モジュール式ロスインウェイトフィーダー『SIMPLEX FB』

PRフルステンレス製で、内部撹拌機能付き！大容量のロスインウェイトフィーダ…

『SIMPLEX FB』は、セルロース、ガラス繊維、プラスチックフレーク、 炭素繊維などの軽くてふわふわしたリサイクル素材に適したフィーダーです。 垂直なホッパー壁と底部駆動のアジテーターによる平底設計は、優れた マスフローを提供し、オーガーの最大入口面積を利用して凝集性の高い 材料の供給をサポート。 底部駆動のアジテーターは重心を低くし、注入口へのアクセスを最大化 することで...

メーカー・取り扱い企業： シェンク・プロセス・ジャパン株式会社

マテックスサーボモーター用減速機を東京機械要素技術展に初出展！

PR【2024年6月19日（水）～21日（金）】駆動機構を小型化・軽量化し…

マテックス株式会社は、東京ビッグサイトで行われる『第29回機械要素技術展M-Tech』に出展いたします。 本展示会では長らくご愛用頂いている遊星減速機の他に、 高効率かつコンパクトなサーボモーター用減速機を初出展。 また「遊星歯車減速機」ユニットタイプ、「バックラッシ低減遊星減速機」、 「スーパーエンプラ射出成形品」、「車載向け樹脂射出成形品」、などを多数展示いたします。 実際に当社製品を手...

メーカー・取り扱い企業： マテックス株式会社

4軸同時駆動スピンコーター『ACT-220AII-4axis』

生産性UP！　4軸同時駆動の卓上型スピンコート機ACT-220AII-…

4軸同時駆動の卓上型スピンコート機『ACT-220AII-4axis』のご紹介です。 2軸、3軸、4軸同時処理（起動）が可能で、枚様式でありながら4枚同時にスピンコートできます。 処理する基板が小型...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクティブ

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

真空非磁性 ＵＳＭ駆動ユニット＜特注＞

駆動源に回転式超音波モータ（ＵＳＭ）を採用した真空非磁性対応 ＵＳＭ駆動ユニットです。 【特長】 　◇回転式超音波モータを採用し、真空や非磁性環境に対応 　◇動作毎のユニットで組合せ自由な軸構成 　◇環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフォーマンス 　　に優れた製品を提供 ⇒ダウンロードから特注品・製品例がご覧いただけます。 ⇒非磁性対応品に関するご相談、見積などは下記コ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

インクジェットヘッドコントローラー基板の開発受託

インクジェットヘッドコントローラー基板です。業界で唯一、ノズル毎の駆動…

・各社ヘッドに対応した、ヘッド駆動基板の開発受託します 　　通常ヘッド駆動制御基板、各社対応可能です　 　　コニカミノルタ（株）、リコー（株）、 ＦｕｊｉＦｉｌｍ_Ｄｉｍａｔｉｘ　他 ・ＤＰＮ駆動ヘッド駆動制御...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー EX-300

モーター駆動方式を採用した12インチ対応のウェハーエキスパンダー。8イ…

モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。 本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

DimatixインクジェットヘッドSG/PQ/QS/QE基板

Fujifilm Dimatix社富士フィルムインクジェットヘッド駆動…

Fujifilm Dimatix社富士フィルム　インクジェットヘッド駆動コントローラ基板です。SG/PQ/QS/QEを制御可能です。 パルス幅可変可能です　ヘッド駆動波形生成ソフト（オプション）があります。吐出周期最大20kHz　搬送系エンコーダと同期可能。 印刷...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-21シリーズ

拡張ステージの駆動にエアシリンダーを採用。シンプル構成により、メンテナ…

ハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い…

『薄板対応タイプクリーンローラー』をご紹介いたします。 「RY-1106シリーズ」は、細径の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動部分にマグネットギアを採用する事により、 ギア部分からの微少発塵を抑制。 この他にも「RFC-705A」、「RF-705A」をご用意しています。 【特長】 ■落ち込み防止 ■巻き込...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。　新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エル・シー

ガントリ型　4軸ステージ

ガントリ型　4軸ステージ

石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 　300mmサイズま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

小型圧力ゲージ　ＰＧ−２０

半導体のガス供給系の集積化システムに対応した小型圧力ゲージ

主な仕様＞ 1.定格圧力レンジ：0.5MPa、1MPa(正圧／連成圧) 2.使用温度範囲　：-10〜50℃(動作温度),0 〜 50℃（補償温度） 3.電圧出力　　 ：1〜5V DC(駆動電圧12〜24VDC±10%) 4.電流出力 　　 ：4〜20mA DC(駆動電圧24VDC±10%) 5.スイッチ出力　 :2点（NPNまたはPNPトランジスタオープンコレクタ） 6....

