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PR回転機の過負荷保護に!KTRのトルクリミタ
『トルクリミタ』は負荷発生時に空転することで逃げ場を作り、機械装置を保護する部品です。 ケーティーアールジャパン(KTR)が取り扱う『トルクリミタ』は、 摩擦(負荷保持型)式、ボール式、アイドル回転(フランジタイプ)、バックラッシュフリーの4種類を展開! また、スプロケット、プーリー、カップリングを一体化させたコンパクトデザインの御提案も可能。 長年の経験と実績に基づくノウハウによって、用途に適...
メーカー・取り扱い企業: ケーティーアールジャパン株式会社
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PR半永久的寿命を維持!吸収物質を強力分解し、常に安定した浄化能力を保持・…
『セラダイナミックス』は、空調ダクトや排ガスダクトに設置するだけで、 悪臭、油ミスト、有機溶剤を強力に吸着、分解、無害化し、悪臭防止法、 PRTR、近隣対策ができる自己再生脱臭セラミックです。 セラミックス自体は消耗することなく「分解反応」を発揮し続け、低濃度から 高濃度まで環境規制値を容易にクリアー。 制菌、除菌、静菌などのHACCP(危害分析重要管理点)にも対応します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ファインセラ
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カセット搬送システム
下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 590mm −350mm 200mm 980mm 90度 搬送速度 アーム (R軸)※カセット未保持状態 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) カセットチルト角度 (チルト軸) 290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec カセット保持 エア...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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両面処理等が必要な装置に適しています。
pを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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EFEM
吸着搬送時 アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式 吸着による保持 クリーン度 ISO Class2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源:単相 AC...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
材質 アルミ 表面処理 黒アルマイト ウェーハ保持方式 サイクロンパッドによる吸引とガイド(PEEK)によるエッジ保持 (接触部材質は各種製作可能) ユーティリティ 30~80L/min(ワークサイズ、厚みにより異なります)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。
搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。 ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。 ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持 外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能 高速搬送が可能 ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。(ランダムアクセス対応) 大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着(負圧)により保持します。 チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
ロボット型式 GCR4210SN-300-CM 被搬送物 ~300mm ウェーハ ウェーハ保持方式 チャックによる真空吸着で保持 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ ステッピングモータ(クローズドループ) 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストロー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ
ト:±0.1度以内 ○位置決め時間 3秒(ウェーハの受渡時間は含みません) ○センサ LED照明付+イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○位置補正範囲 半径4mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約10kg ○ユーティリティ 電流電圧:DC24V±10% 3A 真空:-53kPa以上...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシ…
500度/sec 200mm/sec ○搬送速度 (最高速度) アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 300mm/sec 700度/sec 300mm/sec ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○繰り返し精度 ±0.1mm以内 ○クリーン度 ISOクラス2以下(駆動部排気時) ○質量 ロボット本体 約15kg ○ユーティリティ 電源電圧:DC24V±10%...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ
±0.1mm以内 ロケート:±0.1度以内 ○位置決め時間 4秒以内 ○センサ イメージセンサユニットによるウェーハエッジ検出 ○LED照明付 ○位置補正範囲 半径8mm以内 ○ウェーハ保持方式 真空吸着による保持 ○クリーン度 ISOクラス2(駆動部排気時) ○質量 約18kg ○ユーティリティ 電流電圧:DC24V±10% 3A 真空:-53kPa以上...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm(ガラス)(※その他サイズ、マイクロプレートも対応可) 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…
材質 高純度アルミナセラミックス 吸着面材質 多孔質セラミックス(ポーラスセラミックス) ウェーハ保持方式 吸着 厚み 3mm メッシュ粒径 44~74μm(グレード#220) 平均細孔径 20μm(グレード#220)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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反りのあるウェーハなど吸着チャックでリークするウェーハの搬送に適してい…
ャックでリークするウェーハの搬送に適しています。 外周裏面及びエッジ部が接触可能なウェーハ等の搬送用チャックです。 ウェーハの自重によってテーパ状のガイドを利用し、一定範囲にウェーハを落とし込み保持します。 外周から接触制限のあるウェーハをお求めやすい価格で搬送 オプションで基板有無センサを付ける事によってウェーハの有無を確認(大気使用時)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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450mmウェーハ搬送システム
アーム (R軸) 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) スライダストローク (X軸) 1600mm/sec 550度/sec 500mm/sec 2500mm/sec ウェーハ保持方式 真空吸着, 落とし込み, エッジグリップチャック, ベルヌーイチャック クリーン度 ISOクラス2(ISO14644) (駆動部排気時搬送レベル) 質量 ロボット本体 約60kg シス...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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3軸円筒座標型クリーンロボット
Z軸部防水構造にジャバラ使用 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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高機能フィルムの生産に!マイクログルーブロールで傷・蛇行を抑制
スリップ・蛇行、歩留不良などのお悩みをロール交換のみで解決!加…
若水技研株式会社 -
超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』
新型デジコンと高精度湿度センサー採用!ドライユニット内の特殊乾…
トーリ・ハン株式会社 -
『熱硬化型焼結銅ペースト』半導体パッケージの高集積化に貢献
低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し…
株式会社ADEKA -
フッ素樹脂シートライニングを施した『タンク・コンテナ・熱交換器』
【技術資料・基礎知識集あり!】洗浄性、耐食性、耐薬品性に優れ半…
ニッシンコーポレーション株式会社 本社 -
品質管理・保守向け。1から学ぶ計測器・測定器の『校正 基礎知識』
今更聞けない「校正の基礎」を解説。校正とは?成立条件?なぜ必要…
株式会社レックス -
脱炭素化技術に挑戦!熱技術研究所のご紹介【2024最新情報!】
開設1周年!約80社のお客様にご来場いただきました。水素燃焼ガ…
株式会社正英製作所 -
耐圧性・耐薬品性を兼ね備える!カートリッジ フィルターチャンバー
上限圧力3.5barの高耐久性を保持!耐薬品性にも優れ、ヒンジ…
株式会社河口・サポート 名古屋事務所 -
アルマイトなのに電気が通る! 独自開発『導電アルマイト』
アルミの表面処理をしても電磁波シールド性と導電性を保持!硬さ、…
株式会社アート1 -
旋削加工に代わる「拡管加工」真円の精度を極限まで高めることに成功
加工後に発生する、内径の歪みを抑えて真円の精度にこだわった拡管…
株式会社イングス -
今あるドアを後付で自動ドア化「後付自動ドア装置ベンリードアロボ」
非接触開閉で感染症対策にも!既設、新設問わず上吊引戸に対応する…
株式会社グローバル