『省エネ対策用 遮熱断熱シート』

PRシートを用いて省エネ対策を！目的に併せて選択できます

当社は、施工が簡単な遮熱断熱シートを取り揃えています 熱を逃がさず熱効率を高めて暖房等の電気消費量を削減したり 外からの輻射熱を遮断し冷房等の省エネ化を実現したりできます 【製品のご紹介】 ＜輻射熱を遮断する製品＞ ■建物屋根裏の遮断 製品例：マーモルサーモDAG-020、エア断熱8 反射率の大きいシートを屋根裏に貼り、輻射熱を反射し建物内の温度上昇を抑制 ■建物窓・出入口の遮熱 製品例：アルミ...

メーカー・取り扱い企業： 菊地シート工業株式会社

79GHzミリ波レーダー方式 非接触型振動センサー

PR悪環境(高温等)でも影響なし！40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計…

当製品は、79GHzミリ波レーダー技術を応用した レーダー信号処理プロセッサー内蔵の振動センサーです。 内蔵レンズ付きアンテナにより狭範囲の測定が可能。 40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計測ができます。 0.03μm(pk-pk)程度の極微小変位計測能力があります。 また、非接触計測なので機械共振の心配がありません。 【特長】 ■0.03μm(pk-pk)程度の極微...

メーカー・取り扱い企業： サクラテック株式会社

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…

『TD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な 集積化ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております 　・専用のクリーンルームにて生産しています 　・高精度を実現します 　　厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします 　・高温炉内温度を正確に測定いたします 　・最先端装置に搭載されています...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバルブを使用しているが、駆動部が高温に耐えられず、ボディ部のみをヒーティングしている。ボディに装着したヒーターの熱が駆動部側から放熱してしまい、困っている、、、 といったお悩みはありませんか？ KITZ SCT では流路のお悩...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 ◎適応 １．微細ウエハチップ ２．微細レンズ ３．モールドレンズ用プリフォーム ４．高温ウエハ ５．水和工程の含水したソフトコンタクトレンズ ６．柔軟フィルム（バイオフィルム） ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高220℃までの 高温流体に使用可能。 工場出荷時に全数Cv値を調整しており、使用時のCv値変動率が少なく 安定したガス流量が得られます。 【特長】 ■高速開閉・高い応答安定性　＃高速応答 ■高温流体に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

特殊構造採用の電気ヒーター　気体加熱器『クリーンホット』

断熱材不要で高効率、クリーン加熱が可能なヒーター！気体加熱器「クリーン…

断熱材不要なためクリーンルームなどの環境で使用可能。 ヒーター容量（W）に応じて6種類のラインナップから選択可能です。 製造業現場においての使用用途としては 『空気や窒素ガス等不活性ガスの高温加熱』 『ウェットクリーニング後の水分除去』 『半導体、液晶パネル基盤の熱処理工程の不活性ガス加熱』 など幅広いところで使用可能なコンパクトで低価格な電気ヒーターです。 【特長】 ■特...

メーカー・取り扱い企業： 新熱工業株式会社 本社

『事例』　高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できる…

バルブ全体をヒーティングしたい、ハンドルを付けたまま恒温槽に入れられるバルブ、ガス量の安定と再現があるバルブ欲しいなど、お困りごとはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitzsct.com/con...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

高温ホットプレート「PA4007型」

最高温度400℃！小型、高温のホットプレートです。

高温ホットプレート「PA4007型」は、全体サイズが158×106mmと小型のため、様々な場面でご使用頂けます。 また、最高で400℃まで加熱出来ますが、温度分布も±0.8%と大変優れています。 MSAファクトリーのデジタル温度コントローラ PCCシリーズとワンタッチで接続頂けます。 【特徴】 ○最高温度：400℃ ○プレートサイズ：70×80mm（カスタマイズ対応可） ○MSAファクト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）

高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミ…

BN）』は、高い電気絶縁性と優れた熱伝導性を併せ持つ異方性の熱分解窒化ホウ素です。 色々な形状に蒸着製造または薄板などへの加工が可能。軽量で化学的耐性があり、耐熱衝撃性に優れた特性を有しているため高温での用途に適しています。 真空、半導体、エレクトロニクス、冶金、薄膜形成、蛍光体などで幅広く使用されています。 【特長】 ■無毒（人体に無害） ■高純度（半導体製造にて実績） ■低...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

瞬間真空高温ヒータープレス

ハイテク・ナノテク・新素材の研究試験機として高精度・手頃な価格で

■研究・実験・開発用向け瞬時高温真空プレス コンパクトサイズで場所をとらない為研究室などに容易に設置できます。 ■最大400℃ 常用温度350℃（最大400℃） ■瞬時真空 1kPaを10〜30秒の短時間で真空引きできま...

メーカー・取り扱い企業： ミカド機器販売株式会社

『JBR』スプリング内臓PTFEロッドシール

耐食性スプリングを内蔵したテフロン(PTFE)の万能なロッドシール！低…

ホライト(Hallite)『JBR』は、JIS B2401のＰ番溝に対応したスプリングロードタイプの片圧用ロッドシールです。 U形状のシールジャケットにV形状の耐食性メタルスプリングを内蔵した構成です。　 無負荷時または低圧時はシールリップに必要なスプリング荷重を与え、適切な接触面圧を生み出します。作動圧力が増加すると、U形状エリアでシステム圧を受けて高圧時のシール性に作用します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・オー・テック 本社

『JBP』スプリング内臓PTFEピストンシール

耐食性スプリングを内蔵したテフロン(PTFE)の万能なピストンシール！…

ホライト(Hallite)『JBR』は、JIS B2401のＰ番溝に対応したスプリングロードタイプの片圧用ピストンシールです。 U形状のシールジャケットにV形状の耐食性メタルスプリングを内蔵した構成です。　 無負荷時または低圧時はシールリップに必要なスプリング荷重を与え、適切な接触面圧を生み出します。作動圧力が増加すると、U形状エリアでシステム圧を受けて高圧時のシール性に作用します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・オー・テック 本社

『VSE』スプリング内臓PTFE外圧用面シール

耐食性スプリングを内蔵したテフロン(PTFE)の万能な外圧用面シール！…

ホライト(Hallite)『VSE』は、スプリングロードタイプの外圧用シールです。 U形状のシールジャケットにV形状の耐食性メタルスプリングを内蔵した構成です。　 無負荷時または低圧時はシールリップに必要なスプリング荷重を与え、適切な接触面圧を生み出します。作動圧力が増加すると、U形状エリアでシステム圧を受けて高圧時のシール性に作用します。 標準材料はPTFEを母材とした高機能シ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・オー・テック 本社

テフロン フッ素樹脂　PTFE　PFAの違いとは？　

【資料進呈中】テフロン フッ素樹脂「PTFE」と「PFA」樹脂やコーテ…

か、または、付着しにくい性質のことです。 ■撥水・撥油性 表面に水や油がついても良く弾きます。よって汚れがつきにくく簡単に洗浄できます。 ■耐熱性・耐寒性 樹脂の中では耐熱性が高く、高温（260℃）に耐えます。また－260℃の低温にも耐えます。 ■低摩擦性 滑りやすく低い摩擦係数をもっています。また、潤滑性に非常に優れています。 ■耐薬品性 酸やアルカリ等の化学薬品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

テフロンとフッ素樹脂の違いとは？

混同されやすいテフロンとフッ素樹脂の違いについて詳しく解説します。

か、または、付着しにくい性質のことです。 ■撥水・撥油性 表面に水や油がついても良く弾きます。よって汚れがつきにくく簡単に洗浄できます。 ■耐熱性・耐寒性 樹脂の中では耐熱性が高く、高温（260℃）に耐えます。また－260℃の低温にも耐えます。 ■低摩擦性 滑りやすく低い摩擦係数をもっています。また、潤滑性に非常に優れています。 ■耐薬品性 酸やアルカリ等の化学薬品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

フッ素樹脂とテフロンの違いとは？

フッ素樹脂とテフロンに違いについて解説します。

、付着しないか、または、付着しにくい性質のことです。 ■撥水・撥油性 表面に水や油がついても良く弾きます。よって汚れがつきにくく簡単に洗浄できます。 ■耐熱性・耐寒性 樹脂の中では耐熱性が高く、高温（260℃）に耐えます。また－260℃の低温にも耐えます。 ■低摩擦性 滑りやすく低い摩擦係数をもっています。また、潤滑性に非常に優れています。 ■耐薬品性 酸やアルカリ等の化学薬品に侵されたり...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

マントルヒータ　Mantle heater

配管部品の均一加熱を実現！CVDエッチング・アッシング装置に適していま…

ご相談ください。） また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。 【特長】 ■最高使用温度400℃（高温用は別途ご相談） ■被加熱物との良好な密着性を確保 ■発熱線を高密度に実装し、温度均一性を向上 ■クリーンルームでの使用にも対応 ■立体形状のヒータが製作可能 ■断熱材と一体型のヒータで省...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

卓上ホットプレート 2モデル ＜250℃仕様/350℃仕様＞

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

ロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精度な面内温度均一性。 ■タイマー制御により、ウェーハ間差...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

VEECOフィルターシリーズ製品はＶＥＥＣＯ　ＭＯＣＶＤ装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２ シリーズは2回ろ過プロセスを採用、ろ過チャンバー...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどが...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

リフロー炉リアルタイム計測

リフロー炉をはじめ、高温炉内の温度プロファイルをリアルタイムでパソコン…

●リフロー炉をはじめ、高温炉内の温度プロファイルをリアルタイムでカラー表示できるプロファイルアナライザーです。 ●測定開始と同時にデータ送信機から無線でデータを送信し、受信機が受信したデータで温度プロファイルを描き始め、一...

メーカー・取り扱い企業： マイクロコム株式会社

高分解能　渦電流センサ

高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍！高分解能渦電流変位センサ

高分解能で真空・高温環境にも対応！ 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります！ 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたL...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社

『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温…

> 概略 < ・お困りではありませんか？ 除害装置前段での副生成物対策 ・⾼コンダクタンスの配管部材は何故良いの？ ・CVD排気ラインの改善により、ダウンタイム削減ができる！ ・流路を高温（180℃）、かつ均一に加熱する方法とは？ 掲載されている製品・技術： #半導体製造用部材　#空圧 ボールバルブ　#手動 ボールバルブ　#アイソレーションバルブ　#Ｌ型真空バルブ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

APIEZON アピエゾン 真空グリース

Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの…

分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

大容量・小型　ステンレス製電磁弁

安価で高品質の2・3・4WAY電磁弁

々の流体に対応可能なシート、 　 シート材質をニーズに合せて提供できる 　 （材質：テフロン、バイトン、パーフロロエラストマー、シリコン等） ■耐腐食性、シール性に優れている ■スチーム等の高温仕様には、Hコイルを採用し、内部洗浄処理等で対応可能 ■詳細は最下部のアンケートからお問い合わせ下さい■...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京興業貿易商会 本社

フッ素樹脂熱収縮チューブ

【フッ素樹脂熱伸縮チューブ】耐熱性！耐薬品性！電気絶縁性！高周波特性

用されています。 ＝収縮方法＝ ■被覆物に収縮チューブをかぶせて、熱風（ホットエアーガン）で均一に加熱します。 ■FEP熱収縮チューブはホットエアーガンで簡単に収縮するので、高温炉などを必要としません。 ■100〜200℃の温度範囲で収縮させることができます。 ■径方向の収縮率は150℃で25〜30％です。 □■□■□■□■□■□■□■□■□...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニバーサル

高圧対応ニードルバルブ（グローブバルブ）　『H-99シリーズ』

ステンレス316製、高温・高圧対応ニードルバルブH-99シリーズ。耐圧…

H-99シリーズは、頑強な設計・構造を持つ汎用ニードルバルブ（グローブバルブ）です。ステンレス鋼製で幅広い用途に対応し、高圧（最高69MPa）および高温への耐性をそなえております。特に過酷な環境、高圧サンプリングシステム、高圧遮断システムやテストスタンドにご利用頂けます。また、3種類のステムをご用意しております。（レギュレーティングステム、Ｖステム...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

キャビテーションメーター（超音波強度測定器）

キャビテーションメーター（超音波強度測定器）

トに設計されており、携帯が便利で色々な場所での測定が可能です。リアルタイムで超音波洗浄機内の超音波強度（音圧）の相対値を測定できます。電源不要で使い勝手がよく、あらゆる場所での測定ができます。本器は高温液体中の超音波強度も測定できます。 低価格。測定周波数範囲：20〜60ｋHz（or 20〜120ｋHz）、プローブ寸法：Φ12.5ｍｍ、Ｌ＝400ｍｍ...

メーカー・取り扱い企業： 新科産業有限会社

SUS310S材 ステンレスベローズ

温度が勝つか、技術が勝つか！耐熱性を持ち、非常に柔らかく大きな伸縮性

三元ラセン管工業が取り扱う、『SUS310S材 ステンレスベローズ』を ご紹介します。 SUS316Lよりも、高温耐熱性を持つステンレス材を使用したベローズです。 インコネル(INC625)材より耐熱性は劣りますが、安価で最高温度700℃まで 使用することが可能。 独自のロール成型と薄板を使用して製作...

メーカー・取り扱い企業： 三元ラセン管工業株式会社

株式会社九州日昌　事業紹介

電熱機器のエキスパートとしてお客様の加熱工程をトータルサポート

と比較し 　良好な温度分布にて製品の品質向上に貢献 ○その他の工程 →LED光束維持試験装置・ホットプレス ○自動車関連をはじめとした様々な製造工程 →大型加熱熱板・金属ブロック加熱装置・高温加熱装置・高温灼熱ブロック →熱関連商品（各種ヒータ・熱関連資材・温度制御機器・規格品ヒータ） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社九州日昌 東京営業所

装飾クロムメッキ

光沢と美感性、高い耐食性を要求する場合のメッキ加工

り、アクセサリーでも採用されるほど美しい光沢を放ちます。その高級感や清潔感によって、美術館で使う器具や車のエンブレム、医療の現場によく採用されています。 ・熱反射性が高い メッキした製品は、高温の状態で長い期間置いておくと、酸化・変色します。 しかし、装飾クロムメッキは、熱反射性が高く酸化反応が遅いため、条件があるものの高温の状態で置いておいても酸化・変色がありません。 ・耐食性が...

メーカー・取り扱い企業： 三和メッキ工業株式会社

半導体の検査工程　プローブカード用クリーニングシート

半導体のウェハー検査工程に！プローブカード用クリーニングシート

ート ■□■特徴■□■ ■摩耗が少ないクリーニングが可能 ■カンチレバー、バーチカルタイプ、MEMSタイプ その他カードの 種類を選ばず、様々なタイプの針先のクリーニングに対応 ■高温使用に対応したタイプもラインアップ ■ウェハー、研磨板への貼付け可能 ■□■ラインナップ■□■ ■針先端研磨用　PET TYPE ■針先端低ダメージ研磨用　PF3 TYPE ■針先...

メーカー・取り扱い企業： Mipox株式会社

【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃

CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現…

N（インコネルプレート）：φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN（BNプレート, Moカバー）：φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃（SH-BN）, 850℃（SH-IN） ◎ 短時間昇温 ◎ 面内温度分布 ±2%以内 ◎ 制御精度・再現性±1℃ ◎ 低価格 ◎ 短納期（標準約2週間 *フランジ付き, 回転...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【アルミ表面処理　問題解決事例】半導体製造装置へ異物混入防止

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発…

製造工程中に使用するアルミニウム合金製の治具やボルトなどの締結部品は アルマイト処理をする場合がありますが、高温になると皮膜がクラック・欠落 してしまう問題があります。 350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス 硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施すことで、...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

【アルミ表面処理　問題解決事例】IC 検査治具への耐熱性絶縁膜

コスト削減や形状の自由度UPで作業性向上！高耐電圧を実現したクラックレ…

きる ようになります。 【課題・背景】 ■セラミック溶射や絶縁コーティング等はコストが高い ■治具の形状に制限もあり、熱伝導率低下などの問題も生じる ■アルマイト皮膜は絶縁性を持つが、高温域ではクラックしてしまい 　信頼性に欠けてしまう ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

熱処理加工技術『HIP処理』

20年以上の実績とノウハウがある真空熱処理サービスです。

「HIP処理（熱間等方向加圧）」 はアルゴンガスなどを圧力媒体とし、 1000kgf/cm2以上の圧力と1000℃以上の温度との相乗効果を利用して 加圧処理する、先端技術です。 高温と高い等方向加圧を利用することで高付加価値製品を実現いたします。 近年では、金属積層造形品の内部欠陥を除去する方法としても注目されています。 【HIP営業品目】 ■鋳造欠陥、焼結欠陥の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東都冶金 本社工場

特殊炭素製品　半導体製造用プロセス装置

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

【特徴】 ○熱伝導性及び導電性が高い ○高温時にも強度が高く、高温発熱が可能である ○化学ガス及び高温での腐食に強い ○自己潤滑性がある ○熱膨張が小さく、熱衝撃に強い ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

【セラミックスパーツ】 スペーサー・ワッシャー・ブッシュ・ネジ類

『セラミックスパーツ』は、耐熱性、耐薬性、非磁性などに優れ、高い機能性…

セラミックスはステンレス鋼などの金属より軽量でありながら、高い耐薬性（耐腐蝕性）、摩耗性、絶縁性を有し、1,000度以上の高温環境でも使用可能な部品です。 電子部品、光学部品、医療部品、半導体部品などの幅広い分野にて採用されており、高い機能性を必要とする絶縁部品、耐熱部品、 耐食部品として部品としてピッタリの製品でござい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社廣杉計器

アーク溶射装置『ARC-150/S500』

高い生産性と簡易性・信頼性を誇るアーク溶射装置！

、柔軟性のある操作で非常にバランスがとれた制御 が可能な吐出を提供するアーク溶射装置です。 防食用途に設計されており、亜鉛・アルミニウム・亜鉛アルミニウム合金を 溶射します。 また、高温合金のような、より大規模な用途でよく使用される他の材料も 溶射することが可能です。 【特長】 ■500Aの容量＝高い生産性 ■クローズループ電流＝簡易性・信頼性 ■2.3ｍｍと2.5ｍ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

セントロサーム　超高温バルクアニール炉

超高温熱処理と優れた温度均一性の実現により、ブール・インゴット、ウエハ…

ワイドバンドギャップ半導体デバイスの歩留まりを向上するためには、応力に起因する欠陥や転位を最小限に抑える必要があります。その手法の一つとして、半導体結晶の超高温熱処理があります。c.CRYSCOO HTA高温アニール炉は、ワイドバンドギャップ半導体のバルク結晶からデバイスまでのバリューチェーンにおいて生産性を大幅に改善させるために開発されました。優れた温度...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

前工程の歩留まり改善が期待できる真空・耐熱用 グリース

LOGENEST LAMBDA AEP-4は真空かつ150℃以上の高温…

「LOGENEST LAMBDA AEP-4」は 下記のような特徴があり、コンタミ改善に取り組まれている方や 大切な機械をメンテナンスしている方へ推奨しております ■ 特殊フィルム製造の前工程（成膜、エッチング等）の搬送部（ベアリング等）やシール部（Oリング等）に最適なグリースです ■ 特徴は、従来のフッ素グリースより劣化を抑え、ロングライフが期待されます 【用途】 各種下記前...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

遠赤外線特性をもつセラミック皮膜

乾燥・加熱したい製品にあわせて溶射するセラミックスを選択できます。 …

高温の炉内などでは塗布のみの塗料では皮膜がすぐに剥がれてしまいます。 溶射されたセラミック皮膜は高温にも耐久性が高く、長期間に渡り剥離せずに遠赤外線を放射することができます。 製品サイズは最大3 m角までの大型ヒーターまで施工可能です。...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ技研工業株式会社 本社・埼玉工場

高真空・耐熱グリースLOGENEST LAMBDA TKM-03

半導体製造装置内で発生するコンタミを低減する高真空・耐熱用グリース …

高温環境下にて、優れた耐熱性能を示します。 また、真空環境下でも、優れた低アウトガス性能を示します。 実績ございます。 詳細情報はお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

AMX社製　シンタリング装置　

特許取得済みのマイクロパンチプレス搭載シンタリング装置。異なる高さのダ…

シンタリングは高圧と高温を用いるダイアタッチテクノロジーです。 AMXのX-sinteringは特許取得済みのシンタリングプレス装置で、 メンテナンスと装置の停止時間を削減します。 AMXのシンタリング装置で最も特長...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

洗浄することにより、ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツールです。 RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 SPM → オゾン水 ・完全室温洗浄の実現(高温プロセス不要) ・マスク上の薬液残留量減少 ・廃液処理の安全化(ISO14000対策) SC-1 → アンモニア添加水素水 ・MoSiハーフトーンマスクのエッチング防止 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

焼き付け塗装剥離洗浄システム

今まで不可能だった焼き付け塗装や塗膜の堆積したハンガー治具等の、剥離洗…

本システムは、特別に開発された高温洗浄機とシンナー等の 人体及び環境への害となる毒性物質を一切含有しない安全な 植物性洗浄液ペイントソルブ-Wを使用し、今まで不可能だった 焼き付け塗装や塗膜の堆積したハンガー治具等の、剥離洗浄...

メーカー・取り扱い企業： インフィニティ株式会社

ESD/Lu・CDM・GL試験

熊本事業所にて承っております

可能ピン数：1024ピン 　◇印加電圧　　：　0～±4000V 　　　　　　　　　（5Vステップ) ゲートリーク試験 【適合規格】　◇AEC-Q100-006　 【試験内容】 高温下でICに高電圧を加えることが でき、表面実装型のICのゲートリーク （電気的、熱的誘導による寄生ゲート 　漏洩）をテスト、高温下に置かれた 　ICに電界をかけ、ゲートリーク発生　の有無を調...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レスター 厚木事業所,熊本事業所,大分事業所,鹿児島事業所

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が 　　スムーズです。 　◇真空環境下以外でも、高温環境や放出ガスを嫌う環境などで使用 　　にもお薦めです。 [仕様] 　外形サイズ：　Ｗ１８８×Ｌ１８８×Ｈ３８［ｍｍ］ 　ストローク：　２５［ｍｍ］　ＸＹ軸共 ⇒詳細はダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

PP(ポリプロピレン)樹脂プレート

タキロンPPプレートは、一般的に120℃までの高温に耐えられ、耐薬品性…

・硬質塩ビプレートと比べ、優れた耐熱性を持ち、使用温度範囲も広く設定できます。 ・酸、アルカリ、ガスなどの広範囲な薬品に対して優れた耐薬品性を有しています。 ・プラスチックの中でも比重の軽い材料で、装置の軽量化がはかれます。 ・熱曲げ、穴開け、切断、溶接が容易です。 ・食品衛生法(厚生労働省告示201号)適合品も揃えております。...PP(プレス品)RPP/PPU(連続プレス品)PPE(押...

