搬送ロボット | イプロスものづくり

PR重量物の搬送・精密位置決めをサポート。手作業と同じ流れでワークを移動で…

『ムーンリフタ』は、重いワークでも“手先の感覚”を活かしたハンドリングで、安全な作業とスムーズな位置合わせを実現する電動バランサです。両手でワークを持ち、軽い力で動かすことができるため、はめ込み中の引っかかり等、微妙な感触まで感じながら作業可能。接地するまでゆっくり降下したり、手をはなすと直ぐに止まるなど機能も充実。精密な位置決めが必要な組み付けや、ガラス等の繊細なワークの搬送に好適...

メーカー・取り扱い企業：ユニパルス株式会社

もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、何となく使用していたけど改めて知りたい方にも活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。【掲...

メーカー・取り扱い企業：ミネベアミツミ株式会社回転機器

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○S...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　製品総合カタログ

半導体搬送ロボットやアライナ等製品を多数掲載した総合カタログです。

ジェーイーエルの製品総合カタログでは、円筒座標型クリーンロボットをはじめ、水平多関節型クリーンロボット、円筒座標型真空対応クリーンロボット等の各種搬送ロボット製品を多数掲載しております。３軸円筒座標型クリーンロボット「SCR3000CS」は、スーパークリーンルーム用の製品です。半導体製造装置内、検査装置内のウエハ搬送用に適しています。装置レイアウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ジェーイーエル　事業紹介

搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください…

晶硝子基板搬送用ロボットの専業メーカーとして、お客様のより良い製品づくりのお手伝いをして参りました。おかげさまで国内外1,800社を超えるお客様とお取引をいただいており、確かな実績と高い品質が「搬送ロボットはジェーイーエル」と言わる所以です。弊社では生産システムと連携して一貫した工程管理を行い、短納期を実現しております。自社開発の生産システム（JOISYS）により受注情報、発注情報、在庫管理、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』

ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボッ…

『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部防水構造にVシールを使用しています。保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。【特長】 ■300mmウェー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットDTVHR4000シリーズは、リンク構造は金属ベルト、ギア等を使用せず転動体により連結された構成のため、長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガスと20℃～50℃の環境での使用が可能です。CE認証を取得しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:275mm ○Z軸バリエーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-AMシリーズ

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-PMシリーズ

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-PMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:550m...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm ○Z...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ア...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700m...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STCR4000Sシリーズ

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証取得しました。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100m...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズ

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

スーパークリーンルーム用300mm対応MTCR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くださ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:330mm、440mm、500mm、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル