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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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インクジェット、印刷関連の技術者・研究者のバイブル本!基礎から応用まで…
本書ではインクジェットの各種方式や特徴について説明した後、インクジェットの歴史を振り返る。次に主要構成技術として、システム技術、プリントヘッド技術、インク・メディア技術、そして画像形成技術のうちインクジェットで特に特徴的なものを取り上げ説明する。最後にインクジェットの今後の展望や、特徴を活かした応用について述べる。 ...1.はじめに 2.インクジェット方式の分類 3.インクジェット技術の研究...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社R&D支援センター
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