リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

薄膜コーティング用特殊ガンバルブ（薄膜スプレーコータ装置用）

長年の試作技術とデータベースと、用途開発の様々なノウハウで、お客様のニ…

プレーコータ）はウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸のあるサブストレート、立体形状（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。電子デバイス、センサーデバイス、MEMS、サーマルヘッド、水晶デバイスなどに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービスの実績と経験があり、そのノウハウを盛込んだ薄膜コーティング装置はご好評をいただいております。独自の特殊ノズルを採用し長期...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

大型薄膜コーティング装置（スプレーコーター）SP600型

長年の薄膜コーティング技術＆膜形成のノウハウ＆データベースで、お客様の…

ィング装置（スプレーコーター）シリーズはウエット式スプレー粒子を積層する薄膜形成装置であり、凹凸複雑部品、立体（３D）デバイスに容易に塗布することが出来ます。 MEMS用フォトレジスト塗布、サーマルヘッド、水晶デバイス、センサー、光部品などに応用されています。 弊社では長年の塗布試作サービス（薄膜ファンドリーサービス）の実績と経験があります。 その薄膜技術のノウハウと試作からの特別仕様を盛...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所