剥離装置 ○ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送 ○各処理工程を経由 ○温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥 ○アンローダーに払い...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

『自動ウエハレジスト塗布装置』は、枚葉式の自動レジスト塗布装置です。 レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。 また、レジストの他、接着剤の塗布、保護膜の塗布等にも使用出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社