• 高性能充填機『4軸オーーーガ』 製品画像

    高性能充填機『4軸オーーーガ』

    PRまるで、充填機界の4WD!計量フィードバック方式により、精度が向上しま…

    『4軸オーーーガ』は、パワフルでスピーディな高性能充填機です。 容器に均一な充填が可能で、タッチパネル採用により、操作性・ 視認性も向上。 またオプションとして、主軸 スクリューWC溶射や、スクリュー先端 ゲート内面コーティング、容器高さ検知機能などをご用意しております。 【特長】 ■大幅にスピードアップ ■よりコンパクトに ■タッチパネル採用による操作性・視認性向上 ...

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    メーカー・取り扱い企業: 讃光工業株式会社

  • 【守衛の無人化・省人化を実現】セキュリティゲートシステム 製品画像

    【守衛の無人化・省人化を実現】セキュリティゲートシステム

    PR守衛の無人化・省人化は、当社の【セキュリティゲートシステム】で解決でき…

    工場や施設の出入口で車両や人の出入りを管理する守衛業務。近年、人手不足による人員の確保が問題視されております。少ない人員で数ヵ所の出入口を管理することは、時間と労力を要します。そこで、出入口の入退管理を機械化することで、少人数での管理を可能にするだけでなく、出入口のセキュリティを強化することもできます。弊社では人と車の通行をそれぞれ専用ゲートで管理・規制することで、守衛の無人化・省人化の実現をご提...

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    メーカー・取り扱い企業: パブリックシステム株式会社

  • 角型ゲートバルブ 製品画像

    角型ゲートバルブ

    「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ!

    当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイ...

    メーカー・取り扱い企業: ナカンテクノ株式会社

  • 真空ゲートバルブ SERIES 12.1 製品画像

    真空ゲートバルブ SERIES 12.1

    VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

    研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 角型ゲート/インサート MONOVAT 製品画像

    角型ゲート/インサート MONOVAT

    200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

    -ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • PARTICLE-FREEゲートバルブ 製品画像

    PARTICLE-FREEゲートバルブ

    パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

    – ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 高真空ゲートバルブ SERIES 09.1 製品画像

    高真空ゲートバルブ SERIES 09.1

    0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

    0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • コントロールゲートバルブ Series 64.2 製品画像

    コントロールゲートバルブ Series 64.2

    極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

    使用圧力範囲: DN63-200 1 × 10-8 mbar~2 bar (abs) DN250-400 1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: バルブ閉の状態 DN63-200 ≤ 2 bar DN250-400 ≤ 1.2 bar 開/閉動作中 ≤ 30 mbar 第一回サービスま...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION 製品画像

    角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

    開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

    エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1 製品画像

    大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1

    軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

    リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar (≤ 1 × 10 -5 Pa) バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 5 mbar (≤ 500 Pa) 開口サイズ: 100 × 100...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8 製品画像

    大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8

    短い開閉時間による高いスループット

    はステンレススチール 軸シール: 回転軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ≤1 bar バルブ開方向: ≤10 mbar (optional 1 bar) バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6 製品画像

    大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6

    過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

    テンレススチール 軸シール: Oリング軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤1 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s(開口高さ100mm)...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』 製品画像

    ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』

    小型化、軽量化を追及!IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介

    『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求...

    メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社

  • オールメタルゲートバルブ SERIES 48.1/48.2 製品画像

    オールメタルゲートバルブ SERIES 48.1/48.2

    開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

    -頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング...サイズ: DN 16-320mm (⅝“ – 12“) アクチュエータ: 手動式 圧空作動式 複動シリンダー、延長型とコンパクト型 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-Fメートルねじ シーリング技術: ...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • UHVゲートバルブ SERIES 10.8 製品画像

    UHVゲートバルブ SERIES 10.8

    開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

    -潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易 ...サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-L...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 『真空バルブ』総合カタログ 製品画像

    『真空バルブ』総合カタログ

    真空部品に特化したメーカーの各種真空バルブのご紹介

    ーネント製品を設計・製造・販売する 技術サービスに特化した台湾の真空部品メーカー、Htc社の 製品カタログです。 一般産業用から研究開発に最適で長いライフサイクルが特徴の 「UHV小型ゲートバルブ手動式」をはじめとした各種バルブを多数掲載。 また、当社が輸入・販売したHtc社製品は、日本国内の当社工場に おいて修理・アフターサービスを行なっております。 【掲載内容】 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社スプリード 本社

  • 角型ゲートバルブ(超大型) 製品画像

    角型ゲートバルブ(超大型)

    角型ゲートバルブ(超大型)

    10世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。 ...10世代に対応したバルブです。 安定した性能をもち、納入先のお客様よりご信頼をいただいております。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社

  • VAT社ミニUHVゲートバルブ 製品画像

    VAT社ミニUHVゲートバルブ

    真空バルブの世界標準、VAT社のミニUHVゲートバルブです。

    VAT社独自のMONOVAT機構により、ショックフリー、パーティクルフリーな動作で、高真空を保ちます。 軸シールはベローズ、ボンネットシールはメタルを使用しています。...●フランジサイズ:ICF70、NW25KF、NW40KF、NW50KF ●アクチュエータ:手動式、圧空式(複動、単動) ●オプション:リミットスィッチ、電磁弁 ●使用圧力範囲:0.2MPa~10e-8Pa ...

    メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社

  • Lゲートバルブ SERIES 92.0 製品画像

    Lゲートバルブ SERIES 92.0

    半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…

    -パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト...サイズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV ...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2 製品画像

    コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2

    優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ

    Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバル...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0 製品画像

    ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0

    UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

    -潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール...サイズ: DN 16 – 50 mm (⅝“ – 2“) アクチュエータ: 手動式 回転ハンドル付き 圧空作動式 単動シリンダー スプリングによる閉動作(NC) 単動シリンダー スプリングによる開動作(NO) 複動シリンダーによる開閉動作 ボディ材質: ステンレススチール ...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 大型ドアー L-VAT Series 07.8 製品画像

    大型ドアー L-VAT Series 07.8

    優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

    1 × 800 mm~250 × 3000 mm (3.19“ × 31.50“~9.84“ × 118.11“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ゲート材質: アルミニウム シール技術: L-VAT リーク量: ゲート(閉方向) < 1 x 10-7 mbar ls-1(Δp at gate = 0.1 MPa) ゲートにかけ得...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • コスラーズゲートバルブ 製品画像

    コスラーズゲートバルブ

    開口幅400mm~2000mm!第六世代、第七世代基板に対応したゲート

    FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II:昇降用シリン...

    メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社

  • 実験用小型スパッタリング装置 製品画像

    実験用小型スパッタリング装置

    ターゲットを3種取付可能!真空中で基板を自動搬送します!

    行います。 小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。 ~特徴~ ・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。 ・スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブ で仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。 ・ターゲットは3種まで取付可能です。 ・基板は自動回転機構で、設定した順にターゲットの下に移動し、  成膜します。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社富士アールアンドディー

  • 真空装置 基板用平行平板プラズマ処理装置 PC-RIEシリーズ 製品画像

    真空装置 基板用平行平板プラズマ処理装置 PC-RIEシリーズ

    処理可能基板サイズ550×650mm。無廃液化・低ランニングコストを実…

    「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、F系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化,無廃...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • 平行平板式減圧プラズマ処理装置 真空プラズマ装置 製品画像

    平行平板式減圧プラズマ処理装置 真空プラズマ装置

    各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基(親水、親油、密着性…

    て、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理 ○リアクティブイオンエッチング(RIE) ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • 真空装置 平行平板評価用プラズマ処理装置   製品画像

    真空装置 平行平板評価用プラズマ処理装置  

    半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

    チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポン...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • 低価格オールメタルアングルバルブ SERIES 54.1 製品画像

    低価格オールメタルアングルバルブ SERIES 54.1

    (極)UHVアプリケーションの真空プロセス用

    リーク量(バルブボディ、バルブシート): < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar バルブの寿命: ≥ 1,000 サイクル ベークアウト温度: ≤ 300 °C(開、...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • その他各種真空装置 製品画像

    その他各種真空装置

    電子顕微鏡関連装置やガス量測定装置など!当社の真空装置他オーダー品をご…

    仕様】 ■ホルダー保存用マニホールド:6ヶ ■到達圧力:×10^-8Torr ■排気系:ターボ分子ポンプ(200L/sec 50Hz N2) ■ロータリーポンプ(165L/min) ■ゲート弁、補助弁 ■電離真空計、ピラニー真空計、ガス導入バルブ、ベンディングデバイス付 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: アトーテック 株式会社

  • HVA社高真空・超高真空バルブ 製品画像

    HVA社高真空・超高真空バルブ

    高品質・コンパクトな高真空バルブ

    HVA社の高真空バルブ・超高真空バルブは、半導体製造装置をはじめ、研究機器など様々 な分野に対応する多種多様のゲートバルブ、スリットバルブを取り揃えております。...

    メーカー・取り扱い企業: ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

  • バタフライバルブ SERIES 21.0 製品画像

    バタフライバルブ SERIES 21.0

    コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

    -頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能...サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • 高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)Series 26.4 製品画像

    高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)Series 26.4

    高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

    使用圧力範囲 DN 10-50: 1 × 10-8 mbar~ 5 bar (abs) DN 63-80: ~4 bar (abs) DN 100-160: ~2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ開方向 DN 10-50: ≤ 2.0 bar DN 63-160: ≤ 1.2 bar バルブ閉方向 DN 10-50: ≤ 5.0 bar DN ...

    メーカー・取り扱い企業: VAT株式会社

  • ■事業紹介:真空機器販売【真空ポンプ・ベローズ・真空バルブ】 製品画像

    ■事業紹介:真空機器販売【真空ポンプ・ベローズ・真空バルブ】

    真空機器の販売も行っております。真空ポンプ・ベローズ・真空バルブをお探…

    メカニカルブースタ ・ドライポンプ ・ターボ分子ポンプ ・イオンポンプ 等 ◆ベローズ フレキシブルチューブ 成形ベローズ 溶接ベローズ ◆真空バルブ アングルバルブ ゲートバルブ バタフライバルブ 等 ※詳細は、直接お問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: スリーエス株式会社

  • 中古真空装置・機器販売のご案内 製品画像

    中古真空装置・機器販売のご案内

    全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

    ・クライオポンプ  ・油拡散ポンプ等 ■メカポンプ  ・油回転ポンプ  ・メカニカルブースターポンプ  ・ドライポンプ  ・スクロールポンプ等 ■真空バルブ  ・L型バルブ  ・ゲートバルブ  ・バタフライバルブ  ・リークバルブ等 ■関連機器  ・真空計各種  ・マスフロー  ・キャパシタンスゲージ  ・膜厚計  ・液体窒素/オイルミストトラップ等 ■その他...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社グリーンテック 大阪本社

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