フォト | イプロスものづくり

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流支援まで幅広く手掛けています。また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネルディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの先端分野...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

『光半導体・オプトエレクトロニクス製品』

PRオリジナル半導体メーカー認定。正規販売代理店および製造メーカーとして、…

当社は、70社を超える半導体メーカーから認定を受けており、正規販売代理店として製品の提供を行い、製造メーカーとして製品の継続供給も行っております。東芝、ams OSRAM、京都セミコンダクターなど様々なメーカーのオプトエレクトロニクス製品を豊富に在庫保有しており、安定した継続供給を実現する体制を整えています。【特長】 ■フォトカプラ、可視光LEDなど幅広い製品の在庫を保有 ■複数のパ...

メーカー・取り扱い企業： Rochester Electronics, Ltd.

4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

kgf以下(800mm) ○リンク式採用による、優れた直進性、低パーティクルを実現 ○ツインアーム採用による、基板入替え時間の短縮 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○被搬送物、装置レイアウトに合わ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-AMシリーズ

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

エーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズ

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-PMシリーズ

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

エーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸アブソリュートエンコーダ付2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

とはユニット互換があり、　リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.1kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウエハ保持:真空吸着、落とし込み ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

ッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズ

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

を最小限にすることが可能 →シリコンウェーハのセンタリング・ノッチを高速、高精度に位置決め可能 ○摩擦滑りなどによるコンタミネーションの付着を抑える設計 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 【仕様】 ○被搬送物：300mmシリコンウェーハ ○位置決め時間：ノッチサーチ:2.5sec (持ち直し無しの場合) ○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内　ノッチロケ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

m) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○チャックには各種センサ取付可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

ッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用により、基板入替え時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○ハンド部には各種センサ取付可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニタ装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相パルスモータ使用 ○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

ク採用によりウエハ交換時間の短縮 ○シングルチャック仕様も選択可能 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御及び、動作軌跡最適化によりウエハを高速、高精度に搬送 ○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック ○チャック材質はCFR...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル