独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』

PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…

当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

水質改善器具『アクアクリスタルリング』※経済効果と環境性能が両立

PR冷却塔のスケール除去や熱交換器のスケール付着防止・防サビに！経済効果と…

水質改善器具『アクアクリスタルリング（ACR）』は、直径100mm、厚さ30mmのドーナツ型樹脂製容器に、発電能力の高い特殊な水を封入した水質改善器具です。 水中で揺れると、最大で0.2V程度の電圧を発生させて周囲の水を改質。 外部エネルギーを必要としない新しい水処理の器具です。 薬品よりも浄水能力が高く、ランニングコストが不要。 配管やタンク・機器類の延命に貢献します。 【...

メーカー・取り扱い企業： 重松テック株式会社

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

飛来物防止板(興研テーブルコーチ KOACH T 500-F)

粗大粒子等重量飛来物の落下対策。コンタミネーションコントロールとして最…

■テーブルコーチへの設置例 粗大粒子等重量飛来物の落下によるコンタミネーションコントロールとして最適。飛来物防止板を設置した場合、プッシュフード対向間距離を700mmから1OOOmmまで拡張することができる。また飛来物防止板購入時、飛来物防止板内にイオナイザーをオプション設置されたものの選択も可能。 イオナイザー(除電器)を設置することにより、クリーン環境下における有効な静電気対策が行えま...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置

【FM-664シリーズ】は、プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。 ウェハーサイズは、下記２タイプを用意 ■FM-6648：8インチまで ■FM-6643：12インチまで シリコンウェハ、ダイシングフレームに各種テープを気泡なしで瞬時に貼りつけることができる装置。プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発。プリカットテープ専用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

【動画で紹介】半導体ウェハ用ワイヤーソースラリー調合設備

人的ミス防止で生産効率UP!ワイヤソー用スラリーを自動搬送・計量・調合…

本製品は、半導体ウェハをインゴットの状態から、ワイヤソーにより切断する際に、必要となるスラリーの製造を目的とした設備です。 ２台の撹拌設備、１台の貯蔵設備、３台のコンベア、オイル搬送用のポンプで構成され、粉体搬送による発塵を防止するための集塵機も搭載しています。粉体搬送は自動で行い、モータ、ポンプ、ロードセルなどは非防爆仕様で、省力化に配慮をしています。 登録されたレシピに従い搬送、計量、調合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エム・エス 本社営業部

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い…

『薄板対応タイプクリーンローラー』をご紹介いたします。 「RY-1106シリーズ」は、細径の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動部分にマグネットギアを採用する事により、 ギア部分からの微少発塵を抑制。 この他にも「RFC-705A」、「RF-705A」をご用意しています。 【特長】 ■落ち込み防止 ■巻き込み...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

『機能水装置』

薬品量の削減、排水処理負荷の低減などに貢献！機能水装置を多数ラインアッ…

使用量を削減し、環境・安全面はもちろん、 企業・製品のイメージアップにもつながります。 当社では、立上りの速いオゾン水を供給可能な「オゾン水装置」をはじめ、 「水素水装置」や「超純水帯電防止装置」などをご用意しています。 【特長(オゾン水装置)】 ■立上りの速いオゾン水を供給 ■150ppm以上の高濃度オゾン水も供給可能 ■オゾン水濃度計、環境オゾンガス検知器を標準装備 ...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター「FM-3343」

プリセットされた貼付け条件で気泡なしにオートラミネーション

12インチ（300mm）対応のセミオート式テーブルトップタイプの小型テープ貼付機。 テープ貼付け／ラミネーションの条件多様化に対応できる最適なテープ貼付機です。 マニュアル装置に「肝心の貼付け作業だけでも自動化」し、さらに「貼り付け条件の設定と貼り付け品質の定量的な管理をしたい！」と希望されるお客様にお応えする装置です。 経験の浅いオペレータでも、熟練者のような安定した品質での貼り付け...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、 スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを 用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。 コンピュータコントロールによるプログラム設定により、スピンコーティング、 乾燥、焼成、冷却の各工程の詳細な条件設定並びに、工程の省略、 工程フローの変更、工程の保存が任意に出来るプログラム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

【アルミ表面処理　問題解決事例】半導体製造装置へ異物混入防止

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発…

製造工程中に使用するアルミニウム合金製の治具やボルトなどの締結部品は アルマイト処理をする場合がありますが、高温になると皮膜がクラック・欠落 してしまう問題があります。 350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス 硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施すことで、皮膜欠落の原因で ある熱クラックの防止を図ることが可能。 課題であった皮膜欠落に...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

フレーム溶射装置『MK66E-PC』

外部の自動装置と連動して生産を停止することが可能！分散型I/Oがついた…

『MK66E-PC』は、マスフロー制御が付いた完全自動のフレーム溶射装置です。 不良センサーはフレームの失火、ワイヤの停止、ワイヤ切れをチェックし、 外部の自動装置と連動して生産を停止することが可能。 これらの特性により、連続した作業と向上した皮膜品質、最小限の停止時間 を確保しています。 【特長】 ■使いやすい直感的な操作者インターフェイス ■タッチパネル付きPC制御 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター「FM-903S」

最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター

オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。 ...■特長 ・自動貼付け、オートフィルムカット機構。 ・貼付け圧力/可変。 ・貼付けスピード可変。 ・貼付けローラー自動平衡機能。 ・オプション：ヒーターユニット、静電気対策。 ・テーブルトップタイプ ■メリット ウェハーマウンター...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

半導体チップの移載装置に取り付ける、ピックアップ製品作ります

もうチップにキズはつかない、チップを確実に移載する技術

半導体の移載には、精密なピックアップツールが必要です。 交換式ゴムコレットは、多種多様なアプリケーションに対応できるピックアップツールであり、デバイスへの傷対策や吸着力アップにも寄与します。 また、樹脂コレットは複雑な形状の加工が可能であり、3次元実装のデバイスにも対応できます。 さらに、超硬製や金属製のダイコレットは強度、温度、耐摩耗が要求されるシーンで採用されます。 これらのコレットは...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

半導体チップの持ち帰りを防止可能　『交換式ゴムコレット』

豊富なサイズの標準品あり、カスタマイズもOK！※抽選で10名に製品サン…

当社では、低粘着性により半導体チップの持ち帰りエラーが発生しにくく 交換が簡単な『ゴムコレット』を取り扱っております。 豊富なサイズの標準品を揃え、ニーズに応じたカスタマイズにも対応可能。 また、リーズナブルな価格設定も追求しています。 現在、抽選で10名に製品サンプルを進呈中。ご希望の方は 【お問い合わせフォーム】よりお気軽にお申し込みください。 【特長】 ■先端形状は...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク／レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 　・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 　・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 　・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール 　・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 　・機能水を使用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

UVフィルム硬化装置｜全自動 LED光源仕様「UVC-300A」

高圧水銀灯やメタルハライド光源と比較しても十分な硬化性能（硬化状態、硬…

テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW/cm2（10mm work distance）の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。 LEDの特長である常温照射によるワークへの熱ダメージ低減、低消費電力、長寿命性、光源の交換時に安全等、数多くのメリットが受けられます。...■主な特長 ・常温、室温照射ができる ・光源は瞬時に立...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

半自動型高速汎用メッキ装置プレリュード

半自動型高速汎用メッキ装置プレリュード

　当社が開発した半自動型汎用鍍金装置・プレリュードはワークの全面に洗浄、めっき等の処理を施すことが出来る高速汎用鍍金装置です。よって従来課題であった治具跡が残りません。専用治具はワークの形状によりフレキシブルに対応できます。装置構造の工夫により従来品と比べて薬品の持ち出し量を劇的に削減して薬品コストを低減できます。装置全体がカバーリングされており有害ガスの作業環境への排出を防止します。...　当社...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

プラズマ溶射システム『Met-PCC(PLAS)』

従来のプラズマとHVOF装置の簡潔な制御と操作者インターフェイスの特長…

『Met-PCC(PLAS)』は、メタライゼーション社の大気プラズマ溶射（APS)装置の 中で最も新しい開発品です。 同社最新のPLCが装置を動かし、信頼できるイーサネットのプロトコルを通して 機器同士が伝達するので、プロセッサーは操作性・統合性・伝達性に優れています。 【特長】 ■一次ガス・二次ガス・キャリアガスの質量数量制御＝高い繰り返し精度 ■使いやすい直感的な操作者イン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

免震装置『ISO-Base（アイソ・ベース）』

後付・再構成・再使用が可能！IT装置の地震保護が驚くほど簡単になりまし…

『ISO-Base（アイソ・ベース）』は、地震時の強烈な振動や衝撃から 基礎分離し、精密機器を保護する免震装置です。 マグネチュ－ド7.0～8.3レベルの大地震にも3次元の免震機能を発揮。 地震の縦ユレ、横ユレにも対応します。 また、稼動中のシステムにも取付工事が簡単に行えます。 【特長】 ■搭載物に揺れを伝えないため、転倒防止だけでなく、精密機器内部を 　地震から保護す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッチ・ビス株式会社 株式会社ハイブリッチ 東京支店

【防塵】アルミ製品のパーティクル防止などに【TAF TR】

350℃でもクラックレス！半導体製造装置などの防塵に！クラックレスの硬…

半導体製造工程で発生するパーティクル(異物微粒子)は製品歩留まり(良品率)や信頼性に著しく影響を与えることと思います。 クラックレス硬質アルマイト【TAF TR】は温度域350℃でもクラックすることがないため、皮膜の欠損や剥がれが無いためパーティクル防止用途として、半導体製造装置などの機械要素部品に効果を発揮します。 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてくださ...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

マスクレス露光装置「MXシリーズ」

半導体製造等の露光工程における、開発/納期の短縮とコスト削減に貢献しま…

半導体製造工程・マイクロセンサー（加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー）製造工程・プリント基板製造工程における露光技術では、フォトマスクを使用し、それを基盤に転写する方式が主流です。 一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いた独自のポイントアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。 フォトマスクを使用しな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

溶解槽

溶解槽

当社が開発したジンケート浴専用溶解槽は、亜鉛溶解時間を短縮し短時間での濃度変更にも対応できます。濃度管理は1槽ごと独立して行えるのでこまめな濃度管理・調整が可能です。また亜鉛板補給作業が大変容易になり、溶解槽は密閉されているので健康を害し建物を老朽化させる腐食性ガスは外部に発生しません。 ★亜鉛溶解速度の高速化 　亜鉛溶解時間を短縮し、短時間でイオン化した溶液の補充が可能なので急速な濃度変更に...

メーカー・取り扱い企業： 木田精工株式会社

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。　新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニットの出し入れによる発塵を予防。 ●ゴムロールの直接加圧方式にすることでテープの始まりから終わりまで　 安定した除塵能力を発揮。 ●加圧調整バルブで、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エル・シー

実装基板表面クリーニングマシン（インラインタイプ）

基板上のほこり・ゴミ等をきれいに取り除きます！

プリント基板表面上のゴミ等を簡単・確実に除去する、 実装基板表面クリーニングマシン（インラインタイプ）です。 【特長】 ・SMTライン用に専用開発したクリーニングマシーンです。 ・基板下面にチップ部品が搭載されていてもクリーニング可能です。 ・イオナイザー※を出口部に標準装備。クリーニング後の基板への静電気等による 　ゴミの付着も防止します。　 　※お客様のご要望仕様により特注仕...

メーカー・取り扱い企業： ユニテク株式会社

【半導体業界向け】フッ素樹脂製品のご紹介

当社フッ素樹脂ライニングを用いたシステム設計・製作を行っております！

ニッシンコーポレーション株式会社は、独自のフッ素樹脂加工技術を 活かしたフッ素樹脂製品をご提供しております。 フッ素樹脂の持つ耐薬品性・純粋性・電気特性・非粘着性を生かした 「貯槽（ストレージタンク）」をはじめ、半導体製造ラインなどの設備に 薬液昇温装置として使用されている「薬液ヒーター」などをラインアップ。 また、タンク内や攪拌羽根等のインターナル、その他配管等の内面へ 当社...

メーカー・取り扱い企業： ニッシンコーポレーション株式会社 本社

水溶性離型剤 自動希釈圧送装置『マッキーミニ』※デモ機無料貸出

自動で手間なく離型剤を希釈＆圧送。タンク補給の手間がいらず生産性UP【…

『マッキーミニ55-D/65-D』は、ダイカスト用水溶性離型剤を希望の倍率で 自動的に水で希釈し、スプレー装置に圧送供給できる装置です。 希釈倍率の設定は、ボタン操作で簡単に行えます。 複雑な配管工事がいらず「100V電源・水道・エアー」の設置だけで使用可能。 しかも、希釈剤をタンクに投入する手間も省け、生産性がアップします。 【特長】 ■希釈精度±3％ ■タンクへの補給不要...

メーカー・取り扱い企業： 真岐興業株式会社

【導入事例】半導体製造装置部品へのアルミナ溶射

【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射

【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術 【課題】 半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。 【解決策】 当社のアルミナ溶射により高純度被膜を生成、短納期にも対応しました。 【当社の売り】 当社のプラズマ溶射設備は、単発品や試作品への対応を得意としております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・シイ・エス

薄型XY軸ステージ（石定盤）

薄型XY軸ステージ（石定盤）

リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 　上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 　高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...リニヤガイドでありながら、低重心構造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

ダイシングフレーム洗浄装置

剥がす！洗う！乾燥する！がこれ1台！

●　2枚取り防止機能！ 　　ワークの段積みが可能になりスムーズなワーク供給を実現。 ●　タクト調整機能！ 　　ワークに合わせてのレシピ設定が可能です。 ●　段取り替えはワンタッチ！ 　　スイッチ1つでワークに合った段取り替えを自動で行ないます。 ●　工程間の搬送もスムーズ！ 　　専用台車によるワークの供給搬出なので工程間の持ち運びもスムーズです。...チッピング後の残チップとテープを...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

フィルムラミネート装置（ロールtoロール方式）

多彩なフィルム・ガラスに対応するラミネート装置

近年はラミネート機械だけではなく、スリッター＆カッティング機械、自動機械の製品化を成功して参りました。 設計より製造まで一貫生産してます。 いままで多数の加工機／生産機を製造しております。 ラミネ－トに限らずお客様のオーダーメイドなラインご相談もお受けしております。 またテスト加工等の機械も数十台取りそろえておりますので実験を繰り返しての機種や機能選定も可能です。 お気軽にご相談ください...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

高性能のまま低価格を実現！『単結晶育成引上工程用ロードセル』

【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量…

単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には独特の荷重センサを用いました。 ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！…

純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。 この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。 【特長】 ■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。 ■ベアリン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

ホットジェット溶接技術『溶接加工事例集』

洗浄槽・実験装置などの液漏れや腐食の問題を“溶接”で解決！加工事例プレ…

当社は、工業用・商業用問わず、水槽やアクアリウムの製造を行っています。 長年培った溶接技術を駆使し、ニーズに合わせたカスタム加工が可能です。 液晶・半導体製造用の洗浄槽・装置をはじめ、 アクリルを使用した工業用実験装置、ヘッダーなどの製作に幅広く対応。 部品製作から溶接・接着まで一貫体制で行っており、 なかでも、溶接面に溶接棒を熱風で溶かし当てて 接着させる「ホットジェット溶接...

