リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

0.1Wトップロード冷凍機システム『SB-0.1-TRB』

トップローディング方式を採用！100V(単相)空冷式で設置場所を選びま…

『SB-0.1-TRB』は、トップローディング方式により サンプル交換が容易なトップロード冷凍機システムです。 100V(単相)空冷式で設置場所を選びません。 温度範囲は4K台～300K台で、冷却能力は0.1W / 4.2Kです。 そのほか、減圧することで1.5K台の測定も可能になる 『SB-1.5KCRS0.5-TRB』もラインアップしています。 【仕様】 ■温度範囲：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマルブロック