『21000型グローブ形/21000A型アングル形単座調節弁』

PR多くのプロセス制御に！21000型グローブ弁と21000A型アングル弁…

当製品は、多くのプロセス制御の用途に対応できる様に設計された重荷重型 トップガイドの単座弁です。 【特長】 ・トップガイド式プラグ ・小さな圧力回復と高容量 ・高い締切差圧 ・タイトシャットオフ ・広い適用温度範囲 ・選択された材質 ・シンプルで高性能のトリムパッケージ ・低騒音トリム及びアンチキャビテーショントリム ・ねじ込み式又はクイックチェンジ式のシートリング ・...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドレッサー株式会社

UWBレーダー方式センサー

PRミリ単位以下の微小な変化を検知！医療機器・電子機器への干渉、影響はあり…

株式会社日本ジー･アイ･ティーは、UWBをはじめとする先端技術の 開発・設計・製造・販売を専門とする企業です。 当社が取り扱う『UWBレーダー方式センサー』は、1mm以下の微小な 変化を検知します。 医療機器・電子機器への干渉、影響がなく、プライバシー保護にも寄与。 バイタルセンサーや、工程内異物検知などにも応用が可能です。 【特長】 ■1mm以下の微小な変化を検知 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ジー・アイ・ティー

・日本エム・ケー・エス株式会社『製品案内』

幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします…

導体やFPD製造を始めとする様々な製造プロセスに用いられるガスの、測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツ・サブシステムの開発・製造・供給、また反応性ガス発生器や電源の開発・製造・供給を行っている日本エム・ケー・エス株式会社のご紹介です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

日本エム・ケー・エス株式会社『会社案内』

幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします…

導体やFPD製造を始めとする様々な製造プロセスに用いられるガスの、測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツ・サブシステムの開発・製造・供給、また反応性ガス発生器や電源の開発・製造・供給を行っている日本エム・ケー・エス株式会社のご紹介です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

アナライザ『AIRGARD CWA/TIC』

化学兵器および有毒産業化学物質の連続モニタリングを行う大気環境アナライ…

『AIRGARD CWA/TIC』は、フーリエ変換赤外分光法を用いた超高感度の ガスアナライザで、有毒ガスを迅速に検出します。 ほとんどのCWAやTICについて、有毒なIDLHレベルを下回る ppbレベルにて20秒以内に検出することが可能です。 低レベルの検出能力と高速レスポンスを備えているため、万一空調システムの シャットダウンや屋内退避もしくは被災域からの避難が必要になった際...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

マスフローコントローラ『Type GM51A』

ユーザーインタフェース内蔵によりレンジとガス種を簡単に変更でき在庫を削…

『Type GM51A』は、幅広い用途に適した1.125"（28.6mm）幅メタルシール、 N2換算フルスケール5sccm～50slmのマスフローコントローラです。 実績のある特許取得熱センサとデザインに、デジタルフロー制御 エレクトロニクスを組み合わせました。 MKS制御アルゴリズムを使ったデジタル制御エレクトロニクスにより、流量 セットポイントに対し標準応答時間500msec...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

モニタリング装置『MultiGas TFS Monitor』

排出ガス組成変化を素早く検出する連続測定が可能！微量ガスモニタリング装…

『MultiGas TFS Monitor』は、19インチラック型、オンライン、 複数ガス対応、微量ガスモニタリング装置です。 高い選択性と安定測定を可能にするTunable Filter分光法技術を使用。 従来の分析手法に代わり、微量炭化水素、水分、CO、CO2、N2Oの 低コストで高性能な分析を可能にします。 さらに、恒久校正機能により高価な校正用基準ガスが不要になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

汎用型マスフローコントローラ『1179C』

標準3インチフットプリントで既存のガスラインを変更することなく設置可能…

『1179C』は、様々なアプリケーションに対応する汎用型の マスフローコントローラです。 10sccm～20simのフルスケールレンジがあり、0.2sccmの低流量まで 高速で再現性の高い流量制御が可能です。 また適合する圧カトランスデューサを接続することで圧力制御装置 としても使用可能。ほとんどの一般的なMFCと直接置換え可能です。 電気コネクタは業界標準品と同じピン配置...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

真空ゲージ『Series 355』

従来品より長期安定性を実現！頑丈なオールメタルパッケージで高い電気ノイ…

『Series 355』は、世界最小クラスのイオンゲージと制御 エレクトロニクスを組み合わせた、コンパクト、簡単、高信頼性、 低コストの高真空アプリケーション用真空ゲージです。 6.66Pa～1.33×10-7Paの真空領域で従来のベアード・アルパートゲージより 正確で再現性の高い測定を可能にする多くの機能を搭載しています。 トランスデューサには、アナログ出力、RS485またはD...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

圧力トランスデューサ　Type AA07A/Type AA08A

お客様のニーズに合わせてカスタム構成可能なビルディングブロックデザイン…

『Type AA07A/Type AA08A』は、優れた価値および性能を有した 高精度の圧力トランスデューサです。 Incoloyを使用した堅固なセンサ筐体による極めて低い熱係数で 幅広い温度範囲にご使用いただけます。 高精度、長期安定性、低熱係数により昨今のガス測定アプリケーションに 必要な測定再現性を実現します。 【特長】 ■優れた価値と性能 ■接ガス部はIncol...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

高温デジタルキャパシタンスマノメーター『DA03A』

高温動作によりゼロ点シフトを低減、CVD, Etch, ALDに！

「DA03A」は、RoHS対応のデジタル高温タイプBaratron（R）キャパシタンスマノメータです。 高温で動作することによりセンサ内部へのプロセス副生成物の堆積を最小限に抑えます。 これにより副生成物堆積によって生じる出力ドリフトをほぼ無くします。 150℃または160℃の動作温度で使用でき、メタルエッチングや絶縁膜CVDのような半導体製造における最も必要とされかつ環境の厳しい真空プロセ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon（R）』

NF3最大流量8slm、独自のPEOプラズマブロック設計によりプロセス…

「Paragon（R）」は、量産実績のあるMKS低磁場トロイダルプラズマ源の特性を基に、次世代ナノプロセス開発と製造に、より適したデータ転送と制御性を実現しました。 CVDおよびALD／ALEプロセスチャンバークリーニングに対応し、8slmのNFガス流量および最大10Torrの圧力条件においても高い分析効率（＞98％）が得られます。 【特長】 ■NF最大流量8slm、コンパクトな設計でク...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

FTIRアナライザ『MultiGas TM Purity』

FTIRベースのバルクプロセスガス分析用高感度アナライザ！

「MultiGas TM Purity」は、高純度バルクプロセスガス中のppbレベルの不純物を検出可能なFTIRベースのアナライザです。 高分解能のアナライザによるバルクガス中の不純物の特定に威力を発揮します。 【特長】 ■NF3、NH3、H2などのガスで、バルクガス製造の品質向上に貢献実績 ■腐食性高純度ガスにも対応する構成 ・サンプルラインとガスセルは316SS溶接タイプ ・水...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ：　1-100 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

『R*evolution V』

ON-WAFER処理のためのインテリジェントプロセスコントロール

『R*evolution V』は、実績のある低磁場トロイダルプラズマ技術、 高度な通信機能、高精度パワー制御機能を一体化した製品です。 当シリーズのリモートプラズマソースは、フォトレジストストリップや 様々な表面処理など、酸素ラジカルベースのアプリケーションに適しています。 またEtherCAT通信プロトコルにより、クリティカルなプラズマソース動作 パラメータをプロセスツールや...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

『高精度圧力測定器』

非常に低い温度係数により優れた温度安定性を実現！高精度圧力測定システム

『高精度圧力測定器』は、キャパシタンス・ダイアフラム・センサ技術と ソリッドステート・エレクトロニクスをベースにしたシステムです。 先端プロセス/計測の現場で求められる機能を搭載し、製造ライン、 計測研究所を問わず高精度計測をサポートします。 製造および研究の現場で、長年にわたり圧力測定の標準モデルとして 実績のあるMKSの高精度バラトロンには、各種圧力レンジ、精度、 オプシ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

『Baratron600シリーズ』

優れた長期安定性でプロセスの再現性を実現！キャパシタンスマノメータ

『Baratron600シリーズ』は、苛酷なプロセス環境においても正確で 再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の 絶対圧型キャパシタンスマノメータです。 最も安定性の高い低圧測定圧力トランスデューサとして利用されています。 【特長】 ■最小2.66PaF.S.を実現 ■ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定 ■読みの％精度で、1×10-4F.S...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

高精度絶対圧真空計

高精度絶対圧真空計

■F.S.レンジ：1.33×10<SUP>1</SUP>〜3.33×10<SUP>6</SUP>Pa ■精度：読み値の0.05〜0.12％ ■有効数字：6桁 ■45℃温度制御...MKSの製品は、半導体・液晶パネルを始めとする、先進技術を用いて製造される様々な製品の製造プロセスで活躍しています。 特に現在のハイテク電子製品に使われている半導体デバイスの製造に必要とされるプロ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社