メーカー・取り扱い企業： 日本サカス株式会社 プラテック事業部

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 （400℃以上のご希望の際はご相談ください。） また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

超音波システム１ＭＨｚタイプ

市販のファンクションジェネレータを利用したシステム

超音波システム研究所は、 超音波の発振制御が容易にできる 「超音波発振システム（１ＭＨｚ）」について、 　タイマー制御により応用する方法を公開しました。 具体例 １）機械加工油へ、夜間に超音波照射で加工油の劣化防止 ２）ＮＣマシンへの超音波照射による、品質の改善 ３）金属、樹脂・・部品を保管している棚への超音波照射（表面改質） ４）めっき液、洗浄液、溶剤、・・への超音波照射で、...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

大型高精度SiCプレートによる改善事例

最大□800ｘ40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置…

金属製プレートは重く、熱変形により精度維持が困難です。SiCセラミックスへの代替により様々な問題を解決します。 【仕様】 ■最大寸法　□800(Φ800)ｘ40t ■平面度1~5μm　平行度2~10μm　面粗さRa0.4μm 　※精度は寸法や形状で変わります 【主な特長】 ■軽量　■高剛性　■低熱膨張　■高熱伝導　■耐摩耗　 【採用効果】 ■軽量・高剛性による装置性能向...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

精密溶接加工【気密溶接】

40年のノウハウと徹底した工程内品質管理が可能にした気密溶接技術【マイ…

【精密溶接加工に関して、こんなはございませんか？】 ◎真空容器、水中ポンプなどの溶接でリーク(漏れ)が心配･･･ ◎外注監査も受け入れるほど品質管理が徹底している会社は無いか･･･ ◎工程短縮と品質向上をしたい･･･ 　⇒　⇒　ニッセイ機工にお任せください！ 【ポイント1】気密溶接でリーク(漏れ)検査を行います！ 気密の検査はヘリウムリーク検査からＰＴ(浸透探傷試験)、水没、目...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッセイ機工

超硬製ダイコレット

ダイコレットのポケットに納まるように寸法設定し、ダイをしっかり押える！

『超硬製ダイコレット』は、半導体製造装置の消耗パーツや ピックアップツールの開発・製造しているオルテコーポレーションの製品です。 チップの厚みの半分が、ダイコレットのポケットに納まるよう 角錐の内側寸法を設定していますので、ダイはしっかり押えられます。 又、オプションとしてチップエッジの欠け防止の為のコーナーリリーフも加工しています。 【特長】 ■チップの厚みの半分がポケッ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

フッ素系溶媒用チラー　M-75HFE

高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー

フッ素系溶媒（フロリナート、ノベック、ガルデン、オプテオン）は、絶縁性が高いため、電食を防止する効果が非常に高く、装置のメンテナンスを容易に行うことが可能です。 また、不燃性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 （フッ素系溶媒の特徴） 　・電気絶縁性が高い 　・熱伝導性が高い 　・熱的安定性が高い 　・化学的安定性が高く不活性 　・毒性が低く、不燃性のた...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

ウエハ移載機

ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機

●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプションとして静電気除去装置も準備してます。...ウエハ移載機は、キャリアtoキャリア、キャリアto石英ボードな...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

10ｔサーボプレス

5ｔとほぼ同サイズを実現！精密プレス加工・深絞り加工・トムソン加工に最…

安全性・操作性・応用性に優れたボールネジ駆動の新しいタイプのサーボプレス機です。 駆動源はＡＣサーボモーターによるアンダードライブ機構を採用し、送り装置や付帯設備の取付けにも有利な構造であり金型脱着も容易に出来ます。 コンパクトでありながら、高い剛性を確保し加工品質の安定性に大きく貢献すると共にサーボプレスならでは、最適モーションが得られます。 又、位置制御と圧力制御（オプション）の選択が可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

導電性セラミック

静電気対策、帯電防止など大気環境から真空環境まで実績があります

当社では、導電性セラミックを取り扱っております。 アルミナを主成分として静電気対策用から金属並みの伝導性があるものなど バリエーションがあり、使用用途として、チャンバー内の静電気対策や、 帯電したシリコンウエハを搬送するロボットハンドなどがあります。 その他、窒化アルミや、設備の移転からチャンバー部品までお客様の ニーズに合わせて改造も可能な半導体装置部品にも対応。 ご要望の際...

メーカー・取り扱い企業： JTCK株式会社