有機EL | イプロスものづくり

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

有機EL成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機EL用蒸着装置

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択で…

『有機EL用蒸着装置』は、デバイス開発や材料開発に好適なマルチチャンバ仕様の装置です。前処理から成膜、封止までの工程を大気に触れずに処理することが可能。目的に応じて、プラズマクリーニング...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

当社ではお客様のニーズや仕様に合わせて基板搬送用のケースを製作する『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』を提供しています。基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、クラス100以下の清浄度を保持する「クリーンケース」、ガラス基板を非接触で搬...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、その都度、大気開放する必要がある。その為、...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機EL用蒸着セル

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着…

精密なコントロールが極めて安定して動作可能です。直接加熱方式により、低温領域において優れた温度応答性と温度安定性を備えております。...本製品は、ルツボサイズが1ccと非常にコンパクトな設計となっております。その他、4cc・10ccと容量が大きいタイプも取り扱っております。ヒーターにシース材料を使用しておりますので、均一な温度が保てます。シャッター機構付きですので、蒸着の調整が可能です。ルツボ材質...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

リニア有機材料蒸着器『LOE』

デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計！蒸発物および基板への熱影…

実行可能 ■デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への熱影響を　最小限に抑制 ■均一性とレート安定性の向上により有機層スタック最適化の精度が向上し、　高効率の有機ELやOPVデバイスを製造可能 ■材料の利用率が高く、高価な有機デバイス製造コストを許容範囲内に抑制できる ■蒸気経路内は100%不活性材料を使用し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。また、多様なインターフェースも標準装備しています。【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

有機EL自動洗浄装置（フィルム洗浄処理）

スマートフォン用精密部品・半導体デバイス・有機EL・自動車部品向け洗浄…

防爆仕様・有機溶剤使用・精密部品・スマートフォン付帯部品の洗浄...【装置構成】・自動搬送機構・ディップ洗浄・減圧乾燥システム・防爆仕様・自動消火システム...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

有機EL洗浄装置（フィルム洗浄）

各種ケミカル洗浄、超音波洗浄、フォトリソ装置の取扱

半導体デバイス・MEMS・LCD・有機EL・タッチパネルなど電子デバイス向けケミカルウェットステーションを100台以上納入。デモ機・評価システム完備。...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適蒸着・スパッタ・アニール等全て…

OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

OLED恒温恒湿環境評価装置　ELS-100A

有機ELディスプレイデバイスを恒温恒湿環境下で発光させて、輝度及び発光…

ELS-100Aは有機ELデバイスの耐環境試験評価を効率的に行う装置です。恒温恒湿装置内部にOLEDデバイスの発光ユニットを設置して、環境制御部天面の高透過ガラスを通して自動測定します。標準仕様は４CHでボトムエミッション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

株式会社メイコー　事業紹介

「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創…

技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創造し、地域社会に貢献するもの作りナンバーワン企業です。弊社は各種リソースのバランスを図り、主力ビジネスであるFPD（液晶、プラズマディスプレイ、有機EL）関連事業、半導体関連事業、計測機器事業、自動化・省力化機器関連事業、クリーンエネルギー（太陽電池、燃料電池、etc.）関連事業、超大型・精密機械加工事業、医療機器関連事業に注力しております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコー

スピンコーター（有機EL用）

装置ラインナップスリットコーター、スピンコーター、ディップコーター…

【装置ラインナップ】　スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター【コーターの特徴】　　・10mm□～G8基板サイズまで可能です。・薄膜から厚膜（1～500μm程度）まで均一性に優れた塗布精度の高いコーターです。・各種装置のテスト機にてご評価頂けます。・低粘度から高粘度（数cp～5,000cp）まで、塗布の均一を維持向上致します。・お客様の用途、...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

有機ＥＬ基板洗浄装置　ME-6500-10

有機EL等の基板製造装置に最適です！

基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。...●装置寸法：L4500×D1220×H1500mm ●工程：ローダー⇒入口⇒AC１⇒洗浄ブラシ⇒AC２⇒シャワー⇒HPMJ⇒MS⇒●リンス⇒エアナイフ⇒出口⇒アンローダー ●コンベア巾：400mm...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　OLED

有機EL等の有機薄膜デバイスの開発に最適、抵抗加熱型蒸着源

高品質薄膜フィルターメーカーのLUXEL社は、真空蒸着用にお使い頂ける、抵抗加熱型蒸着源(エバポレーター)を提供しております。低温蒸着用ですので、有機EL等の有機薄膜デバイスの開発に適しています。また、コンパクトで取扱いが簡単なため、実験用に最適です。 ★ラインナップ★ ●小型サイズ（1cc）のOLED１ ●中型サイズ（10cc）の...

メーカー・取り扱い企業：ラドデバイス株式会社

スパッタ装置

長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式「ミラートロンスパッタ装置」を提供しています。低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の機能性膜が得られます。 有機EL分野では、トップエミッション構造における透明導電膜の形成、封止膜の形成に最適です。有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の様々な分野において、最適なプロセスを...

メーカー・取り扱い企業：長州産業株式会社

蒸着装置

有機EL量産化問題の全てに、解決策を提案します。長州産業より、有機EL向高性能蒸着源のご案内です。全自動蒸着装置OASISを提供しています。社内に試作ラインを備え、予めサンプル作成を行うことでより実効性の高いシステムを提供します。独自技術のKセルを核に、有機デバイス等の製造・開発に必要な各種プロセスの組み合わせにより、陽極から陰極側の封止まで、基材やデバイス構造を問わず、一貫製作...

メーカー・取り扱い企業：長州産業株式会社

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。【取り扱い産業一覧】半導体製造／有機EL・液晶パネル製造／太陽電池パネル製造／医薬品製造／食品加工／他 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

UV(紫外線)表面処理技術の用途例 -洗浄と改質- ・パネル・ディスプレイ製品　フラットパネル、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL 用途・効果ガラス表面の有機系皮膜の除去、ITOと絶縁膜との密着度向上、ガラスとITOの密着向上、各種塗布膜の親水化・光学部品製品　ピックアップレンズ、センサー、半導体製造用レン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社あすみ技研

OLED用処理装置

処理速度は0.6～5.0m/min（可変）！有機EL製造ラインの洗浄装…

当社が取り扱う、『OLED用処理装置』のご紹介です。 有機EL製造ラインの洗浄装置を提供。基板サイズは370×470×1.1を処理致します。装置としては、受入洗浄・純水洗浄・現像装置・ハクリ装置・ Crエッチング装置・ITOエッチング装置で構成...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダン科学

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得して...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

表面改良コンポーネント

クス社の『表面改良コンポーネント』のご案内です。 ■□■ラインナップ■□■ ■172nm真空紫外光によるエキシマ光源・低温、ダメージレス処理・エネルギー効率の高い単一波長・有機ELの仕事関数アップ ■ハンディータイプの大気圧プラズマ・コンパクト設計・取り扱いが簡単・AC100Vのコンセントで動作・メンテナンスが容易 ■低速高強度イオンビームガン ■簡易...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

基板搬送ケース　GHB-6755

LCD（＝液晶ディスプレイ）・OLED（＝有機EL）用　基板搬送ケース…

振動テスト・衝撃テスト・落下テスト・結露テスト・トラック輸送テストを実施しお客様から信頼と、高い評価得ているアルポリケースGHB-6755 ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

フィルム表面改質装置（ロールtoロール式）

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・機能性フィルム、有機EL研究用フィルム改質装置・幅200～300mmのフィルムに対応・常圧プラズマ発生装置を中央に左右往復搬送が可能・ガイドフィルム挿入、または保護フィルム合わせ巻取りモードを選択・搬送速...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得して...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

小型で高精度！スリットコータ『リサーチコータ』LC-R400G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得して...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ

研究開発用スリットダイコーター『卓ダイ』

操作が簡単！薄膜から厚膜まで、低粘度から高粘度まで1台で塗工可能

■アプリケーター、ブレード取付によるWet on Wetの2層塗工　ダイセット及び定盤加温・半自動液供給・ストライプ、パターン塗工が可能 ■理化ダイは全てのグローブボックス内に設置可能（有機EL用途に使用可能） ■当装置の機構を利用したロール to ロールへの対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：伊藤忠マシンテクノス株式会社

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

『最先端コーターＨＩＴ-IIIＳ』は、塗布成膜を従来よりも圧倒的な効率で行える装置。塗布材料を従来のスプレー方式の１／２、スピン方式の１／３０以下に削減可能です。また、常圧環境で成膜を行えるので、真空環境設備を整える必要がありません。トータルコストの圧縮に貢献できる最先端コーターです。【特長】 ■塗布材料や真空設備のコストを大幅削減 ■弱酸性、弱アルカリ性、各種有機溶剤...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒットコーポレーション

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【用途】極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

真空装置受託製造

真空装置の受託開発承ります！

【受託製造事例】 ◆300Φメタライゼーション装置 ◆凍結真空乾燥装置 ◆有機ELディスプレイ製造装置 ◆銅配管スパッタ装置 ◆ドライエッチャー ◆有機薄膜形成装置 ◆真空排気装置 ※詳細はお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス

有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。

当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な『研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。 KOREA KIYON製不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

フラットパネル・半導体関係の各種装置の設計・製作

大型ガラス基板に対応したFPD用製造装置、各種半導体製造装置のEMSの…

いたします。 ■FPD関連事業国内最大級のクリーンルームを備え、「第10世代以上の大型ガラス基板」に対応した製造装置のEMSによる生産を行っています。さらに、LCDだけでなくPDP、有機EL等の他のFPD用製造装置のEMSも可能です。・塗布装置　・真空乾燥装置・露光装置　・搬送装置　・検査装置／その他 ■半導体関連事業幅広い技術力と短納期に対応した生産管理体制お...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メイコー

大型基板用全自動フォトリソ処理装置

フォトリソプロセス一貫処理が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、有機EL、表面処理、ウエハ剥離装置、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...洗浄ワーク　 ●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ各種ワーク対応（オプション）洗浄水 ●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水対応回転数　　　MAX　3000rpm...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

真空熱処理装置

真空～大気環境でパーティクルレスでの熱処理を実現します。

有機EL等新しいパネル技術関連における真空・熱関連装置の設計、製造、販売を行っています。大気・真空を繰り返す際に発生するパーティクルを対策した幸和独自の技術の真空ホットプレートの提案をいたします。 “目に見えない熱や圧力をコントロール”するために、技術と知識を駆使してお客様のニーズに合わせた装置、設備をトータルでコーディネートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社幸和

研究開発用スパッタリング装置

高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…

・高温スパッタにも対応 ■広範囲に分布が良いスパッタ源を標準搭載（±5%以内（SiO2でφ170mm以内）） ■少量生産、夜間自動運転に対応した自動搬送オプションも可能 ■用途・有機EL, 太陽電池, 光学部品, バイオ, 半導体・電子部品, 　自動車・樹脂, 特殊膜, MEMS ■代表的な成膜材料・誘電体膜ほか　SiN, SiO2, ZrO, TiO2, 重合膜 ...

メーカー・取り扱い企業：芝浦メカトロニクス株式会社

非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

す。そのため、Temposonicsが提案する、高性能で振動、衝撃に強く、水、埃、油による精度への影響がない、メンテナンスフリーの高信頼性リニア変位センサを採用しています。【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

GNC 出版、情報サービス

事業統合、企業買収など半導体企業の提携情報を集約！情報サービスをご紹介

メーカーの生産体制や、工場・ラインの状況を網羅した「世界半導体工場年鑑 2018」などがございます。【ラインアップ】 ■世界半導体製造装置・試験/検査装置市場年鑑 2019 ■世界有機ELディスプレイ産業年鑑 2019 ■世界半導体工場年鑑 2018 ■世界半導体産業戦略提携 MAP 2019 ■電子デバイス用基板とCMP関連市場分析レポート 2019 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業：グローバルネット株式会社

フォトリソグラフィー装置　ME-2500

有機EL等の基板製造装置に最適！

基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置です。...スピンコート装置・EBR装置・ベークユニット装置・現像装置で構成されます。【装置寸法】 ●スピンコート装置：W2000×D1300×H2150mm ●EBR装置：W...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります

相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製…

用命の際はお気軽にお問い合わせください。【製作実績（抜粋）】 ■薄膜MEMS用超高温スパッタリング装置 ■薄膜MEMS用バッチ式スパッタリング装置 ■多元複合スパッタリング装置 ■有機EL用GB付きスパッタリング装置 ■ロードロック式二元スパッタリング装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

精密洗浄

超純水（18MΩ・cm）での精密洗浄により、お客様の製品の品質向上及び…

難分解性の有機物や、カルシウム・カリウム・ナトリウム・塩素など、分子レベルの汚れを除去致します。【用途】・半導体関連部品・有機EL装置関連部品・医薬品関連部品　など...

メーカー・取り扱い企業：東陽理化学株式会社

ディップコーター（フィルム精密塗布）

自動精密ディップコーティング装置約20台の実績

機能性フィルム・有機EL・LCD・半導体デバイス・スマートフォン向け精密部品など実績多数...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

有機材料（有機EL）成膜用の有機蒸着セル（KOD-Cell）が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

有機ELの好適な　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

有機ELの高分子膜など実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研