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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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東芝半導体を主力とした半導体製品及び液晶・電子部品等をご提供しています…
当社では、国内外を問わず幅広い部品調達から、静電・放熱対策の提案や 実装対応、さらに材料加工などのカスタム製品の製造まで行う 電子機器・部品ソリューションを提供しています。 東芝半導体を主力に、民生・産業・車載等、幅広い分野に、 東芝セミコン&ストレージ社の絶大な製品力と技術サポート力を存分に活用し 更なる融合を強化するお手伝いをいたします。 【取扱品目】 ■半導体 ■基板...
メーカー・取り扱い企業: 湊ハマ株式会社
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