メーカー・取り扱い企業： タキロンシーアイグループ タキロンシーアイ株式会社

【課題解決事例集】半導体製造装置

課題解決のヒントとなる技術情報を多数紹介！特殊対応事例なども掲載

この小冊子では、お客さまの課題解決のヒントとなる技術情報を 多数紹介しています。 装置・製造工程・環境から見つかる課題解決事例をご紹介。 その他、真空・高温・薬品の付着など特殊環境への対応を装置ごとに 解説しており、様々な視点から課題解決をお手伝いいたします。 【掲載内容】 ■業界トレンドとNBKの取り組み ■装置から見つかる課題解決事例 ...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

可動真空チャンバー ＜ボディフレーム＞

ご使用の開放プレス機に装着、低コストで真空プレス機に転用します。

します。 　製品の酸化不良を防止、高品質化を実現し歩留まりも向上します。 ■耐熱性 　BFS（角形）では最高260℃まで使用可能です。BFC（丸形）なら最高400℃まで使用可能です。 　高温下においても長時間にわたって性能を維持します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ

大型高精度SiCプレートによる改善事例

最大□800ｘ40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置…

炭化ケイ素（SiC）はJFCにお任せください。 【SiCの特長】 ●他のファインセラミックスと比べ、高温域（1000℃以上）での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性に優れる ●共有結合性が強いため、ファインセラミックスの中では最も硬く、耐食性に優れ、液中での摺動特性が良好 ●メカニカルシールやケミカル...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-2300』

低温で高い結晶性薄膜を得ることが可能！価格を抑えたプラズマ成膜装置

膜装置です。 10-30eVの低エネルギーに制御された高密度イオンの照射下で 薄膜が成長するため、原子レベルの平滑性で緻密・高品質な薄膜が 形成されます。 イオンアシスト効果により、高温の加熱を行うことなく酸化膜、 窒化膜などの化合物薄膜を形成できるほか、低温で高い 結晶性薄膜を得ることも可能です。 【特長】 ■固体ソース ECRプラズマ成膜装置の基本機能のみを装備 ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

ダブルフェルール継手(くいこみ継手）『LET-LOKシリーズ』

品質を落とさないでコスト削減を実現。ステンレス316製ダブルフェルール…

フェルール継手(くいこみ継手）。ねじ込みや溶接のような作業者のスキルに依存する継手ではないため、簡単・安全に取り付けできトータルでのコストダウンと工期短縮が期待できます。 ＜特長＞ ・高圧、高温、ショック、振動、真空などにおいて、高性能のチューブ継手の要求に対応 ・くいこみ継手では圧倒的シェアを持っているS社継手との互換性をドイツTUVにて確認ずみ。既存の資産を活かしながらコストダウン可...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに！シリカコート

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金…

な基材に対応でき、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの特性が得られます。 例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。 また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。 先進の半導体製造プロセスでは、微量の金属汚染が製品品質や歩留まりに大き...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

ボールバルブ（ボール弁）　『H-800シリーズ』

20MPa（最大）対応ステンレス316製、高性能コンパクトワンピースボ…

ルで幅広い温度範囲で使用できる設計になっています。一体化されたボディ設計のため、シェルリークの可能性が低減されています。ご希望により空圧／電動アクチュエーターの取り付けが可能。 ＜特長＞ ・高温（max:149℃）対応 ・高圧（max：20MPa）対応 ・3方弁をご用意 ・3方弁において、通常の流れ方向と逆方向の流れ方向でもご使用になります 　（逆方向からの流入の場合は最大10MP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン