【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

◆パイロット　ファインセミックス◆　＜展示会出展＞

PR高純度アルミナ、ジルコニアのセラミックスで微細孔・多孔貫通孔の押出成形…

パイロットはシャープ芯の押出成形技術を生かし、 微細な貫通孔のセラミックス製造を得意としています。 単孔のパイプ状から多孔のフィルター状の物まで製作いたします。 外径Φ0.2～Φ8、内径Φ0.005～、長さ120mm程度までの 高純度アルミナ、ジルコニア、窒化アルミを提供。 異なる孔径の組合せや異なる外形状と内形状の組合せなども可能ですので お気軽にご相談ください。 【セラミックの性質】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パイロットコーポレーション

リニアエンコーダ内蔵　高分解能位置決め装置

【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…

ーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。 [高分解能位置決め装置の特長] フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。 フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御する...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空対応 位置決めテーブル ＜VT＞

真空度（：到達 5×10-5Pa）対応の汎用型ＸＹ位置決めステージです。 【特長】 　◇真空対応ステッピングモータを採用（自社製） 　◇真空対応フォトセンサを採用（自社製） 　◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可 　◇汎用型の...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

ランダムな塗布位置でも高速・微小塗布！　新型精密ディスペンサー

カスタムメイドで理想を満たすディスペンサーをご提案。まもなく登場する新…

小性を実現 クリーム半田110μm、エポキシ系熱硬化性樹脂80μm、UV 接着剤100μm 等を実現するジェットディスペンサーの性能を最大限に引き出す ■複雑なティーチングもお任せ ランダムな塗布位置もスマートにティーチングを作成 さらにノンストップ塗布での精度も飛躍的に向上 ■オープンネットワーク 安価で様々な産業用ネットワークに接続可能 幅広い製品を組込み可能に ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社進和 メカトロシステムセンター

半導体製造工程で使用する高精度位置決めステージ使用例

位置決めステージ選定でお悩みの方へ。どの工程でどんな位置決めステージが…

当資料は、半導体製造工程ごとに使用実績を掲載しています。 インゴットの位置決め用高荷重ゴニオメーター「ワイヤーソー」をはじめ、 完成までの前工程/後工程で使われる位置決めステージをご紹介。 他にも、半導体ウエハのみならず様々な試料の厚さや表面形状等を 測定する装...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

セパレーター・スリッター上刃下刃固定用ニューマチックシャフト

コアをクランプして巻くだけでなく、セパレーターディスクやスリッター用の…

セパレーターやスリッターでも弊社のシャフトが大活躍！！ セパレーターディスクやスリッター用の上刃・下刃の固定にも活用できます。簡単に位置調整ができ作業効率が大幅にUP！！また固定位置の調整を設備でも簡単に行えるようになる為、自動化も容易になります。 1. セパレーターディスクやスリッターの位置を簡単に調整可能 　クランプ／ア...

メーカー・取り扱い企業： ニューマチック工業株式会社

２次元位置決め装置

インライン、オフライン使い方自由

ボールネジ送り精度補正装置を使用した２次元位置決め装置。送り精度±５μ。 移動距離が長くなっても累積誤差はありません。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社サン精密エンジニアリング

ピエゾアシストステージ

手動で制御する精密位置決めステージ

ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。 主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。 大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。 低予算...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キーストンインターナショナル

真空対応ピエゾステージ

高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ

Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

テープ剥がし機

テープ剥がし機

テープ剥がし機は、ウエハー上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハーをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。 ■薄厚ワーク対応■ 独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。 ■リトライ機能■ ...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

ピックアップ搬送装置付きサーボダイセット　SSD500-SC-P

ワークの搬送装置で半オートメーション化を実現！搬送装置はフレキシブルな…

スライドする機構を設け、 さらにワークの搬送装置を設置した専用半自動加工装置です。 材料をセットし運転開始スイッチを押すと、搬送装置が材料を ピックアップし金型（下型）へ搭載、下型はプレス位置まで スライドして、打ち抜きを行った後に再び搬送位置まで移動。 搬送装置が打ち抜き後の個片製品をピックアップして製品トレイへ 収納するまでの、一連の動作が自動で実行されます。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社関口製作所

卓上プレス装置 RMS750

精密ボールネジを採用し高精度な位置決めが可能!

【特徴】 ・ACサーボモーターの採用で省エネルギー化を実現 ・オープンハイトの調整がデジタルで変更可能なため多品種の金型に対応可能 ・精密ボールネジを採用し高精度な位置決めが可能 ・停止時間指定、ラム速度、位置指定等 ワークに合わせて加工条件設定が可能 卓上サーボプレスに合わせた半導体パッケージリードフォーミングカット金型の設計も承りますので、お問い合...

メーカー・取り扱い企業： ローム・メカテック株式会社

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

空気は、周囲を取り巻くフードにより補足され、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがありません ２．位置決め機構：「フロートチャックWAS型」に装着しているガイドは、保持ウエハの外周可触部に接触するガイド底端部の形状が保持ウエハの自由移動を規制する機構になっているため、ウエハを非接触にて保持しているの...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

ハンドリング　液晶パネル位置決め部

精研工業株式会社の液晶パネル位置決め部です。

精研工業株式会社による「液晶パネル位置決め部」のご案内です。...

メーカー・取り扱い企業： 精研工業株式会社 技術部

レーザースクライバー『SS-400BG2』

固体レーザ光を利用し電子部品基板のスクライブ加工が可能なレーザスクライ…

スクライブ加工を 目的とした装置です。 対応基板材料は、主にアルミナセラミック。 対象ワークサイズは50mm×60mm及び60mm×70mm　※その他サイズの要求も対応します。 加工位置アライメント機能をはじめ、加工高さ自動制御機能、 表裏アライメント機能を搭載しています。 【標準スペック】 ■50mm×60mm及び60mm×70mm　※その他サイズの要求も対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 西進商事株式会社

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ 【特長】 ■低価格を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

タクトタイムの大幅削減と微細塗布を実現！新型超精密ディスペンサー

連続塗布でタクトタイムを大幅削減！高精度な微細塗布も可能にする新型超精…

半田、シリコン系熱硬化系樹脂 等、様々な塗布剤にも対応しています。 【特長】 ■驚異の微小性を実現：クリーム半田110μm、エポキシ系熱硬化性樹脂80μm、UV 接着剤100μm等 ■動的位置精度の向上：塗布位置精度が3σ10μm以内（ノンストップJET 塗布時） ■高速ネットワーク：ネットワーク処理速度が16倍向上（理論値） ■タクトアップ：処理速度の向上によりタクトタイムが大幅に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社進和 メカトロシステムセンター

ウェハー　一括移し替え器

ウェハー　一括移し替え器

〜 ■操作が簡単！ ガイドに従ってレバーが動きますので、簡単な操作によりウェハーを移送することができます。 ■底抜けなしタイプも対応！ カセットの底抜けなしタイプについては、中間切り替え位置を変えることで受取り可能です。 ■ウェハーにやさしい！ ウェハーを持ち上げて移送しますので、薄型ウェハーでも傷つけません。 また、二ヶ所のネジを緩めることによりウェハーの高さを調節できます...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック

プリフォーム連続端子挿入システム

プリント基板、樹脂成形品にダイレクトに端子を挿入

【特徴】 ○NC制御による位置決めと高速挿入 　挿入パターンに応じた挿入治具交換は不要 　NCのチャンネル操作で挿入プログラムの変更が可能 　1時間に約6,000〜14,000本という高速位置決め挿入性能を誇ります ...

メーカー・取り扱い企業： アイクレックス株式会社

マイクロマニピュレータ AMS-1000

小部品を、数グラムで把持・μｍの位置決めが可能です。

数グラムで把持・μmの位置決めが可能。 ●精密対象動作を保証（特許出願中） ★詳しくは、資料・カタログを上記ボタンよりご請求ください。 ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ◆研究及び小ロット精密組立作業用に最...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

性リニア変位センサを採用しています。 【半導体、液晶、有機EL等の真空チャンバー内の搬送装置に】 センシングロッド部（最大20m）を真空中に設置し、ワーク側には、マグネットを取り付け、正確な位置（分解能1μm）を複数個所（最大30箇所）で同時計測。真空専用の特殊なケーブル、読み取り機等高価な部品を使用する必要なく、また、取り付け精度を必要としない為、価格のみならず、工数も含めた大幅なコスト...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

ロール両面同時露光装置『BEX-560DR-LED』

ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置！

1台で多様な生産現場のニーズに対応できるロール両面同時露光装置です。 高品質なLED光源ユニットを搭載し、ランニングコストの負担を軽減。 また、超高精度アライメント機構によりパターン表裏の位置合わせ精度 1μmを実現します。 【特長】 ■露光室のクリーン度を上げる／装置内をクリーン度でクラス分け ■ランニングコストの負担を軽減：高品質LED光源ユニット 　・ランプ交換不要の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社べアック

キャリア厚さ測定機（CME-06型：半自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

キャリアをセットし、［スタート］スイッチ操作により予め設定された測定位置に移動し、[測定]スイッチ操作により測定します。 θ軸方向は作業者のセッティングによります。 測定値はカウンタに表示されます。 オプションでパソコンに記録することも可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

露光装置です｡ オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です｡4インチのガラスマスクを使用し､フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像､モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと､露光ギャップ設定を行うことで､露光が可能です｡ なお､露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避､ランプハウスが所定の位置に移動し､設定光量露光､自動退避までを行います｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと30...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

Parker 計装用ボールバルブ

パーカー製 2 方 B シリーズのボール・バルブ

様々な種類の SI ポートが幅広く利用できます。 • ハンドル操作角度 90° • パネル取付可能 • PTFE 製ステム・シールは調節可能でインラインに維持でき ます。 • ハンドルの位置で流れ方向確認可 • 小さなトルクで操作可能 • ハンドルの停止位置が一目で分かります。 • ハンドルはカラー・コードで分類 • 空圧/ 電動式アクチュエーターが供給可能 • PTFE 製...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

高精度リニヤステージ　エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適！

リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 　石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

アルミ線/リボンワイヤ対応ウェッジボンダ PowerFusion

【高い生産性と信頼性を実現】ダイレクトドライブモーションシステム、高機…

ライブサーボシステムと高速画像認識システム採用 ■MTBAアップ - 高機能画像認識システムによる無停止稼働率アップ ＜パフォーマンス＞ ■ループプロファイルのカスタマイズ対応 ■ボンド位置繰り返し精度アップ ■過負荷任意設定可能なインプットキッカーの採用によるリードフレームへのダメージ低減 ＜先端パッケージ対応＞ ■小型パワーデバイス対応 ■ボンドエリアの拡張 ■インデ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

薄型XY軸ステージ（石定盤）

薄型XY軸ステージ（石定盤）

リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 　上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 　高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

高分解能　渦電流センサ

高温・真空・水油が飛び散るなど環境で活躍！高分解能渦電流変位センサ

高分解能で真空・高温環境にも対応！ 金属の厚み測定や回転体の軸ブレ測定などに使用されます。 ピエゾアクチュエーターと組み合わせて使用すれば、精密位置決めも可能になります！ 産業界や半導体業界で長く愛用されてきたLion社渦電流センサを 是非、一度お試しください！！...

メーカー・取り扱い企業： 翔栄システム株式会社