搬送ロボット | イプロスものづくり

PR【何となくで選んでいませんか？】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、何となく使用していたけど改めて知りたい方にも活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。【掲...

メーカー・取り扱い企業：ミネベアミツミ株式会社回転機器

DCブラシレスモータ用コントローラ

PRメカナムホイールを制御するサンプル動画あり！開発時間短縮に貢献します！

『DCブラシレスモータ用コントローラ』は、AGV（無人搬送車）や移動型ロボットなどのモータ制御の開発時間短縮に貢献します。シングルまたはデュアルチャンネルタイプをそれぞれ「SBLシリーズ」「FBLシリーズ」「GBLシリーズ」でラインアップ、高回転対応機種もございます。 CAN通信にも対応するほか、ホールセンサやエンコーダなど多くのロータ位置検出センサに対応しており、サーボモータ制御も可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アキュレイトシステムズ伊那事業所

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能マイクロプレート搬送も可能チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...ロボット仕様ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SSY-10010　EFEM

EFEM

300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウンアームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

GCR4210SN(クローズドループ制御)

・クローズドループ制御・アブソリュートエンコーダ搭載・バッテリ…

低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。各ウェーハサイズ対応可能です。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SWCR3160CS (防水対応）

3軸円筒座標型クリーンロボット

防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適していますアーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。基板に対してベルヌーイの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3D-01661吸着チャック

Y型の真空吸着チャックです。

ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応）大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...被搬送物 SEMI規格300mm 主にシリコンウェーハなど材質高純度アルミナセラミックス焼結体表面処理導電性テフロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...適応ウェーハ 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ (※450mm用も別途提案可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウンアームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様ロボット型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハウェーハ保持方式真空吸着保持方式機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸モータタイプエンコーダ付き...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保アーム関節部防水構造にVシール使用部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

SCR3160CSN (クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

STCR4160SN(クローズドループ制御)

●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮バッテリ不要な機械式多回転...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ベルヌーイチャック（接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。基板に対してベルヌーイの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル