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キャンドポンプ【液漏れしない構造、アンモニア(NH3)等に好適】

PRアンモニア混焼発電、タービン&エンジンの燃料移送用途、アンモニ…

外部漏れの無いキャンドモータポンプが、脱炭素関連の設備で活躍します。【主な特長】 ◆既存発電所へのアンモニア混焼 ◆アンモニアを燃料とするタービン発電や船舶用エンジンの燃料用ポンプ ◆アンモニアサプライチェーン（貯槽、輸送関連） ◆CCS、CCUS(二酸化炭素回収・貯留技術）に関係する、多種・多様なニーズに対応幅広い、流量や全揚程をカバーし、各種法規対応も可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社帝国電機製作所
仕分け、整列、箱詰めシステム『パラレルリンク』

PRサイクルタイムが速く、仕分け、整列、箱詰め時間を短縮、生産性UP！柔…

『パラレルリンク』は、柔らかい素材から食品、薬品などの仕分け、整列、箱詰めシステムです。サビに強いサニタリー仕様なので清潔で衛生的。ステンレス製のサニタリー仕様もラインアップしています。ウォッシャブル仕様もあり、清潔で衛生的です。【特長】 ■ロセックならではの何千種類の先端パッド ■PCプログラムで簡単制御 ■無駄な工程が無い ■ロセックシステムインテグレ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ROSECC　
コールドカソードゲージコントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

帯域（4.0×10-7Pa）?（3.0×10-2Pa）の圧力を１レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...（特長）　●堅牢な冷陰極型電離真空計　●小型のボディーで省スペース化が可能（仕様）・出力信号：a)フォトリレー出力　容量DC24V、0.5A 　　　　　　b)アナログ出力　0?5V F.S.　主力インピーダンス1ＫΩ ・使用温湿度：...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

広帯域（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa）の高真空領域までを高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。また、多様なインターフェースも標準装備しています。【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP＋RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。また、専用オプションにより、有機物の薄膜...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社
多機能型・真空蒸着装置「SEC-22C」

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…

多機能型・真空蒸着装置「SEC-22C」は、蒸発源として電子ビーム式蒸発源を採用しています。高融点金属や酸化物を成膜する事ができます。蒸発速度の制御と膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。主ポンプはクライオポンプを搭載しています。操作制御系は全自動式になっています。【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空
高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

高真空蒸着装置『RD-1230』は、ぺロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置です。抵抗加熱機構を2対装備しており、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能です。排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては高性能な成膜制御が可能です。【特長】 ■ロブスカイト太...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンバック本社
開発・製造レポート『溶剤蒸気発生装置』

温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介し…

20年以上前の設備が老朽化のため、新規更新をしたいが当時のメーカーが不明のため困っている。既存の装置を今の技術に置き換えて製作する事は可能か、とお客様からご要望をお受けいたしました。そこで、既存品がどのような動きで、どのような規格・仕様なのかをお調べして「溶剤蒸気発生装置」を新規製作。タッチパネルなどを用い操作性の向上や試験機のダウンサイズ、サンプルの装着方法やメン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンメック
卓上型蒸着装置『Mebius』

卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

『Mebius』は、学生向けの実験や教材作りに適した、コンパクトな蒸着装置です。電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能。チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能です。【概要】 ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合せ ■操作不要のマルチ真空ゲージ採用により、...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社
卓上型蒸着装置『Meius Light』

学生向けの実験や教材作りに！卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

『Meius Light』は、一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能な卓上蒸着装置です。チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能。【特長】 ■卓上で簡単に使えるコンパクトサイズ ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■マグネット駆動式基板シャッタ装備 ■非常停止スイッチ装備 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社
BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃

学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます

日本電子株式会社 BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃は、真空チャンバー内に設置し、高密度プラズマを発生させるプラズマ源です。真空蒸着と組み合わせたプラズマアシスト蒸着 (イオンプレーティング) 法により、光学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます。また基板のクリーニングや表面改質にも有効です。〇特長・低電圧・大電流の高密度な直流プラズマにより、ガ...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社
BS-80020CPPS プラズマソース

無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます

日本電子株式会社 BS-80020CPPS プラズマソースは、プラズマによる基板や基材の温度上昇を抑え、基板/基材へのイオン照射エネルギーを高めた低温プロセス用のプラズマソースです。プラスチックや有機フィルムへの成膜用途（プラズマアシスト蒸着）や表面改質用途に適しています。〇特長・無加熱成膜でも密着性が良い・填密度の高い薄膜が形成・既設の真空チャンバーへ後付けも可能 ※詳細はPDFを...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社
スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2）・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省スペース】・デュア...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置高さ570m…

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ◉ ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
スパッタ・蒸着源複合型薄膜装置【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

nanoPVD-ST15Aは、抵抗加熱蒸着源、有機蒸着源、Φ2inchマグネトロンスパッタリングカソードを同時に設置可能な複合型薄膜実験装置。ベンチトップサイズ・省スペース、限られたラボスペースを有効活用いただけます。顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。ガス系統最大3系統（プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
光学用真空蒸着装置用潤滑材・ミラクルピロー

光学用真空蒸着装置の回転系に滑らかな回転をもたらし、歩留まりの向上と回…

ミラクルピローはNFメタル（デイツ材）を円柱状に成形した製品です。真空中、低温（100℃）から高温（約800℃）まで潤滑性を保ちます。デイツ材については、このサイト内で「真空用自己潤滑性複合材料」を検索してください。デイツ材は潤滑成分に二硫化タングステンを使用しています。二硫化モリブデンを使用した類似品とは強度とダスト発生量で差が出ます。ご注意下さい。形状は、MLP-030（φ8.5×9L）、ML...

メーカー・取り扱い企業：有限会社アベニューマテリアル
真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省スペース】・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置高さ570m…

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。・最...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社