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19件 - メーカー・取り扱い企業
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【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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【産業用管理ギガビットPoE光ハブ】IGPS-9084GP-LA
PR産業用 マネージドPoE+ギガビット光スイッチ：IGPS-9084GP…
IGPS-9084GP-LAは8×10/100/1000Base-Tと4×100/1000Base-X(SFP)を備え、IEEE802.3atに準拠した産業ネットワーク向けのマネージドギガビットPoE+イーサネットスイッチです。 STP/RSTPは始め、ベンダー独自の冗長プロトコル｢O-Ring/Open-Ring/O-RSTP｣等のリカバリプロトコルに対応しており、ネットワークの中断や一時的...
メーカー・取り扱い企業： データコントロルズ株式会社
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大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…
少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5～100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社
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実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…
当社では真空装置の設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後の プロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応しております。 「こういう形の物に膜をつけられる装置」、「こういう事が出来る装置」など、 ご要望をお聞かせいただき、適切な装置をご提案させていただきます。 一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、 このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC
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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○L...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLC…
「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品では、2000Hv前後の高硬度で低摩擦係数な平滑性に優れた高性能表面が得られます。 また、これまでのDLCの弱点だった付き回り性の悪さも大幅に改善し、複雑な形状を持つ金型、機械部品の凹凸面...
メーカー・取り扱い企業： 日本電子工業株式会社 本社
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パルスレーザパルス蒸着システム
AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...
メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社
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再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2...
メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ
-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: I...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…
ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載しています。 今なら総合カタログ無料でプレゼント中です。 【掲載製品】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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構成要素を全てグループ企業内で、開発・製造！高性能・高信頼性のシールを…
『磁性流体シール』は、液体でありながら磁石に吸い付く性質をもつ磁性流体を 使用した封止(シール)部品です。 半導体等の電子部品製造装置、分析機器向けとして、真空チャンバー内に 回転動力を伝達する目的で使用します。 構成要素を全てグループ企業内で、開発・製造。 設計上の詳細要求まで、お客様の要望に合わせ、対応することが可能です。 また、NTN株式会社の代理店としてベアリングに...
メーカー・取り扱い企業： ダイジク株式会社 大阪本社
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お客様のアイデアを具体化して、オリジナルの装置や改造などをご提案いたし…
アイゲート株式会社では、真空装置の『カスタムメイド装置／改造／ メンテナンス／DLCコーティング』を承っております。 設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後のプロセスサポート、改造、 メンテナンスまで対応。 また、当社製以外の装置に関する改造、メンテナンス、移設などにも 幅広く対応しております。 【特長】 ■設計、製造、納入までを一貫して実施 ■納入後のプロセスサポ...
メーカー・取り扱い企業： アイゲート株式会社 本社
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真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。
メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様...
メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社
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"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます
テクノウェーブ株式会社は、真空関連装置・部品及び その他産業関連装置・部品の設計から組立検査を得意としております。 真空技術はデジタル家電業界、半導体・電子工学業界、医療など 幅広い産業等で応用されています。 その中で当社はお客様のニーズを的確に把握し、迅速で確実に ご要望に応えられる提案型企業でありたいと考えております。 【事業内容】 ■真空応用関連装置の設計、製作並び...
メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社
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【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！
エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか各方面にご利用いただいているポンプです。...【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転するマルチシステ...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
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エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの…
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識によ...
メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社
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あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資...
メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社
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デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保…
ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『各種真空装置』の オーダーメイド製作実績をご紹介します。 「研究開発用アニール装置」をはじめ、「バッチ式プラズマ処理装置」や 「極低温成膜実験装置」「排ガス切替装置」などの実績を保有。 デモ機にてサンプル処理を実施しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【製作実績（抜粋）】 ■研究開発用アニール装置 ■バッチ式...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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