3次元の形状をそのまま分類・検索、設計を大幅に効率化

PR自動車、機械、電子機器などの3DCADエンジニアの方必見！3次元形状の…

3次元形状のマッチング（特許第7190147号） Aries 3D-Matchingは、検索対象の形状・サイズに一致する部品を登録されたライブラリの中から検索し、一致度が高い順に出力します。 マッチング結果からPLMに登録された設計データへ簡単にアクセスできます。 そのため過去の設計資産の有効利用が促進され、作業効率が大幅にUPします。 弊社はこのAI技術の特許（特許第7190147号）を取...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アストライアーソフトウエア

簡単導入！電子実験記録ノート『BIOVIA Notebook』

PR【使用開始にあたり特別な準備やトレーニングが不要！】シンプルな画面構成…

電子実験ノート 『 BIOVIA Notebook 』は簡単に導入・運用できるELN/電子実験ノートで、研究開発部門のDX化推進に好適なツールです。 実験業務において、研究開発のスピードUP、コスト削減、 組織間情報共有を実現することで研究開発でのイノベーションを促進します。 過去には数億円規模でのコストダウンや4,000ユーザの運用でも専任不要の実績がございます。 また BIOVIA Note...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オフラインティーチングソフトウェア MAP-RTC01

プリント基板CADデータを活用し、基板分割機の切断ポイントをパソコン上…

■特長 ・プリント基板CADデータ（DXFファイルR14）を活用し、基板分割機で切断するプリント基板の切断ポイントを 　パソコン上で指定することができます。 ・マウス操作により切断ポイントの多いケースでも簡単に設定が可能です。 ・ミシン目部の円弧中心の自動検出やVカット対応など、プリント基板形状にあわせた切断ポイントの設定が容易にできます。 ・切断ポイントの追加・順序変更・削除も簡単にで...

メーカー・取り扱い企業： 名菱テクニカ株式会社 三菱電機グループ

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

PC/FC-9800シリーズエミュレーターソフト「Neo」

老朽化対策！リスク低減！既存の生産機器はそのままでPC-98をWind…

FC/PC-9800シリーズをWindows10で動作させるエミュレータソフトを開発しました。FC/PC-9800のハード・ソフト含めたすべてをWindows10パソコンに移行可能です。現状のプログラムを一切変更することなく、既存の生産設備もそのまま継続稼働できます。既に、大手製造業に多数の導入実績があります。 現状把握を行い、適切なリプレースプランをご提案いたします。 ※デモ・リスク...

メーカー・取り扱い企業： Zion株式会社 本社

Agnitron社 MOCVD装置制御ソフトウエア

最新の制御機能とデータロギング機能を有する、WindowsベースのSC…

MOCVD(有機金属気相成長)装置とプロセスをコントロールするための最新のWindowsベースのSCADAパッケージを備えたMOCVD装置制御ソフトウエアです。最新の制御機能とデータロギング機能を有しており、他のソフトウエアにはないカスタマイズ性、操作性が優れています。Veeco, Thomas Swan, Aixtron社等のレガシーMOCVD装置の制御ソフト入れ替え、ソフトウエアアップグレード...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

TP280121 Cheetah SPI コントローラ

TP280121 Cheetah SPIコントローラは高CLK周波数だ…

現在のTP280121A Cheetahは製品仕様は40MHzですが 最高50MHzまでのクロックを試すことができます。ホストとのインターフェースはUSB2.0 High Speedで行います。従来のツールは ホストとのやり取りで帯域が取れなかったのですが、Cheetahでは高度に最適化されたトランザクションキューイング技術を使うことで、高速、大容量デバイスの制御に圧倒的な性能を期待できます。Ch...

メーカー・取り扱い企業： 立野電脳株式会社

DDR2/3/4/5 SPDプログラマー

Windows PCからDIMM/SODIMMのSPD読み出し、保存、…

Ez-SPD はDDR, DDR2, DDR3, DDR4, DDR5, UDIMM, RDIMM, SODIMM 専用のSPD EEPROM プログラマーです。...本機はUSB で接続したPC からJEDEC 標準のコードアセンブラによりモジュール上のSPD の読み出し、保存、プログラミング(書込)が可能です。 付属のWindows GUI の操作には特別なスキルを必要としません。SPD サ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社シーピーアイ

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

nanoPVD-ST15Aは、抵抗加熱蒸着源、有機蒸着源、Φ2inchマグネトロンスパッタリングカソードを同時に設置可能な複合型薄膜実験装置。ベンチトップサイズ・省スペース、限られたラボスペースを有効活用いただけます。 顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。 ガス系統最大3系統（プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

CT398 温度コントローラー

温度センサー不要、フィードバック機能付DC温度コントローラー

　Mincoの CT398 温度コントローラーは、ヒーターライン(TCR*が高い材料を採用）を温度センサーとして兼用しており定期的に温度をモニタリングします。これにより別途温度センサーを搭載することなくヒーター面の温度を計測できます。設定温度と実測温度を比較し出力パワーが調整されるため温度が制御されます。USB接続とWindowsアプリケーションを使用することにより設定が簡単になりました。(LED...

メーカー・取り扱い企業： ミンコ・プロダクツ合同会社

ロジックテスタ『GRIFFIN-III』

ハイパフォーマンス！特別な経験知識を必要とせずテストプログラムを容易に…

ら ACキャリブレーション、SCAN機能、64MW ベクタメモリ、高精度DC-PMUなどの 機能・特長を有し、小型軽量、低消費電力を実現したロジックテスタです。 付属ソフトウェアは、WINDOWSベースユーザフレンドリGUIを有し、特別な 経験知識を必要とせずテストプログラムを容易に作成できます。 また、テストプログラムコンバージョンソフトウェア、各種ベクトルデータから HI...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォーサイトテクノ

ＣＡＲＢＯＺＥＮハイブリッドＰＶＤシステム

製膜スピードＵＰ＆高い密着性！導入コストや維持費も低いＤＬＣコーティン…

『CARBOZEN　ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。 リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。 【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア...

メーカー・取り扱い企業： パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

NAND解析システム（SigNAS）

NAND解析システム（SigNAS）

各メーカーのNANDフラッシュメモリの動作検証、エラー解析、エラー発生原因の切り分け、誤り訂正符号の効果測定などを容易に行うことができる解析システムです。ビットエラーレート、ECC後のページエラーレート、Data Retention や Program Disturb、Read Disturb によって発生するビットエラー、エラー発生分布などを測定することができます。 　アルテラ社Stratix...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シグリード

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ヒューズテクノネット　燃料電池イオン膜評価機

Windowsパソコンでの操作がわかりやすい

燃料電池の電気的特性、ガスによる物理的特性、耐久特性の評価に最適です。改質器の評価も可能です。供給用加湿器ユニットは内臓（※単品販売可） ...【特徴】 ○Windowsパソコン操作がグラフィカルで分かりやすくなっています。 ○温度・圧力・流量・電圧・電流などのデータをパソコン画面上に表示し、データを記録、テキスト形式で保存できますのでデータ加工が可能です。 ○各運転パターンを設定することが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

レーザークラッド加工装置『MED-CLAD』

純度の高い皮膜で、金属部材の耐食・耐摩耗・耐衝撃性能を高めます！

『MED-CLAD』は、スタンドアローン型の製品で、レーザークラッドの皮膜を 施すのに使われるレーザークラッド加工装置です。 制御盤ボックスは、繰り返しのきくクラッディング用にレーザーシールドガスと パウダー送りガスの質量流量制御を提供。 クラッディングの工程のすべては、タッチスクリーンのパネルを通して制御され、 操作者とのインターフェイスはwindowsのインターフェイスで操作...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社澤村溶射センター

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2） ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュア...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに…

抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2 2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2 3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

全自動RTP（高速熱処理）装置

Premtek　RTP-1200A（SEC）（SEF）

4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

【nanoETCH（ナノエッチ）】Model. ETCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いる マンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。 ...【特徴・主なアプリケーション】 • 2D（遷移金属カルゴゲナイド, 材料転写後のグラフェン剥離）：表面改質...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

Eureka DDR4 2933, DIMMテスター

各種DDR4 DIMMのテストが可能なファンクションテスター

Eureka DDR4 2933はメモリーディストリビュータ及びモジュールメーカー向けのDDR4 DIMM/SODIMMファンクションテスターで、DDR4 RDIMM(x4, x8), UDIMM(ECC/Non-ECC), SODIMM(ECC/Non-ECC), VLP-RDIMM, LRDIMM, BGA Chipのテストが可能です。 ...Eureka DDR4 2933はWindows...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社シーピーアイ

eMMC対応ＩＣ.プログラマー　SU-6808

『台湾・リープ社』製、EMMC規格　ICギャングプログラマーです。

SU-6808は eMMC 規格を満たし、デバイスのプログラミング/コピー/確認/製造に威力を発揮する高性能ギャング・プログラマーです。 １個のマスターソースから８個のeMMC ソケットを操作できます。 ＳＤカードやＰＣからソースを読み込めば、使い易い操作パネルにより、スタンドアロンで簡単にお使い頂けるソフトが装備されています。... 20 x 4 のLCDと４個のスイッチでモードを設定...

メーカー・取り扱い企業： 三友電子工業株式会社

gds2streamViewer GDS2ストリームデータ表示プログラム

低価格レイアウト高速ビューア　半導体／液晶設計データ検証用

使用頻度の高いレイアウト設計CADプログラムを使用せずに、確認作業が行え、マスクデータ検証時に従来プロッター出力していたものを身近にあるPCマシン上で確認ができる為、プロセス⇔設計間のペーパレス化が可能です。会議にて使用するドキュメントの作成、又はノートパソコンにてプレゼンする際にも大変効果的です。また、オプション機能として、ExclusiveOR表示機能、配線トレース機能、DRCインタフェース機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アストロン

オールインワン自動プログラミングシステム　ＰＡＬ－２Ｖ

ROM書込みからレーザー捺印、外観検査までをオールインワンで完結！

PAL-2Vは超高速ギャングプログラマ『MODEL516』を2台搭載した16ソケット×2サイト、 計32ソケット書き込み全自動プログラミングシステムで、 ICプログラミングと同時にデバイスへのレーザーマーキング、及び外観検査を行うことが可能です。 【詳細】 ○搭載プログラマ：MODEL516(16個書き、USB3.0対応)　2台 ○対象デバイス：eMMC・NAND・Flash内臓マイ...

メーカー・取り扱い企業： ミナト・アドバンスト・テクノロジーズ株式会社

設計データを高速表示するプログラム

低価格レイアウトビューア　液晶／半導体設計、検証用

使用頻度の高いレイアウト設計CADプログラムを使用せずに、確認作業が行え、マスクデータ検証時に従来プロッター出力していたものを身近にあるPCマシン上で確認ができる為、プロセス⇔設計間のペーパレス化が可能です。会議にて使用するドキュメントの作成、又はノートパソコンにてプレゼンする際にも大変効果的です。また、オプション機能として、ExclusiveOR表示機能、配線トレース機能、DRCインタフェース機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アストロン

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。 ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型 １００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。 イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。 ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

ユニバーサルプログラマ　MODEL1883

膨大な種類のプログラマブルデバイス対応したコンパクト設計のデバイスプロ…

MODEL1883は、市場に出荷される膨大な種類のプログラマブルデバイスに対応した、小型で大容量デバイスの高速 書込みが可能な1個書きタイプのユニバーサルプログラマです。MODEL1882の基本性能を受け継ぎ、かつ、パワフルなFPGAコアへの変更に伴い大容量メモリへのプログラミング時間短縮(20-70%)を実現しました。...書き込み対象： FlashROM、EPROM、EEPROM、ワンチップマ...

メーカー・取り扱い企業： ミナト・アドバンスト・テクノロジーズ株式会社

ギャングプログラマ　MODEL516

次世代メモリに対応した量産用16個書き超高速ギヤングプログラマ

・プログラマ内部の構成を新たに見直す事により、動作速度の高速化を実現 ・バッファメモリには1024Gbit(SSD:128GB)を、標準で搭載 ・シリアルATA対応のインタフェース搭載により、次世代シリアルデバイスに 　対応 ・USB3.0対応で、データの転送時間を大幅に短縮可能 ・ソケットユニットの交換により、1.2V～5.0Vのデバイスを幅広くサポート ・操作性の優れたオペレーショ...

メーカー・取り扱い企業： ミナト・アドバンスト・テクノロジーズ株式会社

【SUNNEN】CNC縦型ホーニングマシン『SV2000』

2軸、3軸仕様に対応！使い勝手の良いタッチスクリーン式操作パネルを搭載…

『SV2000』は、φ3～φ65の中ロットから量産加工に適した CNC縦型ホーニングマシンです。 永久潤滑された縦方向スライド、および横方向スライド用リニアガイドが 優れた機械パフォーマンスと長くトラブルのない稼働をお約束。 堅牢な、ポリマー処理された一体型鋳鉄ベースが加工中の振動を吸収し、 より高いパフォーマンスと精度をもたらします。 【特長】 ■ドロップダウン式メニュ...

メーカー・取り扱い企業： NKワークス株式会社

ギャングプログラマ　MODEL400e+シリーズ

従来製品のMODEL400シリーズに改良を加えた新たな製品で、大容量の…

従来のMODEL400シリーズに比べて、搭載するバッファメモリの大容量化（従来比2倍：512Gbit）及び高速化（従来比1.7倍）を計り、業界最高クラスのプログラミングスピードをより一層高めて、ギガバイトクラスの大容量デバイスに効率の良い書込みを提供します。 更に、個々のデバイスに、固有のシリアル番号、ユニークID、MACアドレス等の異なったデータを、自動的に書込むシリアライズ機能にも対応してい...

メーカー・取り扱い企業： ミナト・アドバンスト・テクノロジーズ株式会社

USB-to-I2C Professional

USB 接続 I2C,SPIコントローラ

USB-to-I2C Professionalは 立野電脳（株）が2004年から正規代理店として販売しているUSB接続の I2C,SPIコントローラです。ハードウェアの変更（内部MCUの変更）などを経て現在でも安定して供給しています。 この製品のケーブルは写真のように先端がヘッダコネクタが標準ですが、オプションで個別信号線型のケーブルに変更できます。 ...型番 USB-to-I2C Prof...

メーカー・取り扱い企業： 立野電脳株式会社

SECSＩ＆HSMS対応通信ドライバ『GEMドライバ』

Windows環境で動作する制御アプリケーションにGEM通信機能を追加…

『GEMドライバ(LPD-GEM-H/S)』は、半導体製造装置向けのSECS・GEM・ HSMS通信を実現するソフトウェアパッケージです。 DLL形式のドライバですので、開発言語の制約はありません。 SECSＩとHSMSを同一ドライバで実現できますので、ライン立ち上げ後の 変更要求にも少しの変更で対応できます。 【特長】 ■SECSＩとHSMSを同一ドライバで実現 ■ライ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

コンパクトマウンター

試作～少量生産向け多機能卓上マウンター。 半田塗布・部品実装・加熱ま…

特　徴 ・0402チップ部品を狭隣接(ギャップ95μm)搭載 ・ディスペンスヘッド追加により塗布→搭載の連続動作が可能 ・独自チップスティック採用で、初期費用の大幅なコストダウンを実現 ・高精度を保証する鋳物一体フレーム構造とビルトインコントローラーでセットアップも簡単 ・場所を選ばない卓上サイズ ・簡易ダイボンダー、フリップチップボンダーとしても利用可能...簡単なデータ作成 CAD...

メーカー・取り扱い企業： JMPエンジニアリング株式会社

【nanoPVD-S10A】マグネトロンスパッタリング装置

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタカソード x 3：自動連続多層膜, 2源同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：基板回転・昇降、基板加熱（Max500℃）、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ3源+3系統（MFC制御）、RF/DC ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『nanoPVD-T15A』

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社