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

外部共振型　半導体レーザー装置

外部共振型　半導体レーザー装置

外部共振器型波長可変半導体レーザー 【特徴】 ○LD端面にARコーティング ○小型 ○操作が容易 ○スタンダードなリトロー型、リットマン型、高出力タイプや 　 ファイバー付、モータ駆動によるリットマンタイプなど 　 様々なアプリケーションに対応します。 ○Littman/metcalf ・波長：635-1700nm， ・出力：10-150mW ・ライン幅：500kHz@...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ルミネックス

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

、バイアス圧をかけてください。 ■ディスク部は、ネジ込み・キャップ構造で簡単に交換ができ、シールは安心・長寿命です。 ■ディスクはシート面であるためダストが発生しません。 ■常温タイプの駆動部は硬質PVCでカバーされている為、雰囲気の良くない場所に設置可能。 ■耐圧タイプの駆動部のカバーは、金属＋４Fコーティングにより耐蝕及び耐熱性に優れます。 ■接続部はネジ漏れの心配がない継...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

高精度リニヤステージ　エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適！

リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 　石定盤で支えられており、高い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

ウェハー拡張装置｜ウェハーエキスパンダー TEX-220

オペレータの作業を低減、生産効率を向上することができる、オートカット機…

ハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔／ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。 拡張ステージの駆動にモーターを採用により、拡張ストロークや拡張スピードの数値管理が可能です。 またオートカット機能を標準で搭載しています。 テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

接続用ピン端子をダイレクト挿入『連続ピン端子挿入システム』

接続用機構部品としてプリフォーム連続ピン端子を基板やボビンにダイレクト…

卓上型をラインナップ。ワーク自動供給装置付挿入機にも対応致します。 【特徴】 ■プリフォーム連続ピン端子は、制限の範囲内であれば、イニシャルコスト無でカスタム製作可 ■端子挿入機は、ヘッド駆動がサーボモーターの据置型とエアー駆動の卓上型の2タイプを用意 ■端子挿入機は、ユニット脱着交換ができ、異なる別仕様のプリフォーム連続ピン端子の挿入に対応可 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お...

メーカー・取り扱い企業： アイクレックス株式会社

低印圧スクリーン印刷機　MT-650TVC eXtreme

プレコンタクト印刷を容易に！高い生産性と信頼性を実現した最新モデルです

【基本仕様】 版枠寸法：450×450mm、550×550ｍｍ、550（W）×650（L）mm 印刷面積：最大250mm テーブル寸法：360×360mm スキージ駆動：ACサーボモーターによるスチールベルト駆動 スキージスピード：10～300mm/sec. スキージストローク：最大370mm 印圧設定機構：垂直フロート型エアーバランス方式 クリアランス：...

メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社

角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社

アーク溶射装置『ARC145/S245』

溶射電流の設定が容易！メタライゼ－ションの特許である“同軸駆動”システ…

で超安定した 連続溶射が可能。 より長いリ－チで軽量、かつ柔軟性があり、さらに操作者への溶射加工の 生産を快適なものにしています。 【特長】 ■メタライゼ－ションの特許である“同軸駆動”システムを使用 ■気密性のある電源装置であり、信頼性が高い ■多くの用途と皮膜要件に適するようワイヤ－径の幅が広い（1.6～2.5mm） ■電力ケーブルがエヤー冷却方式であり軽量 ■ガンの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティングしている。ボディに装着したヒーターの熱が駆動部側から放熱してしまい、困っている、、、 といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 555mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

（E5AT）の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲（最大30cm）と非常に細かい動作分解能（最小0.25nm）を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

00ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントローラ及びモータは、従来の弊社BPSシス...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用して...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

ナノ・マイクロサイズの試料把持用　ロングアームナノピンセット

アームの長さが従来の５倍長くなり、今まで届かなかった液中深くにあるサン…

従来の５倍（3mm）で、今まで届かなかった液中深くにあるサンプルへアプローチできるようになりました。市販の電源（最大電圧150V以上）を用いて開閉操作が可能で、櫛歯型静電アクチュエータによりアームを駆動します。先端最大開き幅100μmです。 顕微鏡に取り付けたマニピュレータにセットすることで、マイクロサイズのサンプルを観察しながら操作することができます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

