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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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音響測深機
・深度情報の高精度化 超音波を発射後、ただちに連続してA/D変換を行い、メモリに収録した後でサーマルヘッドに分配して記録させてから、内蔵コンピュータ処理により、高精度の深度情報が得られます。 ・拡散損出の除去 音波の伝搬損出である拡散損出は、音波の強さが音源からの距離の2乗に反比例して小さくな...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メジャー
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