リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

MagiCarrierクリーニング方法

MagiCarrierの表面の汚れ・異物のクリーニング方法をご紹介しま…

当社が取り扱う微小部品・基板搬送キャリア「MagiCarrier」の クリーニング方法をご紹介します。 表面の汚れの除去の場合、防塵ウエスに用意した洗浄液（無水エタノール・ 工業用エタノールなど）を十分に浸します。 次に、当製品の表面をウエスで押さえて汚れをぬぐい取ります。 穴周りや粘着樹脂の端面は、樹脂へのストレス軽減の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社京写