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切削油を使わないNANO水加工【コストダウン事例資料を進呈！】

PR切削油不要！ナノ単位に微細化した水のみを使用した新たな加工技術。工場の…

水道水を「NANO水」発生装置を通過することで水道水に含まれる気体をナノサイズにまで微細化して水の特性を激変させ、機械加工時の切削油の代替品としてこの「NANO水」を使用することで、加工工場の課題を一気に改善する全く新しいテクノロジーです。すでに加工現場で13年の実績があり、加工精度向上、生産性向上、工具の寿命延長、工場内の環境改善などを実践しています。【以下の現場...

メーカー・取り扱い企業：東京印刷機材トレーディング株式会社
油面に貼れるテープ【油を吸い取る特殊粘着剤を塗布！】

PR油を吸い取る特殊粘着剤を塗布した粘着テープ！強粘着設計・厚手のラミネー…

『油面に貼れるテープ』は、油を吸い取る特殊粘着剤を塗布した粘着テープです。強粘着設計・厚手のラミネート加工により高強度な基材。剥離紙がないことで、作業性の向上が見込めます。工場等で油ミストなどが舞っている床面へのラインテープ・区画線として。その他、油分が付着した箇所へテープ貼りをしたいところなど、多用途でお使いいただけます。【特長】 ■油面(鉱物油・植物油に対応)...

メーカー・取り扱い企業：リンレイテープ株式会社事業開発本部
真空蒸着装置　その他周辺部材

真空業界、半導体分野で必要とされる、あらゆる材料・部品、加工品を取り扱…

用途によりお客様の要望に改造等も致しております。...弊社は、真空業界、半導体分野で必要とされる、あらゆる材料・部品、加工品を取り扱い、中でも特殊金属の加工品、特殊品、消耗品には最も力を注いで取り組んでおります。また、品質・価格・納期・情報などの面におきましても、常にユーザー様と前向きに検討し、改善・提案してまいりました。今後も『真空の全てに役立つパートナー』として皆様とともに前進して...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クラフト
スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

最大4源） ◉ 有機蒸着ソース：1cc or 5cc ◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3源） ◉ ドライエッチング ◉ グローブボックス搭載可能（オプション要仕様協議） ◉ その他オプション： 2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適蒸着・スパッタ・アニール等全て…

マグネトロンカソード（最大3基）・プラズマエッチング・基板加熱ステージなどを搭載 ◉ 高精度膜厚制御 ◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライスクロールポンプオプション） ◉ その他豊富なオプション＊その他の詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
自動車部品用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１０７５ＳＲ型）

コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応　高速…

高速バッチ処理 ■安定した成膜性能と高速排気性能 ■オールドライ排気系による排気系メンテナンスフリー化 ■コンパクトな装置規模による高生産性 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。 ※その他、仕様詳細やサンプルテストなどにつきましてはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

【その他特長】 ■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。　精度・再現性に優れており、信頼性の高い計...
メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
ロールtoロール生産ラインにCMWH超広幅ウェブクリーナー装置

ロールtoロール生産ラインで超広幅装置をご検討のお客様へ

実現。メンテナンス性等全てを考慮した広幅装置をご提案させていただきます。＜コンバーティングの技術領域＞コーティング技術（ウェットコーティング、ドライコーティング〔蒸着、スパッタリング、その他〕）ラミネーティング技術、粘着加工技術、プリンティング技術、仕上加工（スリッティング、カッティング、抜き加工、制袋）、表面加飾、表面処理技術、塗液製造・分散技術、製膜・成膜技術、ウェブハン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤンゴージャパン
テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

テクノウェーブ株式会社は、真空関連装置・部品及び その他産業関連装置・部品の設計から組立検査を得意としております。真空技術はデジタル家電業界、半導体・電子工学業界、医療など幅広い産業等で応用されています。その中で当社はお客様のニーズ...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社
スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

Box option -TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ10inch ・125（125Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/CVD：MaxΦ12inch ※ その他仕様は当社ホームページ参照下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
【事業紹介】真空蒸着加工、および塗装

金属表面処理や真空蒸着加工、および塗装のことならお任せ下さい！

【機械・設備・ライン状況】 ○真空蒸着装着　5台 ○スピンドル塗装機　2台 ○乾燥機　5台 ○ロボット塗装機　4台 ○ＵＶ乾燥機　4ライン その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社横浜真空
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

【その他の特長】 ■抵抗加熱蒸発源・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易・ボート以外にフィラメントの装着も可能 ■基板保持機構・Φ70の試料ステージは上蓋...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所
仕様多様化真空フランジ-「ICFフランジシリーズ」

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

質は基本的にSUS304ですが、他の材質も製造可能です。 ○許容温度：-200℃～450℃(OFHC Copper) ●規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特注品を製造も可能なので、その他機能・ボルトの穴数や製品の厚みが規格品と違いの場合、ご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

御：手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッド・膜厚制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチング, ドライポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
リニア有機材料蒸着器『LOE』

デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計！蒸発物および基板への熱影…

【その他の特長】 ■LOEリニア有機ソースにより、有機デバイスのインライン処理を高スループットで実行可能 ■デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への熱影響を　最小限に抑...

メーカー・取り扱い企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社
スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチング, ドライポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
耐熱仕様：非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

くの特質を持っています。　半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、ＣＶＤ装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。　その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製作しております。 ◎特徴１．耐熱1000℃可能２．使用温度環境に応じた材料を使用します。　　PTFE. ・PEEK・アル...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所
真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置高さ570m…

御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板回転/昇降, プラズマエッチング, ドライポンプ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　RADAK

有機物蒸着にも対応。　コンパクトで取扱いが簡単な、抵抗加熱蒸着源

EL社が30年以上にわたり提供している製品です。独自のデザインと技術に基づいた本製品は、汎用性があり、操作性に優れている上に、幅広い材料の蒸着にお使い頂けます。ルツボの材質、ライナー、熱電対、その他のオプションを適切に選択し、組み合わせることで、有機薄膜デバイス(OLED)、薄膜電池、太陽電池など、さまざまな用途への対応が可能です。蒸着、成膜を伴う実験を行われている方には特にお薦めです。...

メーカー・取り扱い企業：ラドデバイス株式会社
研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

【その他の特長】 ■コンパクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型・電子銃蒸発源により酸化膜や高融点金属の成膜に対応・本格的な薄膜デバイスの研究開発・試作が可能・複数タイプのイオンプレーティング機...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
ウェハプロセス用真空蒸着装置

膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…

【その他の特長】 ■研摩後の薄ウェハのハンドリングに配慮した基板ドームや　電極膜の合金化を成膜と同時に行う高温加熱機能など豊富な選択機構 ■多様なご要求に細やかにお答え可能 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

MPa未満最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下構成部材ハウジング：SUS316L(電解研磨処理)　　内面粗度：Rmax0.5μm以下フィルターメディア：PTFE　　サポート：PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
光学薄膜用スパッター装置 HELIOS

ビューラー・ライボルトオプティクスの光学用スパッター装置

ニターリング方式による高精度な制御が可能。・200層以上および20ミクロン厚の多層膜厚のフィルターが作成可能。・Co-Sputtering技術により中間屈折率のチューニングが可能。 その他詳細はお気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業：ビューラー株式会社
スパッタ・蒸着源複合型薄膜装置【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

Windows PCリモート監視ソフトウエア ◆オプション◆ ・基板加熱ヒーター Max500℃ ・ドライスクロールポンプ ◆ユーティリティ◆ ・電源：AC200V 単相 50/60HZ 15A ・プロセスガス：0.2Mpa ・ベントガス：0.04Mpa ・圧縮空気：0.6Mpa ・冷却水：2L/min 0.2Mpa ◆主なアプリケーション◆ ・新素材開発・燃料電池・その他

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

【その他の特長】 ■基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の　いずれかを選択可能 ■コンピュータによる完全自動制御とコントローラでの　エレクトロマニュアル制御のいずれか、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。 その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しております。ご用命の際はお気軽にご相談ください。【特長】＜真空成膜装置＞ ■装置の拡張性を考慮 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ
ロードロック式EB蒸着装置

好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセ…

【その他の特長】 ■リフトオフプロセスにも対応 ■トレイ搬送にも対応 ■マルチチャンバ仕様やバッチ式も製作可能 ■各種オーダーメイドも製作可能 ■デモ機にてサンプル処理を実施 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
真空蒸着加工サービス

気化した金属をプラスチック製品の表面に付着（メッキ）させる成膜技術です

【その他の特長】 ■成形後、素材にダイレクト蒸着し工数を削減 ■治具を社内で設計 ■他社に比べて蒸着条件の選択の幅が広い ■品質保証体制は万全 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気...

メーカー・取り扱い企業：美光九州株式会社
モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

【その他の特長】 ■スキャニングRHEEDを標準装備 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■完全コンピュータ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
広い分野で汎用された金属ベローズ

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

【特長】 ○製品材質：SUS304 ○製品は溶接ベローズ、成形ベローズ、フレキシブルチューブがあります。 ○規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。 ●その他機能・詳細はお問い合わせ頂くか、もしくはカタログご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
有機EL用蒸着セル

有機材料（有機EL、高蒸気圧材料）薄膜用に開発されたＫセルタイプの蒸着…

本製品は、ルツボサイズが1ccと非常にコンパクトな設計となっております。その他、4cc・10ccと容量が大きいタイプも取り扱っております。ヒーターにシース材料を使用しておりますので、均一な温度が保てます。シャッター機構付きですので、蒸着の調整が可能です。ルツボ材質は、シェイ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
吉城光科学の技術『蒸着』

限りない光への挑戦！反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで加工してい…

【その他の主要設備】 ■超音波洗浄機 ■純水装置 ■RO装置 ■分光光度計 ■サンドブラスト ■クリーンルーム ■色彩輝度計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉城光科学本社
製品多様な真空配管部品-フィッティングシリーズ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

【特長】 ○製品多様化 ○製品の表面処理はブラストと研磨の2種類が選択できます。 ○規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。 ●その他機能・詳細はお問い合わせ頂くか、もしくはカタログご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

・アプリケーションに応じた豊富なプロセス事例・カスタマイズ工程の開発検討・デモサービスのご提案・その他コンサルティングサービス...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
真空続き手・製品多様-アダプタシリーズ

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

【特長】 ○製品多様化 ○規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。 ●その他機能・詳細はお問い合わせ頂くか、もしくはカタログご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：日揚科技股份有限公司
企画開発品　バッジ蒸着加工

メッキは環境に悪い、形状的に転写箔は使えない・・・。そんな時には直接ア…

【特徴】 ○形状的に転写箔は使えない場合も、環境負荷をかけずに加工可能 ○釣具（ルアー）から企業・ブランドのエンブレムまで ○アルミ以外の金属も直接蒸着が可能 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：村田金箔グループ
磁性流体シール

磁性流体シール

価格やサンプル、その他資料はお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フロー・ジョイント
真空蒸着装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

最大4源） ◉ 有機蒸着ソース：1cc or 5cc ◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3源） ◉ ドライエッチング ◉ グローブボックス搭載可能（オプション要仕様協議） ◉ その他オプション： 2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

最大4源） ◉ 有機蒸着ソース：1cc or 5cc ◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3源） ◉ ドライエッチング ◉ グローブボックス搭載可能（オプション要仕様協議） ◉ その他オプション： 2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。 ※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

【その他特長】 ■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。　精度・再現性に優れており、信頼性の高い計...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社
真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

Box option -TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ10inch ・125（125Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/CVD：MaxΦ12inch ※ その他仕様は当社ホームページ参照下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310）多チャンネル成膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, ドライエッチング, ドライスクロールポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

、又は自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッド・膜厚制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・その他オプション：基板回転/昇降, 基板加熱（Max500℃、又は800℃）, プラズマエッチングステージ, ドライポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570…

制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310）多チャンネル成膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, ドライエッチング, ドライスクロールポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチング, ドライポンプ , ロードロック機構...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置高さ570m…

制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310）多チャンネル薄膜コントローラ・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, ドライエッチング, ドライポンプ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
大阪真空化学　蒸着メッキ

全責任を持って一貫受註を致しております。

【特徴】 ○光反射効果を利用しランプ反射鏡へ利用可能 ○センサー反射鏡へも利用可能 ○溶着のためのマスキング不要 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください...

メーカー・取り扱い企業：大阪真空化学株式会社