10ｔサーボプレス

5ｔとほぼ同サイズを実現！精密プレス加工・深絞り加工・トムソン加工に最…

安全性・操作性・応用性に優れたボールネジ駆動の新しいタイプのサーボプレス機です。 駆動源はＡＣサーボモーターによるアンダードライブ機構を採用し、送り装置や付帯設備の取付けにも有利な構造であり金型脱着も容易に出来ます。 コンパクトでありなが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

精密XYステージ

半導体用小型ステージから、液晶用大型ステージまで幅広い製作実績を誇りま…

また液晶製造装置用としては、第10世代対応ステージも 製作実績があります。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【ラインアップ】 ■サーフェイス型エアスライダステージ ■ガントリ駆動型エアスライダステージ ■直交型リニアガイドステージ ■ガントリ固定型エアスライダステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社モーショントラスト

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

高耐久性ドライ真空ポンプ　SDEシリーズ

性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により 　ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 　従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

耐熱・耐薬品エアーバルブ（ふっ素樹脂PTFE製）

耐熱・耐薬品エアーバルブ（ふっ素樹脂PTFE製）

接液部は全てふっ素樹脂を使用していますので、耐薬品性、耐熱性に優れています。駆動部は硬質塩ビでカバーされていますので、雰囲気の良くない場所にも設置できます。（AV１型はヘッド部がアルマイト製） また、多くの企業様から、「もう数十年使っているけれど、かなり丈夫だから、安心して...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」

薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適！従来…

フトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動（充電可）のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑えら...

メーカー・取り扱い企業： 筑波精工株式会社

薄型XY軸ステージ（石定盤）

薄型XY軸ステージ（石定盤）

リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 　上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 　高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

６インチ径PFAカスタム圧力容器

６インチ径PFAカスタム圧力容器

脈動を起こさない。安定した圧力での薬液吐出を行う。薬液の途切れがない。スラリーデリバリーにも最適。 薬液の近くに電気的な接続不要。パーティクルの発生を削減。薬液内に駆動部分が無い。長期間の安定性。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

インライン　スタティック　ミキサー

インライン　スタティック　ミキサー

ParkerSMU-1は他のメーカーミキシング製品と比較し、全体的に非常にコンパクト。１００％超高純度PTFE材料による構成。駆動部分を持たないため、長寿命を実現。 お客様のニューズに合わせてマニホールド化の対応も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

表面改良コンポーネント

表面改良コンポーネント

ラズマ ・コンパクト設計 ・取り扱いが簡単 ・AC100Vのコンセントで動作 ・メンテナンスが容易 ■低速高強度イオンビームガン ■簡易型卓上プラズマ処理装置 ・ハンディー型、100V駆動 ■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら 　 お任せください。詳細は、お問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…

品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フルオー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

SSY-21000カセット搬送システム

カセット搬送システム

状態 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec カセット保持 エア駆動によるエッジグリップ式チャックによる保持 繰り返し精度 ±0.2mm 質量 システム本体 約160kg（設置フレームを除く） ユーティリティ エア：カセットグリップ駆動用 0.25±0.05M...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ダイレクトドライブモータ［Zシリーズ］（DDモータ）

様々なバリエーションを揃え、半導体製造機器や液晶パネル製造機器、一般F…

例）ZMD-20026E-007 ・最大トルク22Nm　・中空径80mm　・高さ45ｍｍ ○耐環境性、メンテンス性向上 電動機の回転力を減速機等のメカ機構を介さずに、 直接駆動対象に伝達することができる為、クリーン環境での使用に最適。 ○1,000倍以上の高イナーシャ比対応 ○自由度の高いカスタマイズ対応も可能 面振れ/軸振れ高精度対応、ビルトイン対応、...

メーカー・取り扱い企業： シンフォニアテクノロジー株式会社 (旧)神鋼電機

アーク溶射装置『ARC-150/S500』

高い生産性と簡易性・信頼性を誇るアーク溶射装置！

タル表示が付いた最新の500A電源装置 ■10ｍと20ｍのサプライパッケージ ■50ｍまで延長させることができる延長サプライ ■MIG・硬板リール・ドラムディスペンサー ■耐久性のある新型の駆動装置とローラー ■新型のコンタクトチップ＝より高い電流での信頼性 ■流量計には、離れても容易に判る大型の指示器がある ■100％の負荷サイクル＝信頼性と生産性 ※詳しくはカタログをご覧頂...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

OLED恒温恒湿環境評価装置　ELS-100A

有機ELディスプレイデバイスを恒温恒湿環境下で発光させて、輝度及び発光…

【装置概要】 チャンネル数：４チャンネル、トップエミッション／ボトムエミッション兼用治具 駆動条件：定電流制御 輝度測定：コニカミノルタ製輝度計 温湿度設定範囲：温度　＋15℃～＋85℃（設定0.1℃単位） 　　　　　　　　湿度　30～95%RH（設定1%単位） 電源：　100Ｖ／1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

±0.2mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 センサ 赤色LED透過式センサ ウェーハ保持方式 ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 クリーン度 0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時） 駆動方式 小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) ユーティリティ 電源：DC24V±10％ 2A...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

定量ポンプ防爆型（ふっ素樹脂PTFE製）

耐薬品性、定量性に優れた、エアー駆動によるふっ素樹脂PTFEベローズポンプです。 ■液体に最適 ■自吸式 ■定量性０．５％ ■運転音がきわめて低い ■防爆型、引火性流体に最適 ■独特なふっ素樹脂PTFE被覆整...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

良く、結露しにくい 　■寸法精度・耐振動性・耐剛性にすぐれ、自動化に対応 　■ケース主要部品にアルミ材を使用 ◎クリーンケース 　■HEPA装置を搭載し、外部電源、または専用バッテリーで駆動 　■清浄度クラス100以下を実現 　■静電気除去装置「イオナイザー」を装備 ◎第6世代からの大型基板非接触搬送ケース 　■ガラス基板を非接触で搬送できる 　■振動吸収パレットにより、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

フレーム溶射装置『MK66E-PC』

外部の自動装置と連動して生産を停止することが可能！分散型I/Oがついた…

■ワイヤー径は1.5～4.76mm ■非常に高い信頼背の為に分散型I/OがついたPC制御 ■タッチスクリーンHMI（オプションとしてキーボードがある）とマスフローガスボックスと 　小型の電気駆動ガンから構成 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

【配管自動切換装置】ストレートタイプ

まだバルブで切換えてますか？ホースや配管切換作業の自動化を特許技術で実…

先端に自動着脱用のコネクタ（カプラ）を取付けたユニットをX方向、Y方向に駆動させることで、任意の配管に接続します。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空対応 マイクロリニアアクチュエータ ＜MLA＞

真空度（：到達 5×10-4Pa）対応の超小型アクチュエータです。 【特長】 　◇ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決め 　◇超小型！ボールペンや単４電池よりも小さい [仕様]　 　外形サイズ：　Φ８×Ｌ３５［ｍｍ］ 　ストローク：　５［ｍｍ］　※カスタマイズ出来ます ⇒...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

枚葉式スピンスプレー洗浄装置　SRC-15001

2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

×H500 ○構造：鉄フレームに防錆塗装後 PVC張り ○蓋：透明 PVC　手動開閉 ○ウエハー受台：材質 PVC　真空吸着又は外周ピン受け ○流し：PVC ○ノズルアーム：1本　モーター駆動　スイング動作 ○メガソニック：950kHz　60W ○スピンモーター：ACサーボモーター　400W ○回転数 →メガソニック時：0～500rpm →スプレー洗浄時：0～500rpm →...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

FOUPロードポート『TAS450』

ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構…

3mm（BOLTS インターフェース面より） ・重量：115kg（マッパー以外の各種オプションを含まず） ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ：Hold Down Feature（エア駆動） ・FOUP ドア保持：真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置：BOLTS インターフェース面より254mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター

小型サーボプレス（1ton)

業界初、新小型サーボプレス機。ストローク長とラムスピードは３〜６０ｍｍ…

す。 ストローク長とラムスピードは３〜６０ｍｍの範囲で任意に設定ができます、常用ストローク長を短く設定すればメンテストロークもより多く取れますので金型内の清掃もやりやすくなります。 ラム駆動はアンダードライブ、ラムガイドは高剛性の４本ガイドポスト方式を採用していますので開口部が広く、送り装置や付帯設備の取付にも有利で金型の脱着も容易にできます。 制御にはシーケンサーを使用していま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

ウエハ移載機

ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機

●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへの移載搬送も確実で、化合物ウエハのような重量物でも正確かつ安全に移載します。 ●オプションとし...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

【半導体製造装置関連】インプリント装置

モールドをワークに転写する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術…

方法 抑え部品により機械的に固定可能とすること レプリカモールド 材質 PDMS熱可塑性樹脂 サイズ φ１２．５mm 固定方法 押さえ部品により，機械的に固定可能とすること 転写機構部 駆動源 パルスモータ 荷重センサ 圧電素子 (分解能1 N) 荷重 最大 １kN まで設定可能とすること 荷重設定 パラメータ入力 （最大１KN） 加圧分解能 0.1 μm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

インクジェットＤＰＮヘッド制御機器１％精度対応

インクジェットＤＰＮ吐出制御による１％精度ヘッド制御を実現しました。

コニカミノルタ製ＤＰＮヘッド駆動基板です。ＫＭ２５６ＬＮＢ－ＤＰＮ・ＫＭ１２８ＳＮＧ－ＭＢに対応する２種類の基板があります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・ドライブ

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性 超音波モータ ＜US36＞

真空非磁性対応の回転式超音波モータ（ＵＳＭ）です。 【特長】 　◇真空環境、磁場の影響が気になる環境下の駆動源として使用 　◇自己保持タイプで停電時の安全対策に適したモータ 　◇エンコーダを装着することで高精度な位置決めも可能 ⇒詳細はダウンロードからお問い合せください。 ⇒非磁性対応品に関す...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

MH-1000　マルチワイヤーソー

●高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式 ●固定砥粒のた…

本装置は、精密加工技術を生かして素材を薄く高精度に切断する装置です。ワイヤー駆動２軸、トラバース２軸、ワーク上下１軸の計5軸ACサーボモーターを使用しており、水晶、セラミック等さまざまな素材を切断できる小形専用機です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

『中古部品買取・販売／リファービッシュエンジニアリング』のご紹介

約8万点の中古部品在庫を保有し、最短即日出荷。半導体・FPD製造装置の…

す。 今回は当社で実績のある『中古部品の販売』と 『リファービッシュエンジニアリング』についてご紹介いたします。 【中古部品の販売】 ■約8万点の部品在庫を保有 （表示機器、真空・駆動系・制御系パーツ、付帯機器、ポンプ、計測器など） ■最短で即日出荷が可能 ■生産終了品や新品の部品も提供可能 ■海外からの専用品の取り寄せに対応 【リファービッシュエンジニアリング】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

ＳＬＰ小型サーボプレスシリーズ

プレス加工やトムソン加工に最適なサーボプレス

ＳＬＰサーボシリーズは ０．３、１、２、３、５、１０ｔｏｎの 各タイプをご用意しております ・サーボモーターによる、ボールネジ駆動のため 　小型、低騒音、省エネ設計 ・1ショット内でスピードを可変することが可能 ・プレス機精度　ＪＩＳ特級精度を確保 ・コンパクトなので卓上での試作作業が可能 （ＳＬＰ３００） ・タッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…

イト処理φ300 →回転モーターACサーボモーター3.3KW ○アウターカップ：φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構：洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム：ステッピングモーター駆動　ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気：バブリング機構 ○乾燥：真空乾燥5×10-4（TOrr） ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

全自動FOUP洗浄システム『UPC-12500 SORA』

高品質・高スループット・省エネ！SEMI規格はもちろん、ULやCE規格…

水タンク満水時） ■電源：3相AC 200V±10％　定格26.0kVA ■純水：15L/min ■CDA1（乾燥用）：4,000～4,500L/min　0.7±0.05MPa ■CDA2（駆動用）：500L/min　0.7±0.05MPa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ヒューグルエレクトロニクス株式会社

マイクロ　エアモーター

超小型エアー駆動モーター

空気、窒素、その他不活性ガスにて最大1.1Mpaまでの圧力で使用可能。 ■アルミとステンレス構造による精密エアモータが、確実な動力源と高い製品寿命を生む。 ■先進的なローターブレードと高度に磨き上げられたシリンダーにより連続使用が可能。 ■最善なバランス位置に配置されたローターが、高精度ベアリングの摩擦と磨耗を極限まで排除。 ■自己冷却効果により、連続使用による過熱なし。 ■汚染、湿気や...

メーカー・取り扱い企業： 明友エアマチック株式会社

紫外ウエハースクライビング装置『ULTRA SCRIBER』

高速加工による高効率！LD励起固体UVレーザー搭載のレーザーシステム

【仕様】 ■レーザ： 固体レーザ355nm ■最大加工範囲：4インチ ■X-Y-Z・θ四軸プラットフォームシステム ■高速四軸駆動制御システム ■同軸画像CCDシステム ■グラナイト定盤防振装置 ■加工能力：9pcs/h-32pcs/h（結晶粒子サイズによる） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デルファイレーザージャパン

エコー全自動スキージ研磨機

シルクスクリーン印刷に使われるゴム製スキージの研磨機

作画面はタッチパネルで設計もシンプル。高機能を 　簡単な操作で実現します。 3)循環式水槽を内臓しており、仕上げ水の給排水も不要。 4)研磨部分はフルフェイスのカバーがついた安全設計。 5)駆動レールは防水防蝕タイプを採用。スムースな動作を 　お約束します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 江口孔版株式会社