エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？ 】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。 本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」 「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。 初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、 何となく使用していたけど改めて知りたい方にも 活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： ミネベアミツミ株式会社 回転機器

高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」

半導体をはじめ様々な産業で活躍 　高密度/高純度な特殊炭素材料 　Si…

高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」

弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメ…

石英ガラス製品は、半導体製造プロセスで幅広く使われている石英ガラスで作られている製品です。 【特徴】 ■お客様のニーズに答えます 　・弊社グループ会社で生産することにより、お客様のニーズに則したサービスの提供が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

シリコーンゴム成型品「半導体製造装置」「医療機器用部品」等に好適

シリコーンは耐熱性、耐候性、電気絶縁性に優れており、半導体製造・医療・…

シリコーンゴム中心の成形品は、グループ会社ワコム製作所で製作しております。 異物対策に配慮しクリーンな環境下で製作されており、さらには寸法精度が高いため、 半導体製造装置および医療機器用部品に適しております。 【特徴】 ■半導体製造工程装置および医療機器部品に好適 　・異物対策に配慮し材料練り～梱包に至るまでクリーンな環境下で物作りをしています。 ■製品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

半導体製造装置制御装置 仮想化システム「レガシー製品延命に寄与」

サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主…

レガシーデバイス、旧 DEC社製PDP,VAX, Alpha,DMCCのミニコン／ワークステーションを搭載している半導体製造装置の制御装置を仮想化するシステムです。 既存のアプリケーション・OSを現代の安価で高性能な標準PC上で長期にわたり安定運用出来るように、そのまま置き換える事が可能です。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」

高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導…

高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。 半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。 【材料】 高純度反応焼結炭化ケイ素　TPSS 【特徴】 　・高温から低温プロセ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」

ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績…

ス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 これらの優れた特徴から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 【ガラス状カーボン共通の特徴】 　・耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性、無発塵 　・気体・液体の不透過性 　・高純度 (製造過程におい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」

半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対…

加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、 　　精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電気炉を一台から製作可能 　・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径 　　のものまで様々な管状炉を製作しています。 ■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。 (※)ゾーン制御　炉内...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」

圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルタ…

、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】 　・優れたガス置換特性 　・高耐食性 【仕様】 　材料：アルミナ多孔体（エレメント部）/SUS/ニッケル/PTFE 【用途】 　各種半導体プロセス用インラインガスフィルター ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」

縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…

スペースで「薬液・純水削減」に貢献 　・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ■カスタマイズ対応可能 ■世界トップクラスの納入実績(400台以上) 　・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの 　　納入実績(400台以上)あり ■豊富な関連装置の取り扱い経験 　・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬...

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ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理

交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…

半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。 ■交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。 ■短納期でOH修理を対応致します。 ■現場(現地)での点検サービスも行っており、ご要望に応じて現場(現地)でのトレーニングも行っております。 ■新品の規格よりも、より厳しい規格でOH修理・検査対応致します。 ※国内...

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半導体製造装置用電子機器・産業用機器の修理

修理箇所の特定・部品交換対応で製品購入より大幅なコストメリットあり。 …

古い設備や装置に使用されている電子・産業用機器は現在入手困難な物が多く、入手できたとしても価格が非常に高騰しております。 弊社ではご使用されている機器をお預かりし故障個所の特定・対象箇所の部品交換、修理対応を行う事で、安価で安定的な供給を実現しております。 【特徴】 ■故障個所の特定・部品交換により低価格を実現 修理前に事前に故障診断を実施し、故障個所の及び交換部品を特定し、修理費用を...

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高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に好適！

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。 【特徴】 　・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております 　・専用のクリーンルームにて生産しています 　・高精度を実現します 　　厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします 　・高温炉内温度を正確に測定いたします 　・最先端装置に搭載されて...

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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

　・機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備 　・洗浄面への洗浄液高速拡散 　・ウォーターマークレス乾燥 【用途】 　・フォトマスク/レチクル/マスクブランクスメーカーでの製品洗浄 　・半導体デバイスメーカーの露光前レチクル洗浄 　・半導体デバイスメーカー内製マスクライン(マスクショップ)での製品洗浄 【納入実績】 　・国内外マスクブランクス/フォトマスク/レチクルメーカー 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結…

01％以下と非常に緻密な焼結体です。 【特徴】 ・各種産業用構造部品として幅広く利用 ・吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体 ・優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性 ・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている ・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する 【ADSの用途】 ・エッチング、アッシング装置用部品 ・CVD装置用部品 ・...

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ガラス状カーボンコート「被覆層を形成する技術」

ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを…

ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。 この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。 【特徴】 　・黒鉛材料のダスト発生を抑えます。 　・黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。...

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